公开(公告)号：CN112882341A

公开(公告)日：2021-06-01

申请号：CN202011348383.3

申请日：2020-11-26

Applicant: 东京应化工业株式会社

Inventor： 平山文武 ,  平野智之 ,  吉田裕三 ,  河野绅一 ,  中川裕介

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/20 ,  G03F7/30

Abstract: 一种抗蚀剂组合物，通过曝光产生酸并且对显影液的溶解性因酸的作用而变化，含有：对显影液的溶解性因酸的作用而变化的基材成分(A)；与离子液体(Z)，所述抗蚀剂组合物的固体成分浓度为25质量％以上。

公开(公告)号：CN100545753C

公开(公告)日：2009-09-30

申请号：CN200480000888.3

申请日：2004-05-20

Applicant: 东京应化工业株式会社

Inventor： 中川裕介 ,  秀坂慎一 ,  丸山健治 ,  嶋谷聪 ,  增岛正宏 ,  新田和行

IPC: G03F7/039

Abstract: 提供一种化学放大型正性光致抗蚀剂组合物和形成抗蚀剂图案的方法，所述组合物具有高灵敏度、高耐热性和高分辨率(高对比度)并能够抑制波动现象。制备包括含有羟基苯乙烯构成单元(a1)和苯乙烯构成单元(a2)的碱溶树脂(A)、交联剂(B)、光酸生成剂(C)和有机溶剂的化学放大型正性光致抗蚀剂组合物，并且使用该组合物形成抗蚀剂图案。

公开(公告)号：CN118451370A

公开(公告)日：2024-08-06

申请号：CN202280085974.7

申请日：2022-12-22

Applicant: 东京应化工业株式会社

Inventor： 平野智之 ,  砂道智成 ,  桥本阳奈 ,  中川裕介

IPC: G03F7/038 ,  G03F7/004 ,  G03F7/20

Abstract: 一种抗蚀剂组合物，具有碱可溶性树脂、化合物(B0)、以及交联剂，碱可溶性树脂具有以通式(a10‑1)表示的结构单元及以通式(a20‑1)表示的结构单元，LogP为2.8以下，化合物(B0)的波长248nm的摩尔吸光系数为10000mol‑1·L·cm‑1以下，该抗蚀剂组合物的固体成分浓度为15质量％以上。式中，Rx1及Rx2为氢原子等。Yax1及Yax2为单键或2价连接基团。Wax1为可具有取代基的芳香族烃基。nax1为1以上的整数。Rax2为烃基。#imgabs0#

公开(公告)号：CN1453639A

公开(公告)日：2003-11-05

申请号：CN03123145.4

申请日：2003-04-17

Applicant: 东京应化工业株式会社

Inventor： 大西启之 ,  中川裕介 ,  土井宏介

IPC: G03F7/022 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0233 ,  C08L61/14 ,  G03F7/0236

Abstract: 本发明提供一种调制的抗蚀剂组合物具有保存稳定性且没有批间特性差异抗蚀剂组合物及其调制方法，即，将酚醛清漆树脂溶解在有机溶剂中而成的酚醛清漆树脂溶液中配合苯醌所形成的酚醛清漆树脂溶液；含所述酚醛清漆树脂溶液和感光性成分而成的正型光致抗蚀剂组合物；含所述酚醛清漆树脂溶液、感光性成分、氢醌而成的正型光致抗蚀剂组合物；及混合所述酚醛清漆树脂溶液和感光性成分的正型光致抗蚀剂组合物的调制方法。

公开(公告)号：CN118414582A

公开(公告)日：2024-07-30

申请号：CN202280083992.1

申请日：2022-12-22

Applicant: 东京应化工业株式会社

Inventor： 砂道智成 ,  桥本阳奈 ,  平野智之 ,  中川裕介

IPC: G03F7/038 ,  G03F7/004 ,  G03F7/20

Abstract: 一种抗蚀剂组合物，其含有树脂(A)、产酸剂(B)、以及交联剂(C)，所述树脂(A)为波长248nm的摩尔吸光系数为2000mo l‑1·L·cm‑1以下的碱可溶性树脂，交联剂(C)为从由三聚氰胺类交联剂、尿素类交联剂、亚烷基尿素类交联剂、甘脲类交联剂及环氧类交联剂构成的组中选择的至少1种交联剂。

