公开(公告)号：CN103089592B

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：CN201310040102.1

申请日：2013-01-31

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 曹岚 ,  张海燕 ,  朱宪亮 ,  庄馥隆 ,  季鹏 ,  陆华杰 ,  龚海梅

IPC: F04B41/00

Abstract: 本发明公开了一种红外探测器用多工位真空排气装置，其包括主腔体、主腔体密封阀、分子泵、插板阀、旁抽阀、机械泵及前级阀。主腔体为整个真空排气装置的公共真空室，其圆周上分布多个外接接头，将公共室分为多个排气支路。主腔体公共真空室与泵组间有两个排气通道。所有阀门均为超高真空气动阀。装置的密封形式均为金属密封。该红外探测器用真空排气装置结构简单、易于拆装、工位数目多、真空度能达到较高水平、主腔体与工位的压强差小、选用的所有阀门和泵组均可自动化控制。

公开(公告)号：CN101383306A

公开(公告)日：2009-03-11

申请号：CN200810201534.5

申请日：2008-10-22

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 张海燕 ,  胡晓宁 ,  李言谨 ,  陆华杰

IPC: H01L21/66 ,  G01R31/00 ,  G01B21/18

Abstract: 本发明公开了一种测量碲镉汞材料pn结结深的方法。本发明采用激光束诱导电流方法来测量碲镉汞材料pn结结深，当激光束照射在被测的pn结区域时必然会产生LBIC电流，随着碲镉汞材料的逐层被腐蚀，内建电场逐渐减弱直至消失，此时碲镉汞材料腐蚀的深度即为pn结结深。本发明的测量方法无需多次制备电极，测试方法简单，测试结果准确。

公开(公告)号：CN103089592A

公开(公告)日：2013-05-08

申请号：CN201310040102.1

申请日：2013-01-31

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 曹岚 ,  张海燕 ,  朱宪亮 ,  庄馥隆 ,  季鹏 ,  陆华杰 ,  龚海梅

IPC: F04B41/00

Abstract: 本发明公开了一种红外探测器用多工位真空排气装置，其包括主腔体、主腔体密封阀、分子泵、插板阀、旁抽阀、机械泵及前级阀。主腔体为整个真空排气装置的公共真空室，其圆周上分布多个外接接头，将公共室分为多个排气支路。主腔体公共真空室与泵组间有两个排气通道。所有阀门均为超高真空气动阀。装置的密封形式均为金属密封。该红外探测器用真空排气装置结构简单、易于拆装、工位数目多、真空度能达到较高水平、主腔体与工位的压强差小、选用的所有阀门和泵组均可自动化控制。

公开(公告)号：CN101383391A

公开(公告)日：2009-03-11

申请号：CN200810201544.9

申请日：2008-10-22

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 张海燕 ,  龚海梅 ,  马伟平 ,  陆华杰

IPC: H01L31/18

Abstract: 本发明公开了一种环氧胶阵列的制作方法，它适用于制作红外焦平面探测器组件的封装结构试验模拟件。本发明的制作方法包括：光刻胶柱阵列图形，匀环氧胶，环氧胶固化，浮光刻胶，去除多余环氧胶和点液态环氧胶工艺步骤。本发明的环氧胶柱阵列制作工艺所需的温度低，工艺简单且成本低廉，能更好的满足了组件结构设计的需求。

公开(公告)号：CN101373153A

公开(公告)日：2009-02-25

申请号：CN200810201542.X

申请日：2008-10-22

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 张海燕 ,  胡晓宁 ,  李言谨 ,  龚海梅 ,  陆华杰

IPC: G01K7/01

Abstract: 本发明专利公开了一种测量制冷型红外焦平面探测器件各光敏元间的温度差的装置和方法。温度分布不均匀会导致材料的禁带宽度有差异从而影响器件的响应波长，不利于焦平面的均匀性指标的提高，因此不同位置的光敏元温度分布是非常值得关注的。但目前还没有哪个方法能简单方便的测量几何尺寸在微米量级的光敏元的温度。本专利通过静电计测量微小面积光敏元的电势差，可以方便的得到他们间的温度差。该方法简便易行，测量准确，值得推广使用。

公开(公告)号：CN105486025A

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：CN201510864380.8

申请日：2015-12-01

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 刘大福 ,  徐勤飞 ,  莫德锋 ,  陆华杰 ,  徐琳 ,  蒋梦蝶 ,  王煜宇

