用于线路的蚀刻液、制造线路的方法和包括此方法的制造薄膜晶体管阵列板的方法

    公开(公告)号:CN100371809C

    公开(公告)日:2008-02-27

    申请号:CN02816648.5

    申请日:2002-07-03

    Inventor: 朴弘植 姜圣哲

    CPC classification number: H01L27/124 G02F1/136286

    Abstract: 在制造TFT阵列基板的方法中,在绝缘基板上形成栅线路。栅线路含有栅线、栅电极和与栅线相连的栅垫。依次形成栅绝缘层和半导体层。形成包括多个与栅线交叉的数据线、多个与数据线相连并位于栅电极附近的源电极、多个依照栅电极与源电极正对的漏电极以及与数据线相连的数据垫的数据线路。沉积形成保护层,在保护层上形成图案以形成至少使漏电极暴露的接触孔。在保护层上沉积银或银合金导电层。用包括磷酸、硝酸、乙酸、过氧一硫酸钾和超纯水的蚀刻液或包括硝酸、乙酸、乙二醇和超纯水的蚀刻液在保护层上形成图案,因此形成反射层。反射层是通过接触孔与漏电极连接的。

    光致抗蚀剂组合物及用其形成图案的方法

    公开(公告)号:CN1306336C

    公开(公告)日:2007-03-21

    申请号:CN02145838.3

    申请日:2002-10-15

    CPC classification number: G03F7/0233 G03F7/40

    Abstract: 本发明公开一种包括热致酸生成剂的光致抗蚀剂组合物和用其形成图案的方法。该光致抗蚀剂组合物包括100重量份的碱溶性丙烯酰基共聚物,5-100重量份的1,2-醌二叠氮化合物,2-35重量份的含氮交联剂,0.1-10重量份的加热能产生酸的热致酸生成剂。在基底上涂覆光致抗蚀剂组合物并干燥,形成光致抗蚀剂层。通过使用具有预定形状的掩模使光致抗蚀剂层曝光。通过使用含水碱性溶液使曝光的光致抗蚀剂层显影,形成光致抗蚀剂图案。加热这样得到的光致抗蚀剂图案,使其固化,不会产生热回流。

    光致抗蚀剂组合物及用该组合物形成图案的方法

    公开(公告)号:CN1296772C

    公开(公告)日:2007-01-24

    申请号:CN02150451.2

    申请日:2002-11-12

    CPC classification number: G03F7/0236 G03F7/0226 G03F7/40

    Abstract: 本发明公开一种具有良好灵敏度和余层特性的光致抗蚀剂组合物和用该组合物形成图案的方法。该光致抗蚀剂组合物包括约5%重量至约30%重量的聚合树脂、约2%重量至约10%重量的光敏化合物、约0.1%至约10%重量的灵敏度提高剂、约0.1%重量至约10%重量的灵敏度抑制剂和约60%重量至约90%重量的有机溶剂。在基板上涂覆光致抗蚀剂组合物,然后干燥涂覆的光致抗蚀剂组合物,形成光致抗蚀剂层。然后,通过使用具有预定形状的掩模使所述光致抗蚀剂层曝光。接下来,通过使曝光的光致抗蚀剂层显影而形成光致抗蚀剂图案。光致抗蚀剂图案具有均匀的涂层厚度和临界尺寸。

    液晶排列材料的再生方法

    公开(公告)号:CN1214279C

    公开(公告)日:2005-08-10

    申请号:CN99127834.8

    申请日:1999-12-30

    CPC classification number: G02F1/133711

    Abstract: 本发明涉及液晶排列材料的再生方法,其中与LCD液晶加工中原始液晶排列材料等效的再生液晶排列层可通过收集排列材料的废溶液而再生,该废溶液是在使用液晶排列材料的LCD制造过程中大量产生的。通过将排列材料的废溶液放入一种有机溶剂或超纯水中而固化聚酰氨酸和可溶聚酰亚胺,液晶排列材料组分聚酰氨酸和可溶聚酰亚胺不溶于该有机溶剂或超纯水中,从有机溶剂或者超纯水分离聚酰氨酸和可溶聚酰亚胺,并将所分离的固体聚酰氨酸和可溶聚酰亚胺溶解在一种溶剂中而做到这一点。用此方法再生液晶排列层材料能大大有助于降低生产成本。

    具有高耐热性的光致抗蚀剂组合物

    公开(公告)号:CN1606714A

    公开(公告)日:2005-04-13

    申请号:CN02825525.9

    申请日:2002-02-20

    CPC classification number: G03F7/0226

    Abstract: 本发明涉及具有用于LCD生产方法的耐高温性的光致抗蚀剂组合物,且更具体地说,本发明涉及具有耐高温性的能够减少工艺的策略(一种方式)、工艺简化和节约费用的光致抗蚀剂组合物。本发明的组合物通过使跳过5步工艺成为可能而有利于这一特性,诸如形成金属薄膜的Cr金属沉积和整个金属表面的光/蚀刻/PR剥离/蚀刻步骤;通过用本发明的组合物取代常用的金属薄膜,使得TFT-LCD生产过程中的N+离子掺入可以因其耐高温性而进行。

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