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公开(公告)号：CN101262010A
公开(公告)日：2008-09-10
申请号：CN200710193994.3
申请日：2007-11-29
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L29/78 , H01L29/786 , H01L29/06
CPC classification number: H01L29/7833 , H01L29/1083 , H01L29/6659 , H01L29/66659 , H01L29/7835
Abstract: 提供一种金属氧化物半导体晶体管及高压金属氧化物半导体晶体管。该半导体晶体管包括形成于半导体衬底的金属氧化物半导体晶体管，其中，此半导体衬底为第一导电型，且具有第一导电型的栓塞区域；此栓塞区域形成于第二导电型的漏极延伸区域(就高压金属氧化物半导体晶体管而言)或形成于第二导电型的轻掺杂区域(就低压金属氧化物半导体晶体管而言)。这样的结构导致较高的击穿电压。本发明原则适用于形成在块状半导体衬底上的金属氧化物半导体晶体管及形成在硅置于绝缘物上构成的金属氧化物半导体晶体管。
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公开(公告)号：CN101262010B
公开(公告)日：2011-07-06
申请号：CN200710193994.3
申请日：2007-11-29
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L29/78 , H01L29/786 , H01L29/06
CPC classification number: H01L29/7833 , H01L29/1083 , H01L29/6659 , H01L29/66659 , H01L29/7835
Abstract: 提供一种金属氧化物半导体晶体管及高压金属氧化物半导体晶体管。该半导体晶体管包括形成于半导体衬底的金属氧化物半导体晶体管，其中，此半导体衬底为第一导电型，且具有第一导电型的栓塞区域；此栓塞区域形成于第二导电型的漏极延伸区域(就高压金属氧化物半导体晶体管而言)或形成于第二导电型的轻掺杂区域(就低压金属氧化物半导体晶体管而言)。这样的结构导致较高的击穿电压。本发明原则适用于形成在块状半导体衬底上的金属氧化物半导体晶体管及形成在硅置于绝缘物上构成的金属氧化物半导体晶体管。
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公开(公告)号：CN100334478C
公开(公告)日：2007-08-29
申请号：CN200510053699.9
申请日：2005-03-10
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: G02B26/00
CPC classification number: G02B26/0841
Abstract: 一种微镜及微镜制造方法。包括：一种微镜，包括一基板、一反射层以及一保护层。反射层成形于该基板上，并且包括有纯铝。保护层成形于反射层上，并且包括有氮化钛。
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公开(公告)号：CN108962828B
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN201710559938.0
申请日：2017-07-11
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L23/00 , H01L23/498
Abstract: 一种半导体装置包括衬底。衬底被III‑V族化合物半导体层上覆。衬底包括电路区及密封环区。密封环区环绕电路区。密封环结构设置在密封环区中。密封环结构包括环绕电路区的第一通孔结构。第一通孔结构延伸穿过衬底的一部分及III‑V族化合物半导体层。
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公开(公告)号：CN109256375A
公开(公告)日：2019-01-22
申请号：CN201810419528.0
申请日：2018-05-04
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L23/528 , H01L23/532 , H01L21/768
Abstract: 提供了包括用于焊盘开口和沟槽的增强的钝化结构的集成电路(IC)。在一些实施例中，层间介电(ILD)层覆盖衬底并且至少部分地限定沟槽。该沟槽从ILD层的顶部延伸穿过ILD层至衬底。导电焊盘位于ILD层上面。第一钝化层位于ILD层和导电焊盘上面，并且进一步限定导电焊盘上面的焊盘开口。第二钝化层位于ILD层、导电焊盘和第一钝化层上面，并且进一步内衬焊盘开口中的第一钝化层的侧壁和沟槽中的ILD层的侧壁。此外，第二钝化层相对于ILD层具有低湿气或蒸汽渗透率。本发明的实施例还涉及用于焊盘开口和沟槽的钝化结构。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108962828A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201710559938.0
申请日：2017-07-11
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L23/00 , H01L23/498
Abstract: 一种半导体装置包括衬底。衬底被III‑V族化合物半导体层上覆。衬底包括电路区及密封环区。密封环区环绕电路区。密封环结构设置在密封环区中。密封环结构包括环绕电路区的第一通孔结构。第一通孔结构延伸穿过衬底的一部分及III‑V族化合物半导体层。
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公开(公告)号：CN109256375B
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201810419528.0
申请日：2018-05-04
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L23/528 , H01L23/532 , H01L21/768
Abstract: 提供了包括用于焊盘开口和沟槽的增强的钝化结构的集成电路(IC)。在一些实施例中，层间介电(ILD)层覆盖衬底并且至少部分地限定沟槽。该沟槽从ILD层的顶部延伸穿过ILD层至衬底。导电焊盘位于ILD层上面。第一钝化层位于ILD层和导电焊盘上面，并且进一步限定导电焊盘上面的焊盘开口。第二钝化层位于ILD层、导电焊盘和第一钝化层上面，并且进一步内衬焊盘开口中的第一钝化层的侧壁和沟槽中的ILD层的侧壁。此外，第二钝化层相对于ILD层具有低湿气或蒸汽渗透率。本发明的实施例还涉及用于焊盘开口和沟槽的钝化结构。
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公开(公告)号：CN106486543A
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201610008536.7
申请日：2016-01-07
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L29/778 , H01L21/335 , H01L29/40
Abstract: 一种半导体器件包括位于衬底上的第一III-V族化合物层、位于第一III-V族化合物层上的第二III-V族化合物层、设置在第二III-V族化合物层上的栅极金属堆叠件、设置在栅极金属堆叠件的相对两侧处的源极接触件和漏极接触件、设置在栅极金属堆叠件和漏极接触件之间的栅极场板、形成在源极接触件和漏极接触件上的抗反射涂层(ARC)层以及形成在ARC层上的蚀刻停止层，其中，第一III-V族化合物层的材料与第二III-V族化合物层的材料不同。本发明实施例涉及半导体器件及其制造方法。
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公开(公告)号：CN1700054A
公开(公告)日：2005-11-23
申请号：CN200510053699.9
申请日：2005-03-10
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: G02B26/00
CPC classification number: G02B26/0841
Abstract: 一种微镜及微镜制造方法。包括：一种微镜，包括一基板、一反射层以及一保护层。反射层成形于该基板上，并且包括有纯铝。保护层成形于反射层上，并且包括有氮化钛。
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公开(公告)号：CN106486543B
公开(公告)日：2019-12-10
申请号：CN201610008536.7
申请日：2016-01-07
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L29/778 , H01L21/335 , H01L29/40
Abstract: 一种半导体器件包括位于衬底上的第一III‑V族化合物层、位于第一III‑V族化合物层上的第二III‑V族化合物层、设置在第二III‑V族化合物层上的栅极金属堆叠件、设置在栅极金属堆叠件的相对两侧处的源极接触件和漏极接触件、设置在栅极金属堆叠件和漏极接触件之间的栅极场板、形成在源极接触件和漏极接触件上的抗反射涂层(ARC)层以及形成在ARC层上的蚀刻停止层，其中，第一III‑V族化合物层的材料与第二III‑V族化合物层的材料不同。本发明实施例涉及半导体器件及其制造方法。
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