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公开(公告)号：CN115946976A
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202310115503.2
申请日：2023-02-08
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开一种探测器容器，涉及探测器相关技术领域；包括内容器和外容器，所述内容器固定悬设于所述外容器内，所述内容器上连接有液氩进口管和氩气出口管，所述液氩进口管和氩气出口管末端分别与氩液化冷箱连接；所述外容器顶部设置有外容器真空抽口和内容器真空抽口，所述外容器真空抽口和内容器真空抽口一端分别通过真空管路连接有抽真空系统，所述外容器真空抽口另一端与所述外容器和内容器之间的空间连通，所述内容器真空抽口另一端与所述内容器内部连通；所述外容器顶部安装有与所述内容器连通的探测器。本发明提供的探测器容器，制冷时间长，制冷效果好。
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公开(公告)号：CN113981530A
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202111284659.0
申请日：2021-11-01
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明属于极性可控材料技术领域，本发明提供了一种极性可控氧化锌薄膜及其制备方法，本发明的制备方法包含如下步骤：将蓝宝石衬底置于真空腔室中，在真空条件下，采用阴极弧放电去除锌靶材表面的污染物；在氧气气氛下，通过调节正负偏压在蓝宝石衬底上沉积锌极性氧化锌薄膜和氧极性氧化锌薄膜，得到极性可控氧化锌薄膜。本发明的制备方法在不插入缓冲层，不对衬底进行预处理，没有任何晶体模板的情况下，通过调节衬底的正负偏压，一步法直接实现无掺杂氧化锌薄膜的极性选择性沉积，沉积得到的极性可控氧化锌薄膜结晶质量良好，颗粒大小均匀致密。
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公开(公告)号：CN111485208B
公开(公告)日：2021-07-13
申请号：CN202010198940.1
申请日：2020-03-20
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种气浮电机润滑涂层制备方法，包括以下步骤：S1：利用气体离子源对基体表面进行高低能交替清洗；S2：利用BN加热器在真空度1×10‑2‑1×10‑3Pa下对清洗后的基体进行加温至第一预定温度，保温1‑5h；S3：将温度降至第二预定温度，利用磁过滤沉积技术，同时在基体上施加高功率脉冲偏压复合直流偏压进行类石墨涂层的沉积；然后将温度升至第三预定温度；S4：利用激光器对所述类石墨涂层进行表面刻蚀。该方法沉积速率高，成本低，能实现批量化生产。采用该方法制备的类金刚石涂层为硬度和氢含量循环交替变化的类石墨层状碳结构；且具备高耐腐蚀性，高抗裂纹扩展特性，高抗磨能力，同时具有高导电性，并且膜层致密性好。
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公开(公告)号：CN110983282B
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN201911252415.7
申请日：2019-12-09
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种替代激光直接成形技术的装置，基体样品通过传输带进入准备室，准备室内有吹干系统保证样品的干净和干燥；基体样品干燥后通过传送带进入预抽室；抽气完成后通过传送带进入缓冲室，缓冲室通过分子泵进行高真空抽气；最后进入处理室，在处理室内进行高能离子注入和低能离子束沉积操作，最后进行样品收集，完成处理流程。本发明提供了一种替代激光直接成形技术的装置，该方法基于高能离子束技术、低能离子束技术以及相关掩模技术形成具备一定功能的金属天线。通过该方法制备的天线，具有成本低、无需激光粉、耐腐蚀性好、结合强度高、膜层一致性好、表面粗糙度低、环保等特点。
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公开(公告)号：CN111607771A
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN202010610104.X
申请日：2020-06-29
Applicant: 北京师范大学
IPC: C23C14/35 , C23C14/10 , C23C14/30 , C23C14/08 , C23C14/32 , C23C14/20 , C23C14/02 , C08J7/06 , C08L79/08
Abstract: 本发明公开了一种耐原子氧聚合物膜层材料及其制备方法，属于航空航天材料技术领域。所述膜层材料为五层复合结构，基体层为聚合物薄膜，中间过渡层依次为连接层、阻氧层和活性金属层，表层为阻氧层；其中，连接层为利用射频磁控溅射沉积的SiO2层；阻氧层为利用电子束蒸发技术制备的氧化铝或氧化锆层；活性金属层为利用磁过滤沉积的Mg、Al或Zn层。本发明选用电子束蒸发和磁过滤/射频磁控等方法的耦合制备耐原子氧聚合物膜层材料，以解决结合强度、热穿透和氧穿透的问题，不仅制备工艺简便，而且所制得的耐原子氧聚合物薄膜具有结构致密、无开裂的优点，以最终达到良好的原子氧防护效果。
