检查用探测器及检查用探测器的制造方法

    公开(公告)号:CN100411128C

    公开(公告)日:2008-08-13

    申请号:CN200610081994.X

    申请日:2006-05-17

    Inventor: 伊东春树

    CPC classification number: G01R1/0735

    Abstract: 一种检查用探测器,包括:具有第1面和第2面的基板;输入突起部,形成在基板的第1面,且与半导体装置的多个输入端子的排列对应而形成;输出突起部,形成在基板的第1面,且与半导体装置的多个输出端子的排列对应而形成;多个输入接触部,形成在输入突起部上,分别与半导体装置的多个输入端子的每一个接触;多个输出接触部,形成在输出突起部上,分别与半导体装置的多个输出端子的每一个接触;多个输入导电部,形成在基板的第1面上的与形成有输入突起部的区域不同的区域,分别与多个输入接触部的每一个电连接;和多个输出导电部,形成在基板的第1面上的与形成有输出突起部的区域不同的区域,分别与多个输出接触部的每一个电连接。

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