IPC: F25D29/00

CPC classification number: F25D29/001

Abstract: 本发明公开了一种集成深低温制冷装置的大功率光电探测器组件，组件由外壳、管帽、光学窗口等部分组成。组件带有抽气口、进出液口，在其内部集成了可工作在深低温的制冷装置及大功率探测器芯片，对于100K左右的制冷温度，可选用液氮作为导冷循环液。工作时液氮从进液口进入到制冷装置，在制冷装置内部循环后从出液口排出。工作时抽气口接真空泵，对探测器内部抽气，避免内部芯片表面结冰。该组件可以对100W～500W的芯片进行制冷，实现芯片在100K以下的持续工作。

公开(公告)号：CN101382233A

公开(公告)日：2009-03-11

申请号：CN200810201545.3

申请日：2008-10-22

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 张海燕 ,  李言谨 ,  陆华杰 ,  朱三根 ,  龚海梅

IPC: F17C5/04

Abstract: 本发明公开了一种液氮自动输送装置，它解决红外焦平面探测器组件制作过程中的可靠性实验的液氮补充问题。本发明的技术方案为：制作一容积更大的储液罐，与设备自带的液氮罐连接起来，形成连通器，以此大液氮罐作为设备的液氮存储器，大大的增加了设备的液氮存储量，提高了补液周期。

公开(公告)号：CN105486025B

公开(公告)日：2017-11-21

申请号：CN201510864380.8

申请日：2015-12-01

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 刘大福 ,  徐勤飞 ,  莫德锋 ,  陆华杰 ,  徐琳 ,  蒋梦蝶 ,  王煜宇

IPC: F25D29/00

Abstract: 本发明公开了一种集成深低温制冷装置的大功率光电探测器组件，组件由外壳、管帽、光学窗口等部分组成。组件带有抽气口、进出液口，在其内部集成了可工作在深低温的制冷装置及大功率探测器芯片，对于100K左右的制冷温度，可选用液氮作为导冷循环液。工作时液氮从进液口进入到制冷装置，在制冷装置内部循环后从出液口排出。工作时抽气口接真空泵，对探测器内部抽气，避免内部芯片表面结冰。该组件可以对100W～500W的芯片进行制冷，实现芯片在100K以下的持续工作。

公开(公告)号：CN103134988A

公开(公告)日：2013-06-05

申请号：CN201310039535.5

申请日：2013-01-31

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 曹岚 ,  张海燕 ,  朱宪亮 ,  夏王 ,  季鹏 ,  庄腹蓉 ,  陆华杰 ,  龚海梅

IPC: G01R27/02

Abstract: 本发明公开了一种多路阻值自动化测量系统。其包括老化电源、多路电子开关阵列、数据采集器、限流电阻、电路保护单元及计算机。其中多路电子开关阵列是一个多路单刀双闸开关阵列，其可根据多路红外器件中的任意一路元器件的测试要求，断开该路元器件与老化电源连接，将其接通至数据采集器，以完成元器件的试验状态与测试状态的自动切换；同时使用数据采集器对切换过来的元器件进行阻值测量，实现阻值自动测试的目的。通过计算机发送向数据采集器的RS232接口方式命令的方式，将测量数据转移至计算机进行存储；此系统实现了对多路元器件自动阻值测试和自动数据存储，提高了元器件老化数据采集的速率、准确度、数据量。

公开(公告)号：CN101373153B

公开(公告)日：2010-06-23

申请号：CN200810201542.X

申请日：2008-10-22

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 张海燕 ,  胡晓宁 ,  李言谨 ,  龚海梅 ,  陆华杰

IPC: G01K7/01

Abstract: 本发明公开了一种测量制冷型红外焦平面探测器件各光敏元间的温度差的装置和方法。温度分布不均匀会导致材料的禁带宽度有差异从而影响器件的响应波长，不利于焦平面的均匀性指标的提高，因此不同位置的光敏元温度分布是非常值得关注的。但目前还没有哪个方法能简单方便的测量几何尺寸在微米量级的光敏元的温度。本技术通过静电计测量微小面积光敏元的电势差，可以方便的得到他们间的温度差。该方法简便易行，测量准确，值得推广使用。