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公开(公告)号：CN111575669A
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN202010417649.9
申请日：2020-05-18
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明涉及一种防高速冲击涂层方法，包括：对基体进行表面初步离子清洗；在表面清洗后的基体进行激光亚表面微结构化；对结构化表面深度清洗后进行离子注入，并退火形成伪扩散层；在所述伪扩散层之上，利用蒸发法沉积聚合物吸能膜层；利用高能离子注入对聚合物层进行金属化；利用磁过滤沉积设备在金属化层上沉积超硬金刚石涂层；循环制备聚合物层、金属化层以及超硬类金刚石层3-5次。本发明实施例提供的方法，通过基体微结构、离子注入和沉积镀膜的相结合的方式，明显提高了基体的抗高速运动物体的冲击能力。因其方法简单、易操作，且成本低、效率高，非常适合批量化生产。
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公开(公告)号：CN108441832B
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201810264173.2
申请日：2018-03-28
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种离心泵叶轮表面处理方法和设备，包括以下步骤：S1：利用前期处理设备对叶轮表面进行脱油脱脂清洗；S2：利用宽束双加速级金属离子源对叶轮基体进行表面结构异化处理；宽束金属离子源能够引出的束斑直径为800mm，能够满足800mm以内的叶轮的表面/亚表面结构异化处理，产生压应力提高膜基结合力；S3：同时利用金属离子源、磁过滤沉积系统、高功率脉冲磁控溅射系统对叶轮进行表面沉积镀膜。控制公转速度等参数能够方便实现锯齿梯度、渐变梯度、函数梯度膜层的沉积。采用该方法制备的涂层结构能方便实现交替结构变化；相比于传统涂层，该涂层具备高耐气蚀能力，更强的抗裂纹生长能力、以及接近于体材料的膜层致密性。
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公开(公告)号：CN111020479A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201911355671.9
申请日：2019-12-25
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明提供了一种高遮挡件抗腐蚀多元涂层及其制备方法以及制备方法所用的装置，属于薄膜沉积技术领域。本发明提供的高遮挡件抗腐蚀多元涂层的制备方法，包括以下步骤：以碳硅靶和碳硅钛靶为阴极，利用磁过滤沉积法、多弧沉积法和第一高功率脉冲磁控法在高遮挡件基体交替循环沉积TiSiN膜层和TiSiCN膜层，得到TiSiN/TiSiCN复合交替层；利用第二高功率脉冲磁控法在所述TiSiN/TiSiCN复合交替层表面沉积Al2O3膜层，得到高遮挡件抗腐蚀多元涂层。本发明利用磁过滤沉积、多弧沉积和高功率脉冲磁控三种方法配合使用，制备的高遮挡件抗腐蚀多元涂层抗冲蚀性能、抗盐雾、抗酸碱腐蚀等特性优异。
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公开(公告)号：CN111005003A
公开(公告)日：2020-04-14
申请号：CN201911253360.1
申请日：2019-12-09
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种替代激光直接成型技术的天线制备方法，基体样品通过传输带进入准备室，准备室内有吹干系统保证样品的干净和干燥；基体样品干燥后通过传送带进入预抽室；抽气完成后通过传送带进入缓冲室，缓冲室通过分子泵进行高真空抽气；最后进入处理室，在处理室内进行高能离子注入和低能离子束沉积操作，最后进行样品收集，完成处理流程。本发明提供了一种替代激光直接成型技术的天线制备方法，该方法基于高能离子束技术、低能离子束技术以及相关掩模技术形成具备一定功能的金属天线。通过该方法制备的天线，具有成本低、无需激光粉、耐腐蚀性好、结合强度高、膜层一致性好、表面粗糙度低、环保等特点。
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公开(公告)号：CN110983282A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201911252415.7
申请日：2019-12-09
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种替代激光直接成形技术的装置，基体样品通过传输带进入准备室，准备室内有吹干系统保证样品的干净和干燥；基体样品干燥后通过传送带进入预抽室；抽气完成后通过传送带进入缓冲室，缓冲室通过分子泵进行高真空抽气；最后进入处理室，在处理室内进行高能离子注入和低能离子束沉积操作，最后进行样品收集，完成处理流程。本发明提供了一种替代激光直接成形技术的装置，该方法基于高能离子束技术、低能离子束技术以及相关掩模技术形成具备一定功能的金属天线。通过该方法制备的天线，具有成本低、无需激光粉、耐腐蚀性好、结合强度高、膜层一致性好、表面粗糙度低、环保等特点。
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