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公开(公告)号：CN107408527A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201680019354.8
申请日：2016-04-06
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J15/00 , B25J15/06 , B25J15/08 , B65G49/07
Abstract: 本发明的基板搬送机器人的末端执行器具备：多片叶片；叶片支撑部，其以叶片彼此的基板垂线方向的间隔为可变的方式支撑叶片；以及叶片驱动装置，其使多个叶片支撑部中的至少一者相对于其他叶片朝基板垂线方向相对地移动。叶片分别具有：第一主面，其朝向基板垂线方向的一方；第二主面，其是第一主面的相反面；第一基板保持机构，其使基板保持在第一主面；以及第二基板保持机构，其使基板保持在第二主面。
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