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公开(公告)号：CN119517798A
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202411616174.0
申请日：2024-11-13
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L21/67 , H01L21/603 , H10F71/00
Abstract: 本发明涉及一种全自动键压机多规格产品通用工装及其制造方法。该工装包括水平夹具、过渡平台、绝缘底座、过渡平台固定螺母、可替换真空吸头、若干自由移动块、水平调节螺钉；绝缘底座连接在过渡平台的底面；过水平调节螺钉调节水平夹具与过渡平台之间的间隙；若干自由移动块通过其设置的自由移动块固定孔配合固定元件固定在水平夹具的自由移动块固定螺丝孔上；通过若干自由移动块可在水平夹具上横纵方向任意位置固定，用于适应多规格产品的定位及固定。本发明通过可活动的自由移动块实现多规格产品与设备的兼容性；具备水平调节机构，使设备操作平台和工装水平可调；同时设计了绝缘底座，组件引线键合时与设备绝缘，有效地保证了红外探测器模块的安全。
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公开(公告)号：CN116146883A
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202310026891.7
申请日：2023-01-09
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种用于红外探测器杜瓦的宝石冷链导热结构及实现方法，包括冷平台、冷帽、宝石棒、弹性冷链过渡块。冷帽、宝石棒和弹性冷链过渡块用专用钎焊夹具支撑装夹，然后采用真空钎焊的方式形成宝石冷链，宝石冷链与冷平台采用螺纹连接。该结构中，冷平台材料为因瓦或钼，冷帽选用可伐材料，弹性冷链过渡块材料为可伐、无氧铜或钼。本发明所述的宝石冷链能有效减小制冷机与冷平台之间的传输热阻，提高制冷机与冷平台之间的传热效率。本发明结构简单，操作方便，互换性好，制冷机冷量利用率高。
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公开(公告)号：CN105156888B
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201510607628.2
申请日：2015-09-22
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种用于分置式杜瓦排气的双温区烘烤装置及实现方法。装置的结构主要由冷链座、冷帽、弹簧、外壁件、内壁件、导热硅脂、橡皮圈、螺钉、红外探测器杜瓦组件、杜瓦铜管、加热罩垫板、铂电阻、加热片、加热罩、保温层、进水管、恒温循环器及出水管组成。本发明结构简单、成本低廉，解决了红外探测器杜瓦组件超高真空的单一温度点烘烤的排气效果不充分的问题，具有提高杜瓦的真空寿命，同时可以适当缩短杜瓦超高真空排气时间的功能。
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公开(公告)号：CN101618480A
公开(公告)日：2010-01-06
申请号：CN200910055331.4
申请日：2009-07-24
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种微型红外探测器高真空排气激光封口装置及工艺，装置主要包括：外壳体、样品台、加热圈以及温度、真空保持系统。将样品固定在样品台上，下方的加热圈通过螺栓与固定槽相连，再通过三根固定在外壳底部的支撑柱连接样品台，关闭钢化玻璃密封门，用真空排气小车通过排气口抽腔体内高真空，在排气的同时打开加热器电源，烘烤器件使除气充分，待真空准备完成后，便可利用激光技术通过激光传输口对样品进行封口。本发明的优点：结构简单，使用方便；为趋于集成化和微型化的探测器封装技术奠定了工艺基础；提供了非制冷型或热电致冷型微型红外探测器在去除排气管后进行高真空烘烤排气和激光封口工艺的可靠实施空间。
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公开(公告)号：CN109297225A
公开(公告)日：2019-02-01
申请号：CN201811176454.9
申请日：2018-10-10
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种温度可调的红外探测器模块筛选复合制冷装置。它包括中空液氮冷平台、冷指液氮冷腔、液氮侧罩杜瓦、曲柄连杆制冷机、变温冷平台、宝石传热棒、弹性绝热圈组成。本发明通过对两冷平台物理热隔离设计，由液氮和制冷机分别对其进行制冷，让液氮为探测器及探测器安装冷平台提供低温背景和真空环境，从而降低曲柄连杆制冷机的热负载，使得大规模红外探测器筛选测试可获得所需的工作温度。本发明结构简单、操作方便，实现了50K-150K温区的大规模红外探测器封装前性能筛选测试，为红外探测器工程化组件的封装成品率提供了保障。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109297225B
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN201811176454.9
