一种基于自溯源光栅干涉仪反馈控制的纳米位移台及反馈控制方法

    公开(公告)号:CN119779165A

    公开(公告)日:2025-04-08

    申请号:CN202510019907.0

    申请日:2025-01-07

    Abstract: 本发明公开了一种基于自溯源光栅干涉仪反馈控制的纳米位移台及反馈控制方法,基于自溯源光栅干涉仪反馈控制的纳米位移台包括:自溯源光栅干涉仪、纳米位移台、调整台、上位机控制系统、光栅调整架和自溯源光栅,所述自溯源光栅干涉仪和所述调整台分开放置在同一平面上,所述纳米位移台固定放置于所述调整台上,所述上位机控制系统同时连接并调控所述自溯源光栅干涉仪和所述纳米位移台,所述纳米位移台上放置有样品,所述光栅调整架贴在所述纳米位移台上,所述自溯源光栅设置在所述光栅调整架上,所述自溯源光栅与所述自溯源光栅干涉仪对准。本发明具有能现场直接溯源、方便嵌入、受环境变化影响低、重复性与稳定性好和较大工业开发潜力的优点。

    隔振装置及精密仪器设备
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118462765A

    公开(公告)日:2024-08-09

    申请号:CN202410912269.0

    申请日:2024-07-09

    Abstract: 本申请公开了一种隔振装置,适于与精密仪器连接,包括:气囊、弹簧组件、约束罩、弹性组件和连接组件;弹性组件适于与精密仪器连接,在精密仪器晃动时产生形变;气囊具有第一开口和内腔;弹簧组件设于气囊的内腔;连接组件与第一开口连接,连接组件位于弹性组件和弹簧组件之间,连接组件具有阻尼孔,阻尼孔适于在气囊形变时将空气导入或释放出内腔;约束罩套设于气囊的外侧,约束罩的内壁贴合气囊的外壁。本申请通过气囊、弹簧组件、约束罩和弹性组件的设置,能够有效消耗环境中传递来的振动冲击,取得较好的隔振效果,提高了精密仪器使用时的稳定性和精度。本申请还公开了一种精密仪器设备,包括精密仪器和隔振装置,精密仪器与隔振装置连接。

    一种组合型隔振器
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118149047A

    公开(公告)日:2024-06-07

    申请号:CN202311814962.6

    申请日:2023-12-27

    Abstract: 本发明涉及一种组合型隔振器,包括蜂窝搭载台,所述蜂窝搭载台底面的四周固定安装有机械限位装置,四个所述机械限位装置的底端固定有底板,所述底板底面的四个角处均固定有万向轮,所述底板底面的中心处固定安装有过滤调节阀,所述蜂窝搭载台下方的左右两侧均设有三个负载装置。在空气弹簧的轴向阻尼特性较好,可有效增强隔振器对竖直振动的衰减能力,而防振橡胶拥有良好的径向的阻尼特性,可有效增强隔振器对水平振动的衰减能力,二者搭配使用,可分别对竖直和水平方向的震动进行有效地隔离;进一步的,空气弹簧对防振橡胶有辅助的作用,二者搭配可有效提高隔振器的整体强度,减小隔振器长期使用后的整体形变,进而提高隔振器的有效使用寿命。

    一种空气弹簧除振装置
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117628100A

    公开(公告)日:2024-03-01

    申请号:CN202311737638.9

    申请日:2023-12-18

    Abstract: 本发明涉及一种空气弹簧除振装置,包括底壳,所述底壳内壁之间安装有隔板;所述底壳内固定有空气弹簧薄膜,所述空气弹簧薄膜的顶面固定有活动柱,所述空气弹簧薄膜的顶面固定有水平阻尼,所述底壳的顶面固定有控制阀,所述底壳的外周壁上开设有进气孔;所述活动柱的顶面开设有矩形槽。该空气弹簧除振装置,在使用时,压缩空气会对空气弹簧薄膜施加压力,空气弹簧薄膜则在压力所用下而产生上下移动,从而带动活动柱上下移动,活动柱带动顶部支撑压盖以及其顶部的负载上下移动,负载又与控制阀相接触,进而控制充气或是放气,使得底壳内部的气室压力平衡,使得浮动座处于非硬接触的状态,减小了振动,从而提升设备的加工和检测精度。

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