公开(公告)号：CN108139671A

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201680060875.8

申请日：2016-09-22

Applicant: 罗门哈斯电子材料韩国有限公司

Inventor： 罗钟昊 ,  许槿 ,  权真 ,  梁钟韩

IPC: G03F7/075 ,  G03F7/022

CPC classification number: G03F7/0757 ,  C08G77/18 ,  C08G77/24 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  G03F7/162 ,  G03F7/168 ,  G03F7/2002 ,  G03F7/322 ,  G03F7/40 ,  H01L21/31056 ,  H01L27/1248 ,  H01L27/1288 ,  H01L27/3258

Abstract: 本文公开光敏树脂组合物及由其制备的固化膜。所述光敏树脂组合物向包括普通硅氧烷聚合物和环氧化合物的组合物中引入含有具有强防水性的氟原子的硅氧烷聚合物，并且氟基团可存在于所述固化膜的整个区域中，使得即使在经由干式蚀刻工艺去除所述固化膜的表面被去除之后，也可保持由于氟组分引起的所述防水性。结果，可使对后处理中使用的化学品的耐性(耐化学性)达到最大，从而提供具有优异稳定性的固化膜。

公开(公告)号：CN107918249A

公开(公告)日：2018-04-17

申请号：CN201710903508.6

申请日：2017-09-28

Applicant: 罗门哈斯电子材料韩国有限公司

Inventor： 金莲玉 ,  许槿 ,  梁钟韩 ,  权真 ,  任珍奎

IPC: G03F7/075

CPC classification number: G03F7/0048 ,  C08G77/04 ,  C08L83/04 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/039 ,  G03F7/0755 ,  G03F7/0757 ,  C08K5/28 ,  C08K5/08 ,  C08K5/01 ,  G03F7/075

Abstract: 本发明涉及一种感光性树脂组合物和由其形成的固化膜，其中所述感光性树脂组合物可以通过使用醇溶剂以及常规使用的硅氧烷聚合物和醌二叠氮化合物而改良敏感性，所述醇溶剂通过醇与所述醌二叠氮化合物中的重氮基萘醌(DNQ)基团之间的相互作用而增强于显影剂中的溶解度；以及可以甚至在后烘烤之后形成具有极佳膜保留率的固化膜。

公开(公告)号：CN107850848A

公开(公告)日：2018-03-27

申请号：CN201680043376.8

申请日：2016-07-21

Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社

Inventor： 越后雅敏

IPC: G03F7/11 ,  C07C41/01 ,  C07C43/215 ,  C07C67/14 ,  C07C69/54 ,  C08F20/20 ,  G03F7/023 ,  C07B61/00

CPC classification number: C07C69/54 ,  C07B61/00 ,  C07B63/00 ,  C07C41/01 ,  C07C41/09 ,  C07C41/38 ,  C07C43/215 ,  C07C67/14 ,  C07C67/58 ,  C08F6/10 ,  C08F20/20 ,  C08F22/105 ,  C09D135/02 ,  G02B1/04 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/023 ,  G03F7/033 ,  G03F7/11 ,  G03F7/162 ,  G03F7/168 ,  G03F7/2037 ,  G03F7/322 ,  H01L21/3081 ,  H01L21/31144

Abstract: 一种化合物，其如下述式(1)所示。(式(1)中，R1为碳数1～60的2n价基团，R2～R5各自独立地为碳数1～30的直链状、支链状或者环状的烷基、碳数6～30的芳基、碳数2～30的烯基、任选具有取代基的碳数1～30的烷氧基、卤素原子、硝基、氨基、羧酸基、羟基的氢原子被乙烯基苯基甲基取代而成的基团、选自下述式(A)所示的组中的基团、硫醇基或羟基，此处，所述R2～R5的至少一者为选自所述式(A)所示的组中的基团、m2和m3各自独立地为0～8的整数，m4和m5各自独立地为0～9的整数，其中，m2、m3、m4和m5不同时为0，n为1～4的整数，p2～p5各自独立地为0～2的整数。)

公开(公告)号：CN103376661B

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN201310138283.1

申请日：2013-04-19

Applicant: 奇美实业股份有限公司

Inventor： 吴明儒 ,  施俊安

IPC: G03F7/075 ,  G03F7/00

CPC classification number: G03F7/039 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0757 ,  Y10T428/31663

Abstract: 本发明涉及光硬化性聚硅氧烷组成物、保护膜及具有保护膜的元件。一种光硬化性聚硅氧烷组成物，包含聚硅氧烷高分子(A)、邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)、吡啶衍生物(C)，及溶剂(D)；该吡啶衍生物(C)具有如式(II)所示的结构：在式(II)中，R1～R5中有1至3个为相同或不同的C1～C6羟烷基，其余为相同或不同且分别表示氢或C1～C6烷基，且由该光硬化性聚硅氧烷组成物所形成的保护膜具有良好的耐显影性。

公开(公告)号：CN104871088A

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CN201380064222.3

申请日：2013-12-05

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 上田智子 ,  泽边贤

IPC: G03F7/023 ,  G03F7/004

CPC classification number: C08L63/04 ,  C08J5/18 ,  C08J2363/04 ,  C08J2463/04 ,  C08J2463/10 ,  C08L2203/16 ,  C08L2205/025 ,  C08L2205/03 ,  G03F7/004 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/023 ,  G03F7/0236

Abstract: 本发明涉及一种正型感光性树脂组合物，其含有：(A)具有不饱和烃基的改性酚醛清漆型酚醛树脂、(B)由间甲酚和对甲酚得到的酚醛清漆型酚醛树脂、(C)由邻甲酚得到的酚醛清漆型酚醛树脂、(D)通过光生成酸的化合物、以及(E)多元酸或多元酸酐，(E)成分的含量相对于(A)成分、(B)成分、(C)成分和(D)成分的总量100质量份小于40质量份。

