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公开(公告)号:CN101706323B
公开(公告)日:2011-02-16
申请号:CN200910226511.4
申请日:2009-11-18
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01J5/02
Abstract: 本发明公开了一种红外探测器杜瓦内吸气剂的安装结构及实现方法,它适用于红外探测器封装用工程杜瓦制备的部件技术。红外探测器杜瓦内吸气剂的安装结构包括杜瓦中空圆柱型外壳、可伐圆柱针脚、中空圆柱型陶瓷柱、吸气剂、力学支撑Ω环、圆弧横针、串联横针和回路L型针。本发明在吸气剂的力学支撑、电学连接和气密真空引出等方面引入特定的结构和实现方法,来实现了吸气剂在红外探测器杜瓦内高可靠气密安装,从而有利于红外探测器杜瓦组件的真空寿命提高和微型化。本发明同样适用于中空圆柱状电极针脚一边出的吸气剂在红外探测器杜瓦内安装;本发明同样也适用于红外探测器杜瓦内吸气剂安装面为平面的安装结构。
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公开(公告)号:CN101408461B
公开(公告)日:2010-06-09
申请号:CN200810203389.4
申请日:2008-11-26
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种红外探测器微型杜瓦组件性能测试用排气装置,其结构主要由微型吸附泵、双通二位快速转换真空阀门,过渡管、高气密真空对接接头、红外探测器杜瓦组件组成。本发明是利用低温介质对无电源微型吸附泵内的活性炭进行制冷,低温下的活性炭对红外探测器杜瓦组件进行排气,双通二位快速转换真空阀门可以实现微型吸附泵与多个红外探测器杜瓦组件之间快速高气密的交替连接,来获得红外探测器微型杜瓦组件高真空排气夹封前性能测试的所需要真空度。本发明避免了排气装置对红外探测器杜瓦组件性能测试的电磁干扰,解决了处于低温红外探测器突然暴露空气会导致红外探测器芯片和其相应的光学元件被污染的问题,提高了测试效率。
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公开(公告)号:CN101349593B
公开(公告)日:2010-06-02
申请号:CN200810042428.7
申请日:2008-09-03
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01J5/02
Abstract: 本发明公开了一种航天用红外探测器杜瓦组件高真空保持的结构及实现方法,它适用于红外探测器杜瓦组件的空间应用技术。航天用红外探测器杜瓦组件高真空保持的结构由高气密真空自锁阀、连接管、高气密真空对接接头、排气管和红外探测器杜瓦组件。本发明在高气密真空自锁阀和高气密真空对接接头的密封结构和连接上引入特定的处理方法,来获得了航天用红外探测器杜瓦组件高真空保持的结构。本发明可使得航天用红外探测器杜瓦组件获得无限长的真空寿命,同时本发明对红外探测器制备和封装工艺中降低出气率的工艺环节没有严格要求,这大大降低红外探测器杜瓦组件的制备和封装成本。
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公开(公告)号:CN101706323A
公开(公告)日:2010-05-12
申请号:CN200910226511.4
申请日:2009-11-18
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01J5/02
Abstract: 本发明公开了一种红外探测器杜瓦内吸气剂的安装结构及实现方法,它适用于红外探测器封装用工程杜瓦制备的部件技术。红外探测器杜瓦内吸气剂的安装结构包括杜瓦中空圆柱型外壳、可伐圆柱针脚、中空圆柱型陶瓷柱、吸气剂、力学支撑Ω环、圆弧横针、串联横针和回路L型针。本发明在吸气剂的力学支撑、电学连接和气密真空引出等方面引入特定的结构和实现方法,来实现了吸气剂在红外探测器杜瓦内高可靠气密安装,从而有利于红外探测器杜瓦组件的真空寿命提高和微型化。本发明同样适用于中空圆柱状电极针脚一边出的吸气剂在红外探测器杜瓦内安装;本发明同样也适用于红外探测器杜瓦内吸气剂安装面为平面的安装结构。
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公开(公告)号:CN100593854C
公开(公告)日:2010-03-10
申请号:CN200810033431.2
申请日:2008-02-01
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L25/00 , H01L23/488 , H01L23/49
CPC classification number: H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了一种大面阵红外焦平面探测器在冷平台上的组装结构及其组装方法,它适用于对大面阵红外焦平面探测器芯片的杜瓦封装。大面阵红外焦平面探测器在微型杜瓦的冷平台上的组装结构包括大面阵红外探测器芯片、基板衬底、微型杜瓦的冷平台、引线电路、滤光片支架、滤光片、由两类共用圆筒组成的冷屏、硅铝丝。本发明通过在基板衬底、滤光片支架和冷屏制备和连接上引入特定的处理方法,来实现了大面阵红外焦平面探测器在微型杜瓦的冷平台上的组装结构,本发明降低了微型杜瓦的冷平台的热容量,缩短了降温时间,同时也有效的抑制了杂散光和降低了微型杜瓦组件的寄生热负载。
