公开(公告)号：CN112882341A

公开(公告)日：2021-06-01

申请号：CN202011348383.3

申请日：2020-11-26

Applicant: 东京应化工业株式会社

Inventor： 平山文武 ,  平野智之 ,  吉田裕三 ,  河野绅一 ,  中川裕介

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/20 ,  G03F7/30

Abstract: 一种抗蚀剂组合物，通过曝光产生酸并且对显影液的溶解性因酸的作用而变化，含有：对显影液的溶解性因酸的作用而变化的基材成分(A)；与离子液体(Z)，所述抗蚀剂组合物的固体成分浓度为25质量％以上。

公开(公告)号：CN118613766A

公开(公告)日：2024-09-06

申请号：CN202380018234.6

申请日：2023-01-24

Applicant: 东京应化工业株式会社

Inventor： 宫崎诚太 ,  平山文武 ,  河野绅一 ,  中川裕介

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/004

Abstract: 一种抗蚀剂组合物，含有：树脂成分(A1)，具有包含极性因酸的作用而增大的酸分解性基团的结构单元(a1)、以通式(a10‑1)表示的结构单元(a10)、及以通式(a5‑1)表示的结构单元(a5)；树脂成分(Z)，具有以通式(z1‑1)表示的结构单元(z1)且不含酸解离性基团(式中，Wax1为芳香族烃基，Ra5为形成环骨架的一部分碳原子可被氧原子取代的酸非解离性的脂肪族环式基，Rz0为氢原子或不含酸解离性基团的烃基)。#imgabs0#

公开(公告)号：CN116670585A

公开(公告)日：2023-08-29

申请号：CN202180087260.5

申请日：2021-12-24

Applicant: 东京应化工业株式会社

Inventor： 平山文武 ,  平野智之 ,  吉田裕三 ,  河野绅一 ,  中川裕介

IPC: G03F7/004

Abstract: 一种抗蚀剂组合物，包含：树脂成分(A1)，具有包含酚性羟基的结构单元(a10)；化合物(B0)，以通式(b0‑1)表示，所述树脂成分(A1)中的所述结构单元(a10)的比例相对于构成所述树脂成分(A1)的全部结构单元的合计(100摩尔％)为超过5摩尔％～小于45摩尔％，式中，Rb1为碳原子数为1以上30以下的烃基，n、m为0～3的整数，Ra1及Ra2为氢原子或有机基团，Q1及Q2为氟原子或碳原子数为1以上6以下的全氟烷基，L为酯键。

公开(公告)号：CN112946998A

公开(公告)日：2021-06-11

申请号：CN202011423839.8

申请日：2020-12-08

Applicant: 东京应化工业株式会社

Inventor： 平野智之 ,  平山文武 ,  野村架奈 ,  河野绅一 ,  中川裕介

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039

Abstract: 一种抗蚀剂组合物，含有树脂成分(A1)与增塑剂成分(Z)，树脂成分(A1)具有包含酸分解性基团的结构单元(a1)、以式(a10‑1)表示的结构单元(a10)，增塑剂成分(Z)具有以式(z1‑1)表示的结构单元(z1)且不含酸解离性基团，增塑剂成分(Z)的含量相对于树脂成分(A1)100质量份为50质量份以下，固体成分浓度为25质量％以上。式中，Wax1是芳香族烃基。Vz0是单键或不含酸解离性基团的2价烃基。Rz0是氢原子或不含酸解离性基团的烃基。[化1]