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发明公开
一种极性可控氧化锌薄膜及其制备方法无效

公开(公告)号：CN113981530A

公开(公告)日：2022-01-28

申请号：CN202111284659.0

申请日：2021-11-01

Applicant: 北京师范大学

Inventor： 英敏菊 , 李倩 , 张梦迪 , 廖斌 , 张旭

IPC: C30B25/02 , C30B25/18 , C30B29/16

Abstract: 本发明属于极性可控材料技术领域，本发明提供了一种极性可控氧化锌薄膜及其制备方法，本发明的制备方法包含如下步骤：将蓝宝石衬底置于真空腔室中，在真空条件下，采用阴极弧放电去除锌靶材表面的污染物；在氧气气氛下，通过调节正负偏压在蓝宝石衬底上沉积锌极性氧化锌薄膜和氧极性氧化锌薄膜，得到极性可控氧化锌薄膜。本发明的制备方法在不插入缓冲层，不对衬底进行预处理，没有任何晶体模板的情况下，通过调节衬底的正负偏压，一步法直接实现无掺杂氧化锌薄膜的极性选择性沉积，沉积得到的极性可控氧化锌薄膜结晶质量良好，颗粒大小均匀致密。

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