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公开(公告)号:CN101612693A
公开(公告)日:2009-12-30
申请号:CN200910055332.9
申请日:2009-07-24
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: B23K26/16
Abstract: 本发明公开了一种去除薄金属片在微细加工中产生的切屑的装置,它解决了对微小且不太平整的薄金属样品的可靠夹持和定向除屑的问题。本发明的装置主要由底座、顶盖、转接头、导气管、螺栓、压力气源等组成。将样品平整地放于底座小孔之上,盖上顶盖,拧上螺栓,依次连接转接头、导气管和压力气源。加工时将夹具放于激光器工作平台上,调整激光焦距和工艺参数后,打开压力气源。本发明的优点在于:结构简单,使用方便,针对不同形状的样品要求,只需要改变通孔形状。该夹具能夹持微小薄金属尤其是微小不平薄金属,且在加工过程中能定向除屑,提高微细加工质量。
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公开(公告)号:CN101144738A
公开(公告)日:2008-03-19
申请号:CN200710047622.X
申请日:2007-10-31
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种用于焦平面探测器的低温杜瓦的冷平台的支撑机构,该支撑机构由细长薄壁圆柱形的支撑柱和四根斜拉式二端带金属小球的金属丝组成。支撑柱置于杜瓦的悬臂式外壳内,支撑柱上支撑一通过焊接固定的冷平台,冷平台的四个角处各联结有一根金属丝,金属丝与冷平台的联接为球面副联结,金属丝的另一端向下斜拉式与螺接在引线环侧壁上的活动定柱球面副联结。所说的螺接其螺钉既是活动定柱与引线环的螺接螺钉,又是对斜拉式金属丝加载预紧力的螺钉,螺钉外套有固定预紧力的螺帽。本发明的优点是:该支撑机构克服了传统冷平台支撑结构在力学上弊端,保证探测器始终位于光学系统焦面的允许误差范围内。斜拉金属丝与活动定柱和冷平台采用球面副联结,当受到外界连续冲击扰动时,连接处可以自由活动,不会产生疲劳硬伤而断裂。
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公开(公告)号:CN100401081C
公开(公告)日:2008-07-09
申请号:CN200610023378.9
申请日:2006-01-17
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
CPC classification number: F25D19/006
Abstract: 一种宽温度范围的高低温循环设备中的热传导机构,该设备是用于半导体器件的可靠性测试与环境应力筛选的,该热传导机构是针对中国专利200410067891.9,名称为:宽温度范围的高低温循环设备而设计的。它包括:低温热传导机构和高温热传导机。低温热传导机构置于该设备中的液氮子缸外底部,由自上而下依次排列的两面涂有导热硅脂层的环形铟片、过渡冷头和圆形铟片组成。高温热传导机构置于该设备中的加热台上,由环形铟片通过导热硅脂层贴在加热台上构成。本发明的优点是:由于增加了热传导机构,使该高低温循环设备中的传热台的升降温速率大大提高,加快了器件的温度可靠性测试筛选速度。
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公开(公告)号:CN100359310C
公开(公告)日:2008-01-02
申请号:CN200410067891.9
申请日:2004-11-05
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 一种宽温度范围的高低温循环设备,系为从低温≤-173℃到室温的温度循环设备,主要用于人造卫星上的红外探测器的环境应力筛选。该设备主要由一个主系统和一个从系统以及一个PC机组成。主系统主要负责实现温度循环功能及控制,从系统为主系统的冷环境自动补充消耗掉的液氮。设备可以记录热环境温度,和温度循环次数并显示在控制面板上。另外设备能有效地避免意外情况带来的损失。本设备的最大优点是可以自动完成半导体器件的温度循环试验,工作人员只需隔几天给母缸倒入液氮即可。另外本设备的温度循环还可具有从低于-173℃到300℃极广的温度试验范围,可以用来完成此温度范围内要求的半导体器件的环境应力筛选和器件可靠性测试。
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公开(公告)号:CN1820885A
公开(公告)日:2006-08-23
申请号:CN200610025044.5
申请日:2006-03-24
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种低温金属杜瓦的窗架与光学窗口的真空密封焊接方法,窗架为可伐合金材料,光学窗口为对红外透光的材料。该方法采用铟作为焊料,在光学窗口的焊接处真空镀膜Cr/Au层作为过渡层,在低温下焊接。本发明的最大优点是由于在低温下焊接,不会对红外光学窗口上的减反射膜产生任何不良影响;采用软金属铟作为焊料连结,可以缓冲光学窗口材料与可伐合金材料膨胀系数的差异,其漏气率优于3×10-12乇.升/秒;放气率相对传统工艺要小很多。
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