公开(公告)号：CN104662475A

公开(公告)日：2015-05-27

申请号：CN201380049169.X

申请日：2013-09-11

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 大西启之 ,  增田有希 ,  富川真佐夫

IPC: G03F7/023 ,  C08G73/10 ,  C08L79/08 ,  G03F7/004

CPC classification number: G03F7/0233 ,  C08G73/1042 ,  C08G73/105 ,  C08G73/1075 ,  C08G73/1082 ,  C08G73/14 ,  C09D179/08 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/40 ,  C08K5/22 ,  C08K5/357

Abstract: 本发明提供一种正型感光性树脂组合物，所述正型感光性树脂组合物经250℃以下的低温烧成，可以获得低翘曲、且高灵敏度和高分辨率的优异的固化膜。本发明的正型感光性树脂组合物的特征在于，含有(a)具有通式(1)所示的结构单元和通式(2)所示的结构单元的聚酰亚胺树脂、和(b)醌二叠氮感光剂，所述具有通式(1)所示的结构单元和通式(2)所示的结构单元的聚酰亚胺树脂的酰亚胺化率为85％以上，并且，通式(1)所示的结构单元和通式(2)所示的结构单元的比为30：70～90：10。(通式(1)中，X1表示具有1～4个芳香族环的四羧酸残基，Y1表示具有1～4个芳香族环的芳香族二胺残基。通式(2)中，X2表示具有1～4个芳香族环的四羧酸残基，Y2表示在主链上至少具有2个以上的亚烷基二醇单元的二胺残基)。

公开(公告)号：CN102096319B

公开(公告)日：2014-12-17

申请号：CN201010524619.4

申请日：2010-10-26

Applicant: 三星显示有限公司 ,  东友FINE-CHEM股份有限公司

Inventor： 朴廷敏 ,  李政洙 ,  张元荣 ,  李殷相 ,  刘仁浩 ,  金晟贤

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/022 ,  G02F1/1333 ,  G02F1/1362 ,  H01L21/77

CPC classification number: H01L27/1288 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/0233 ,  H01L27/1214 ,  Y10S438/948

Abstract: 本发明涉及光刻胶组合物和使用其制造显示基板的方法。所述光刻胶组合物包含：碱溶性树脂、包括醌重氮化物化合物的溶解抑制剂、包括由下列化学式1表示的羟基苯化合物的第一添加剂、包括由下列化学式2表示的丙烯酸类共聚物的第二添加剂以及有机溶剂。因此，可改善光刻胶图案的耐热性，并且可容易地剥离所述光刻胶图案。结果，可减少和/或防止所述光刻胶图案中的裂纹形成。化学式1化学式2

公开(公告)号：CN103988127A

公开(公告)日：2014-08-13

申请号：CN201280060449.6

申请日：2012-12-06

Applicant: 旭化成电子材料株式会社

Inventor： 涩井智史 ,  平田龙也 ,  佐佐木隆弘 ,  山田泰辅

IPC: G03F7/023 ,  C08G61/00 ,  C08L65/00 ,  G03F7/004

CPC classification number: G03F7/0233 ,  C08G8/22 ,  C08G16/0225 ,  C08G61/02 ,  C08G61/127 ,  C08G61/128 ,  C08G2261/3424 ,  C08G2261/76 ,  C08L61/12 ,  C08L65/00 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/022 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/023 ,  G03F7/0236 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0382 ,  G03F7/0384 ,  G03F7/039 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/162 ,  G03F7/2004 ,  G03F7/30 ,  G03F7/322 ,  G03F7/40 ,  H01L21/56 ,  H01L23/293

Abstract: 本发明提供含有(A-1)具有下述通式(1)所示结构的树脂和(B)光产酸剂的感光性树脂组合物。式(1)中，X、R1～R7、m1～m4、n1、n2、Y和W分别如说明书中所规定。

公开(公告)号：CN103901728A

公开(公告)日：2014-07-02

申请号：CN201310704085.7

申请日：2013-12-19

Applicant: 奇美实业股份有限公司

Inventor： 吴明儒 ,  施俊安

IPC: G03F7/075 ,  G03F7/008 ,  G03F7/027 ,  G03F7/004

CPC classification number: G03F7/038 ,  G03F7/0047 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/027 ,  G03F7/0752 ,  G03F7/0757

Abstract: 本发明有关一种感光性聚硅氧烷组合物。该感光性聚硅氧烷组合物包含：聚硅氧烷聚合物(A)；邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)；氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物(C)，其中，所述氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物(C)每分子包含至少六个(甲基)丙烯酰基；无机粒子(D)，其中，所述无机粒子(D)以第四族元素的氧化物为主要成分；以及溶剂(E)。该感光性聚硅氧烷组合物具有感光度佳及折射率佳的优点。本发明还提供一种于一基板上形成薄膜的方法、一种基板上的薄膜及一种装置。

公开(公告)号：CN102566274B

公开(公告)日：2014-05-07

申请号：CN201110349054.5

申请日：2011-11-07

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 车明焕 ,  李种和 ,  任美罗 ,  郑闵鞠 ,  郑知英 ,  赵显龙 ,  田桓承

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/016 ,  H01L23/29

CPC classification number: H01L23/296 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/0751 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明公开了一种正型光敏树脂组合物，包括：(A)碱溶性树脂；(B)包括由化学式6表示的化合物的溶解控制剂；(C)光敏重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；和(E)溶剂，以及使用该正型光敏树脂组合物制备的光敏树脂膜和该光敏树脂膜的半导体器件。本发明的正型光敏树脂组合物具有优异的膜残留率、敏感度和分辨率。[化学式6]。