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公开(公告)号：CN104880755A
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201510295974.1
申请日：2015-06-02
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G02B5/30
CPC classification number: G02B5/3058
Abstract: 本发明公开了一种单片集成在高折射率衬底的亚波长金属光栅偏振片，从上至下依次是亚波长金属光栅层，低折射率介质层和高折射率衬底。所述高折射率衬底的折射率在2.9至3.6之间，低折射率介质层的折射率在1.3至2.5之间，金属光栅周期100-400纳米。通过在高折射率衬底和亚波长金属光栅之间插入一层低折射率介质层，能有效提高偏振片在红外波段的TM波透过率和消光比。亚波长金属光栅偏振片结构因其具有结构紧凑、易集成、偏振特性好、光谱较宽、透射率和消光比高等特点,可以减少光路原件,增加光学系统设计的灵活性,具有改进和取代传统光学元器件的潜力。
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公开(公告)号：CN104596647A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201510029892.2
申请日：2015-01-21
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种用于红外焦平面杜瓦的局部弹性冷链，冷链的下端为冷头安装面及安装孔，上端为冷平台安装面及安装孔，上端面与下端面之间由导热杆连接，每根导热杆上有多个分割槽将导热杆分割开来，多组导热杆象“花瓣”样从下端面向上散开，所有导热杆的上端面构成冷平台安装面；导热杆与下端冷头安装面之间连接处呈“S”形或“C”形，在“S”形或“C”形处侧面位置开有多组“S”形或“C”形的槽使冷链结构具备局部的弹性。本发明的优点在于：多组导热杆的设计有利于冷平台的温度均匀性，冷链的一体结构可以最大限度的降低冷链的热阻以及提高冷链本身的力学可靠性，冷链的局部弹性设计可以释放热应力减小对杜瓦芯柱或制冷机的附加载荷。
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公开(公告)号：CN104538478A
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201410748529.1
申请日：2014-12-09
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L31/08 , H01L31/0304 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521 , H01L31/08 , H01L31/03046 , H01L31/1844
Abstract: 本发明公开了一种复合钝化膜结构的延伸波长铟镓砷探测器及制备方法，具体包括：在外延片上刻蚀形成p型微台面；在微台面局部区域上制备P电极区，其上置有覆盖部分微台面的电极互连区，并从微台面上延伸至微台面下；在微台面的一侧有刻蚀至n型缓冲层的N槽，并制备上N电极区。除P和N电极区外，整个外延片上覆盖有复合钝化层。本发明的优点是：Al2O3/SiNx复合钝化膜结构可实现对微台面的有效覆盖，提升侧面钝化效果，降低界面态密度，提升器件的灵敏度；高温退火之后制备Al2O3/SiNx复合钝化膜，避免了In元素的外扩散和薄膜绝缘性能的退化，提高器件的可靠性。
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公开(公告)号：CN103413863A
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：CN201310327079.4
申请日：2013-07-30
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种延伸波长的平面型铟镓砷红外探测器芯片制备方法。对于传统的PIN型铟镓砷红外探测器，由于磷化铟帽层或者衬底的吸收，限制了铟镓砷探测器在可见光波段的量子效率。本发明使用加入阻挡层的铟镓砷外延材料制备器件，在探测器阵列器件制备后与读出电路耦合，采用湿法和干法相结合的技术减薄衬底，提高器件在可见光波段的量子效率。另外，采用这种新工艺制备的平面型铟镓砷红外探测器芯片，在实现波长延伸的同时，在常规波段也能保持和传统的铟镓砷探测器相当的量子效率和暗电流。
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公开(公告)号：CN103344342A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201310251713.0
申请日：2013-06-21
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01J5/02
Abstract: 本发明公开了一种抗径向振动和冲击的冷平台低漏热支撑结构,适用于集成式制冷型红外探测器组件的封装技术。本发明的一种抗径向振动和冲击的集成式红外探测器杜瓦组件的冷平台低漏热支撑结构由与悬臂式外壳焊接的辅助支撑环和四根斜撑式的矩形截面的低漏热陶瓷棒组成。四根斜撑式的低漏热陶瓷棒以制冷机冷指气缸为中心,两两相邻呈90°均匀分布，它们与制冷机冷指气缸和辅助支撑环连接通过特殊处理的低温胶实现。本发明可以克服探测器工作时制冷机振动的影响，同时满足集成式红外探测器杜瓦组件航天或航空严酷的环境适应要求。本发明的结构简单，操作方便，成本低廉，漏热仅增加十几毫瓦。可应用于各种集成式或分置式杜瓦组件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102376824B
