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公开(公告)号：CN112683175B
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN202011391427.0
申请日：2020-12-02
Applicant: 复旦大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开了一种读数头和位移测量系统及测量方法。该读数头包括离轴抛物面镜、第一偏振元件、第二偏振元件以及偏振分光元件，入射到该读数头的光经过该离轴抛物面镜后射向光栅尺，并经该光栅尺衍射后产生正一级衍射光和负一级衍射光，该正一级衍射光经过该离轴抛物面镜反射后射向该第一偏振元件并产生第一线偏振光，该负一级衍射光经过该离轴抛物面镜反射后射向该第二偏振元件并产生第二线偏振光，该第一线偏振光和该第二线偏振光在该偏振分光元件相遇。本发明的光只需要经过一次光栅尺即可实现位移测量，提高了读数头传导到信号处理端的光功率，降低探测器的成本。
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公开(公告)号：CN111536882A
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN202010442531.1
申请日：2020-05-22
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种读数头和二维位移测量系统及测量方法。读数头包括第一偏振元件、第一光学元件、第一分光元件、第一信号接收元件、第二偏振元件、第二光学元件、第二分光元件以及第二信号接收元件。入射光经过第一分光元件后分成反射光和透射光。反射光的至少一部分经一维测量光栅衍射产生正一级衍射光和负一级衍射光，该正一级衍射光和负一级衍射光分别经过第一偏振元件和第二偏振元件后形成偏振态光后再次经过一维测量光栅衍射后在第二分光元件与该透射光在经过第二分光元件后产生的透射的第一偏振分量和反射的第二偏振分量发生干涉，并分别由第一信号接收元件和第二信号接收元件接收。本发明具有结构简单、装调容差较大以及易于工业场景实现的技术效果。
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公开(公告)号：CN110224631B
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN201910602811.1
申请日：2019-07-05
Applicant: 复旦大学
IPC: H02N2/00
Abstract: 本发明公开了一种压电陶瓷电机动子装配工装，用于将压电陶瓷电机的动子装配到压电陶瓷电机的定子，包括上支撑板、下支撑板以及压电陶瓷叠堆。所述压电陶瓷叠堆由多个表面覆盖有电极层的压电陶瓷片堆叠形成，并设置于上支撑板和下支撑板之间，在通电时压电陶瓷叠堆沿着支撑板法线方向运动以增大上支撑板和下支撑板之间的距离，从而将压电陶瓷电机定子组件精确扩张开，从而便于放入压电陶瓷电机动子。本发明可以解决压电陶瓷电机动子装配困难的问题，装配精度可以达到微米量级，在不对压电陶瓷电机定子进行破坏的条件下，实现压电陶瓷电机定子的精确安装，同时操作方便，易于控制。
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公开(公告)号：CN112683175A
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN202011391427.0
申请日：2020-12-02
Applicant: 复旦大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开了一种读数头和位移测量系统及测量方法。该读数头包括离轴抛物面镜、第一偏振元件、第二偏振元件以及偏振分光元件，入射到该读数头的光经过该离轴抛物面镜后射向光栅尺，并经该光栅尺衍射后产生正一级衍射光和负一级衍射光，该正一级衍射光经过该离轴抛物面镜反射后射向该第一偏振元件并产生第一线偏振光，该负一级衍射光经过该离轴抛物面镜反射后射向该第二偏振元件并产生第二线偏振光，该第一线偏振光和该第二线偏振光在该偏振分光元件相遇。本发明的光只需要经过一次光栅尺即可实现位移测量，提高了读数头传导到信号处理端的光功率，降低探测器的成本。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111536882B
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN202010442531.1
申请日：2020-05-22