公开(公告)号：CN116583784A

公开(公告)日：2023-08-11

申请号：CN202180083315.5

申请日：2021-12-21

Applicant: 东京应化工业株式会社

Inventor： 平野智之 ,  米村幸治 ,  中川裕介

IPC: G03F7/004

Abstract: 一种抗蚀剂组合物，其含有：具有包含酚性羟基的结构单元(a10)的高分子化合物(A1)、产酸剂(B)、从由三聚氰胺类交联剂、尿素类交联剂、亚烷基尿素类交联剂、甘脲类交联剂及环氧类交联剂构成的组中选择的至少1种交联剂(C)、聚醚化合物(Z)，所述聚醚化合物(Z)的含量相对于100质量份所述高分子化合物(A1)小于50质量份。

公开(公告)号：CN119654597A

公开(公告)日：2025-03-18

申请号：CN202380057509.7

申请日：2023-07-27

Applicant: 东京应化工业株式会社

Inventor： 岩下勇介 ,  齐藤彩 ,  米村幸治 ,  中川裕介

IPC: G03F7/039 ,  C08F212/14 ,  G03F7/20

Abstract: 一种抗蚀剂组合物，含有：具有以通式(a0‑1)表示的结构单元(a01)和以通式(a10‑1)表示的结构单元(a10)的树脂成分(A1)、以及具有以通式(d0‑r)表示的基团的化合物(D0)。式中，Rx01、Rx021～Rx028为氢原子等。Ra0为以通式(a01‑r‑1)表示的酸解离性基团。Wax1为可具有取代基的芳香族烃基。#imgabs0#

公开(公告)号：CN116670585A

公开(公告)日：2023-08-29

申请号：CN202180087260.5

申请日：2021-12-24

Applicant: 东京应化工业株式会社

Inventor： 平山文武 ,  平野智之 ,  吉田裕三 ,  河野绅一 ,  中川裕介

IPC: G03F7/004

Abstract: 一种抗蚀剂组合物，包含：树脂成分(A1)，具有包含酚性羟基的结构单元(a10)；化合物(B0)，以通式(b0‑1)表示，所述树脂成分(A1)中的所述结构单元(a10)的比例相对于构成所述树脂成分(A1)的全部结构单元的合计(100摩尔％)为超过5摩尔％～小于45摩尔％，式中，Rb1为碳原子数为1以上30以下的烃基，n、m为0～3的整数，Ra1及Ra2为氢原子或有机基团，Q1及Q2为氟原子或碳原子数为1以上6以下的全氟烷基，L为酯键。

公开(公告)号：CN112946998A

公开(公告)日：2021-06-11

申请号：CN202011423839.8

申请日：2020-12-08

Applicant: 东京应化工业株式会社

Inventor： 平野智之 ,  平山文武 ,  野村架奈 ,  河野绅一 ,  中川裕介

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039

Abstract: 一种抗蚀剂组合物，含有树脂成分(A1)与增塑剂成分(Z)，树脂成分(A1)具有包含酸分解性基团的结构单元(a1)、以式(a10‑1)表示的结构单元(a10)，增塑剂成分(Z)具有以式(z1‑1)表示的结构单元(z1)且不含酸解离性基团，增塑剂成分(Z)的含量相对于树脂成分(A1)100质量份为50质量份以下，固体成分浓度为25质量％以上。式中，Wax1是芳香族烃基。Vz0是单键或不含酸解离性基团的2价烃基。Rz0是氢原子或不含酸解离性基团的烃基。[化1]

公开(公告)号：CN112445067A

公开(公告)日：2021-03-05

申请号：CN202010859849.X

申请日：2020-08-24

Applicant: 东京应化工业株式会社

Inventor： 砂道智成 ,  中川裕介 ,  米村幸治 ,  平野智之 ,  齐藤彩

IPC: G03F7/004

Abstract: 本发明涉及一种抗蚀剂组合物，其通过曝光产生酸并且对显影液的溶解性因酸的作用而变化，其特征在于，含有对显影液的溶解性因酸的作用而变化的基材成分(A)与重均分子量为400以上的聚醚化合物，所述聚醚化合物的含量相对于所述基材成分(A)100质量份为0.8～32质量份，固体成分浓度为25质量％以上。