公开(公告)号：CN116938041A

公开(公告)日：2023-10-24

申请号：CN202310788892.5

申请日：2023-06-30

Applicant: 复旦大学

Inventor： 徐云浪 ,  鲁博 ,  杨晓峰

IPC: H02P5/74 ,  H02P3/18 ,  H02P23/00 ,  H02P25/092 ,  H02P25/30 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种光刻机微动台双磁阻电机的共直流母线驱动器；其包括输入配电单元、电源模块和并联的电机驱动单元。传统方案中采取独立的电驱系统，本发明则采取并联式的电驱单元，由于双磁阻电机各线圈的电流状态不同，在一个电机处于能量回馈母线状态时，电驱之间就进行部分能量交互，回馈的能量不必完全通过制动电阻进行耗散，从而节能减小散热，这对于对温度稳定与体积要求很高的光刻机系统而言有着重要意义。同时，针对共直流母线导致各个电驱之间通过直流母线存在一定耦合干扰问题，采取delta‑sigma+PI双环控制的方法抑制耦合误差，仿真证明了可实现高性能的电机驱动器输出。

公开(公告)号：CN114598177A

公开(公告)日：2022-06-07

申请号：CN202210183585.X

申请日：2022-02-28

Applicant: 复旦大学

Inventor： 殳峰 ,  鲁博 ,  杨晓峰

IPC: H02M7/5387 ,  H02M1/32 ,  H02M1/38

Abstract: 本发明公开了一种实现并联环流抑制的高精度交流开关电源；其包括并联的多个桥式逆变模块、Delta‑Sigma控制模块，死区模块和同步模块；Delta‑Sigma控制模块输出的驱动逻辑被设置死区时间后，经同步模块后同步驱动并联桥式逆变电路中的对应开关管，将输入直流电压转换为方波，滤波后得到交流输出。本发明中，由于每个并联逆变模块桥臂中点电压采样合并后进入反馈使得压降未完全补偿，故环路电流能有效使得并联模块电压平衡，故并联模块间有着较大的环路阻抗可抑制环路电流，而Delta‑Sigma控制噪声整形特点对外可高精度误差抑制，故可实现抑制并联环流的高精度交流开关电源。