公开(公告)日：2013-05-29
申请号：CN201110317200.6
申请日：2011-10-18
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种台面型铟镓砷探测器制备方法，包括将蒸镀P-InP接触电极以及高温快速退火过程置于氮化硅钝化之前，其优点在于：避免了在高温快速退火过程中，由于材料表面污染或者残留颗粒而导致的氮化硅钝化膜损坏，提高了探测器制备的成品率，特别适用于长线列和面阵探测器研制，同时消除了高温快速退火过程对钝化膜与材料表面接触状态的影响；另一方面，在离子刻蚀后引入热处理的工艺，有效地减小材料表面由于刻蚀离子所引入的表面固定电荷，并采用化学腐蚀、硫化的方法去除表面氧化物和减少离子刻蚀后表面的晶格损伤、悬挂键，降低表面态密度，有效减小表面复合暗电流。
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公开(公告)号：CN103089592A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201310040102.1
申请日：2013-01-31
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: F04B41/00
Abstract: 本发明公开了一种红外探测器用多工位真空排气装置，其包括主腔体、主腔体密封阀、分子泵、插板阀、旁抽阀、机械泵及前级阀。主腔体为整个真空排气装置的公共真空室，其圆周上分布多个外接接头，将公共室分为多个排气支路。主腔体公共真空室与泵组间有两个排气通道。所有阀门均为超高真空气动阀。装置的密封形式均为金属密封。该红外探测器用真空排气装置结构简单、易于拆装、工位数目多、真空度能达到较高水平、主腔体与工位的压强差小、选用的所有阀门和泵组均可自动化控制。
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公开(公告)号：CN102544043A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201210019745.3
申请日：2012-01-20
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L27/146 , H01L31/0216
Abstract: 本发明公开了一种平面型子像元结构铟镓砷红外探测器芯片。红外探测器芯片在结构上主要包括子像元结构的PN结区和载流子侧向收集区。本专利引入了子像元结构，利用了载流子的侧向收集效应，产生在载流子侧向收集区的光生载流子可以被相邻的子像元有效吸收，在探测器量子效率不降低的前提下，光敏元响应均匀。另外，这种结构减少了扩散区域从而有效地减少了扩散热损伤，并引入双层钝化工艺减小表面复合，增加少数载流子的寿命、降低器件的暗电流；对于线列探测器，这种结构可以有效地降低盲元率，抑制光敏元扩大和串音。本设计是一种可以抑制串音、降低器件盲元率及器件暗电流的新型平面型器件结构。
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公开(公告)号：CN102221406A
公开(公告)日：2011-10-19
申请号：CN201110135542.6
申请日：2011-05-24
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01J4/04
Abstract: 本发明公开了一种单片集成亚波长微偏振光栅的InGaAs线列或面阵探测器。它是一种光电探测器，由InGaAs光敏芯片、增透膜和亚波长微偏振光栅组成。增透膜选用低折射率SiO2材料，改善亚波长微偏振光栅的消光比。亚波长微偏振光栅是由不同偏振取向的偏振单元构成的偏振光栅线列或阵列，每个偏振单元是光栅周期小于入射光波长的金属偏振光栅。本发明实现亚波长微偏振光栅在近红外探测器上的片上集成，主要优点是：①将偏振光栅与探测器单片集成，简化光学系统，省略偏振扫描系统的运动部件；②可以实现高精度的角度定量化，避免角度误差；③不同偏振取向的偏振单元同时成像，对移动的目标获得准确的偏振信息。
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公开(公告)号：CN101408461A
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN200810203389.4
申请日：2008-11-26
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种红外探测器微型杜瓦组件性能测试用排气装置，其结构主要由微型吸附泵、双通二位快速转换真空阀门，过渡管、高气密真空对接接头、红外探测器杜瓦组件组成。本发明是利用低温介质对无电源微型吸附泵内的活性炭进行制冷，低温下的活性炭对红外探测器杜瓦组件进行排气，双通二位快速转换真空阀门可以实现微型吸附泵与多个红外探测器杜瓦组件之间快速高气密的交替连接，来获得红外探测器微型杜瓦组件高真空排气夹封前性能测试的所需要真空度。本发明避免了排气装置对红外探测器杜瓦组件性能测试的电磁干扰，解决了处于低温红外探测器突然暴露空气会导致红外探测器芯片和其相应的光学元件被污染的问题，提高了测试效率。
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