申请日：2018-10-10
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种温度可调的红外探测器模块筛选复合制冷装置。它包括中空液氮冷平台、冷指液氮冷腔、液氮侧罩杜瓦、曲柄连杆制冷机、变温冷平台、宝石传热棒、弹性绝热圈组成。本发明通过对两冷平台物理热隔离设计，由液氮和制冷机分别对其进行制冷，让液氮为探测器及探测器安装冷平台提供低温背景和真空环境，从而降低曲柄连杆制冷机的热负载，使得大规模红外探测器筛选测试可获得所需的工作温度。本发明结构简单、操作方便，实现了50K‑150K温区的大规模红外探测器封装前性能筛选测试，为红外探测器工程化组件的封装成品率提供了保障。
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公开(公告)号：CN116295859A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310244568.7
申请日：2023-03-15
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01J5/0806 , G01J5/08 , G01J5/04
Abstract: 本发明公开了一种多用途冷光学自适应红外探测器杜瓦结构，包括透镜、冷屏、冷瞳、狭缝、芯片、陶瓷电极板、引线环、外壳、芯柱、冷平台、宝石冷链等。本发明通过透镜、冷屏、冷瞳、狭缝、陶瓷电极板、探测器芯片之间的高精度对中安装实现杜瓦冷光学元件高精度的封装要求，并通过宝石冷链与冷平台的可拆卸式安装结构使得杜瓦组件既能满足探测器常温环境或封装过程测试条件，又能适用于全低温冷箱内的工作状态。本发明能够有效确保低温红外光学的高精度要求，并且适合多种用途的冷光学用探测器杜瓦组件的封装结构。
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公开(公告)号：CN115790856A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202211520045.2
申请日：2022-11-30
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01J5/02
Abstract: 本发明公开了具有热屏蔽的吸气剂圆柱副支撑结构及实现方法,适用于制冷型红外探测器组件杜瓦制备技术。包括防辐射屏、横针板、吸气剂固定环、吸气剂、带陶瓷柱的柱壳，吸气剂本体安装在两个吸气剂固定环中，以实现圆柱副支撑，吸气剂固定环与防辐射安装固定，并将防辐射屏安装固定在横针板上，横针板两个支撑脚与柱壳碰焊固定。本发明引进特定结构和实现方法以紧凑结构固定安装吸气剂，适用于制冷机冷指与柱壳小间距(6mm‑10mm)内的吸气剂安装；采用圆柱副支撑的吸气剂固定环，可靠性高；防辐射屏具备屏蔽吸气剂激活时产生的热辐射对探测器性能的影响；本发明解决了传统杜瓦内吸气剂安装固定与热屏蔽分离的问题，并且结构紧凑，可靠性高。
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公开(公告)号：CN115295205A
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202210811399.6
申请日：2022-07-11
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01B5/14
Abstract: 本发明公开了一种用于低温封装的低漏热薄膜复合带线结构及设计方法，本发明的用于低温封装的低漏热薄膜复合带线结构由A类引线合并导电层、A类引线导电层、覆膜层、过孔、B类引线导电层、B类引线合并导电层、键合金手指层、加强层、金层和焊接盘镀金层组成。本发明系统阐述了低漏热薄膜复合带线结构、材料、电学、热学等设计原则和实现方法，获得了低漏热薄膜复合带线组件。本发明采用与普通柔性电缆工艺兼容的多层复合结构，在确保与探测器的性能匹配前提下，采用低热导率合金、多层结构引线合并和特定表面处理，降低了引线的漏热，解决了高密度引线带来的可靠性问题。
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公开(公告)号：CN109351079A
公开(公告)日：2019-02-19
申请号：CN201811317273.3
申请日：2018-11-07
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
CPC classification number: B01D46/0001 , B01D46/0002 , B01D46/0023 , B01D46/106 , B01D46/24 , B01D53/261
Abstract: 本发明公开了一种红外探测器杜瓦组件联通大气后隔离污染装置。用于红外探测器杜瓦组件开管放气后隔离污染装置主要由出气口接头、出气口盖板、滤网上压板、出气口滤网、滤网下压板、干燥剂放置架、灰尘过滤网、多孔通气管、外壳、进气口滤网、滤网压环、进气口接头、进气口盖板及干燥剂组成。本发明结构简单、可靠有效，解决了红外探测器杜瓦组件进行开管放气操作时灰尘及水汽混入组件内部的问题，具有保护组件探测器避免污染的功能。
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