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种读数头和二维位移测量系统及测量方法。读数头包括第一偏振元件、第一光学元件、第一分光元件、第一信号接收元件、第二偏振元件、第二光学元件、第二分光元件以及第二信号接收元件。入射光经过第一分光元件后分成反射光和透射光。反射光的至少一部分经一维测量光栅衍射产生正一级衍射光和负一级衍射光，该正一级衍射光和负一级衍射光分别经过第一偏振元件和第二偏振元件后形成偏振态光后再次经过一维测量光栅衍射后在第二分光元件与该透射光在经过第二分光元件后产生的透射的第一偏振分量和反射的第二偏振分量发生干涉，并分别由第一信号接收元件和第二信号接收元件接收。本发明具有结构简单、装调容差较大以及易于工业场景实现的技术效果。
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公开(公告)号：CN110224631A
公开(公告)日：2019-09-10
申请号：CN201910602811.1
申请日：2019-07-05
Applicant: 复旦大学
IPC: H02N2/00
Abstract: 本发明公开了一种压电陶瓷电机动子装配工装，用于将压电陶瓷电机的动子装配到压电陶瓷电机的定子，包括上支撑板、下支撑板以及压电陶瓷叠堆。所述压电陶瓷叠堆由多个表面覆盖有电极层的压电陶瓷片堆叠形成，并设置于上支撑板和下支撑板之间，在通电时压电陶瓷叠堆沿着支撑板法线方向运动以增大上支撑板和下支撑板之间的距离，从而将压电陶瓷电机定子组件精确扩张开，从而便于放入压电陶瓷电机动子。本发明可以解决压电陶瓷电机动子装配困难的问题，装配精度可以达到微米量级，在不对压电陶瓷电机定子进行破坏的条件下，实现压电陶瓷电机定子的精确安装，同时操作方便，易于控制。
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公开(公告)号：CN110207598A
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201910602684.5
申请日：2019-07-05
Applicant: 复旦大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开了一种压电陶瓷d15参数测量装置及方法。该装置包括安装架、位移台、光栅尺、读数头以及压电陶瓷叠堆安装基座。安装基座固定安装于安装架上，位移台可活动地安装于安装架上，光栅尺固定安装于位移台上，读数头固定安装于光栅尺的下方，待测量的压电陶瓷叠堆安装于安装基座与位移台之间，向压电陶瓷叠堆施加电压，压电陶瓷叠堆发生位移变化，使得位移台带动光栅尺发生同步运动，光栅尺的位移就是压电陶瓷叠堆在施加给定电压时的位移值，将该位移值同施加的给定电压相除求得压电陶瓷叠堆的d15参数。本发明的可以直接测量压电陶瓷的横向压电常数d15，同时可以达到纳米级的测量精度。
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公开(公告)号：CN209910594U
公开(公告)日：2020-01-07
申请号：CN201921057763.4
申请日：2019-07-05
Applicant: 复旦大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本实用新型公开了一种压电陶瓷d15参数测量装置，包括安装架、位移台、光栅尺、读数头以及压电陶瓷叠堆安装基座。安装基座固定安装于安装架上，位移台可活动地安装于安装架上，光栅尺固定安装于位移台上，读数头固定安装于光栅尺的下方，待测量的压电陶瓷叠堆安装于安装基座与位移台之间，向压电陶瓷叠堆施加电压，压电陶瓷叠堆发生位移变化，使得位移台带动光栅尺发生同步运动，光栅尺的位移就是压电陶瓷叠堆在施加给定电压时的位移值，将该位移值同施加的给定电压相除求得压电陶瓷叠堆的d15参数。本实用新型的装置可以直接测量压电陶瓷的横向压电常数d15，同时可以达到纳米级的测量精度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN210273871U
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201921048826.X
申请日：2019-07-05
Applicant: 复旦大学
IPC: H02N2/00
Abstract: 本实用新型公开了一种压电陶瓷电机动子装配工装，用于将压电陶瓷电机的动子装配到压电陶瓷电机的定子，包括上支撑板、下支撑板以及压电陶瓷叠堆。所述压电陶瓷叠堆由多个表面覆盖有电极层的压电陶瓷片堆叠形成，并设置于上支撑板和下支撑板之间，在通电时压电陶瓷叠堆沿着支撑板法线方向运动以增大上支撑板和下支撑板之间的距离，从而将压电陶瓷电机定子组件精确扩张开，从而便于放入压电陶瓷电机动子。本实用新型可以解决压电陶瓷电机动子装配困难的问题，装配精度可以达到微米量级，在不对压电陶瓷电机定子进行破坏的条件下，实现压电陶瓷电机定子的精确安装，同时操作方便，易于控制。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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