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公开(公告)号：CN108441832B
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201810264173.2
申请日：2018-03-28
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种离心泵叶轮表面处理方法和设备，包括以下步骤：S1：利用前期处理设备对叶轮表面进行脱油脱脂清洗；S2：利用宽束双加速级金属离子源对叶轮基体进行表面结构异化处理；宽束金属离子源能够引出的束斑直径为800mm，能够满足800mm以内的叶轮的表面/亚表面结构异化处理，产生压应力提高膜基结合力；S3：同时利用金属离子源、磁过滤沉积系统、高功率脉冲磁控溅射系统对叶轮进行表面沉积镀膜。控制公转速度等参数能够方便实现锯齿梯度、渐变梯度、函数梯度膜层的沉积。采用该方法制备的涂层结构能方便实现交替结构变化；相比于传统涂层，该涂层具备高耐气蚀能力，更强的抗裂纹生长能力、以及接近于体材料的膜层致密性。
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公开(公告)号：CN108359942A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201810263024.4
申请日：2018-03-28
Applicant: 北京师范大学
CPC classification number: C23C14/325 , C23C14/022 , C23C14/0611 , C23C14/5826 , C23C14/5873
Abstract: 本发明公开了一种类金刚石涂层的制备方法，包括以下步骤：S1：利用气体离子源对基体表面进行高低能交替清洗；S2：以碳靶为阴极，利用磁过滤沉积技术在所述基体上进行类金刚石涂层的沉积；该方法沉积速率高，成本低，能实现大批量生产；S3：利用激光器对类金刚石涂层进行表面刻蚀，刻蚀间隔为2-10微米；S4：利用气体离子源对图形化类金刚石膜进行表面处理。采用该方法制备的涂层为四面体非晶形碳高sp3和低sp3含量交替变化结构；该涂层具备高耐磨损性能，比含氢类金刚石、高sp3含量类金刚石以及低sp3含量类金刚石具备更高的抗裂纹生长能力以及抗摩擦磨损性能。
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公开(公告)号：CN108359942B
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201810263024.4
申请日：2018-03-28
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种类金刚石涂层的制备方法，包括以下步骤：S1：利用气体离子源对基体表面进行高低能交替清洗；S2：以碳靶为阴极，利用磁过滤沉积技术在所述基体上进行类金刚石涂层的沉积；该方法沉积速率高，成本低，能实现大批量生产；S3：利用激光器对类金刚石涂层进行表面刻蚀，刻蚀间隔为2‑10微米；S4：利用气体离子源对图形化类金刚石膜进行表面处理。采用该方法制备的涂层为四面体非晶形碳高sp3和低sp3含量交替变化结构；该涂层具备高耐磨损性能，比含氢类金刚石、高sp3含量类金刚石以及低sp3含量类金刚石具备更高的抗裂纹生长能力以及抗摩擦磨损性能。
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公开(公告)号：CN108441832A
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201810264173.2
申请日：2018-03-28
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种离心泵叶轮表面处理方法和设备，包括以下步骤：S1：利用前期处理设备对叶轮表面进行脱油脱脂清洗；S2：利用宽束双加速级金属离子源对叶轮基体进行表面结构异化处理；宽束金属离子源能够引出的束斑直径为800mm，能够满足800mm以内的叶轮的表面/亚表面结构异化处理，产生压应力提高膜基结合力；S3：同时利用金属离子源、磁过滤沉积系统、高功率脉冲磁控溅射系统对叶轮进行表面沉积镀膜。控制公转速度等参数能够方便实现锯齿梯度、渐变梯度、函数梯度膜层的沉积。采用该方法制备的涂层结构能方便实现交替结构变化；相比于传统涂层，该涂层具备高耐气蚀能力，更强的抗裂纹生长能力、以及接近于体材料的膜层致密性。
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