公开(公告)号：CN118451370A

公开(公告)日：2024-08-06

申请号：CN202280085974.7

申请日：2022-12-22

Applicant: 东京应化工业株式会社

Inventor： 平野智之 ,  砂道智成 ,  桥本阳奈 ,  中川裕介

IPC: G03F7/038 ,  G03F7/004 ,  G03F7/20

Abstract: 一种抗蚀剂组合物，具有碱可溶性树脂、化合物(B0)、以及交联剂，碱可溶性树脂具有以通式(a10‑1)表示的结构单元及以通式(a20‑1)表示的结构单元，LogP为2.8以下，化合物(B0)的波长248nm的摩尔吸光系数为10000mol‑1·L·cm‑1以下，该抗蚀剂组合物的固体成分浓度为15质量％以上。式中，Rx1及Rx2为氢原子等。Yax1及Yax2为单键或2价连接基团。Wax1为可具有取代基的芳香族烃基。nax1为1以上的整数。Rax2为烃基。#imgabs0#

公开(公告)号：CN118414582A

公开(公告)日：2024-07-30

申请号：CN202280083992.1

申请日：2022-12-22

Applicant: 东京应化工业株式会社

Inventor： 砂道智成 ,  桥本阳奈 ,  平野智之 ,  中川裕介

IPC: G03F7/038 ,  G03F7/004 ,  G03F7/20

Abstract: 一种抗蚀剂组合物，其含有树脂(A)、产酸剂(B)、以及交联剂(C)，所述树脂(A)为波长248nm的摩尔吸光系数为2000mo l‑1·L·cm‑1以下的碱可溶性树脂，交联剂(C)为从由三聚氰胺类交联剂、尿素类交联剂、亚烷基尿素类交联剂、甘脲类交联剂及环氧类交联剂构成的组中选择的至少1种交联剂。

公开(公告)号：CN118401895A

公开(公告)日：2024-07-26

申请号：CN202280081563.0

申请日：2022-12-05

Applicant: 东京应化工业株式会社

Inventor： 平野智之 ,  砂道智成 ,  桥本阳奈 ,  中川裕介

IPC: G03F7/038 ,  C08F12/00 ,  G03F7/004 ,  G03F7/20

Abstract: 一种抗蚀剂组合物，含有：具有以通式(a10‑1)表示的结构单元(a10)的高分子化合物(A1)、鎓盐类产酸剂(B1)、交联剂(C)、具有5个以下的苯基的多核酚低分子化合物(Z)，其固体成分浓度为15质量％以上，式中，R为氢原子、碳数为1～5的烷基或碳数为1～5的卤代烷基。Yax1为单键或2价连接基团。Wax1为可具有取代基的芳香族烃基。nax1为1以上的整数。#imgabs0#