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公开(公告)号：CN111020479A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201911355671.9
申请日：2019-12-25
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明提供了一种高遮挡件抗腐蚀多元涂层及其制备方法以及制备方法所用的装置，属于薄膜沉积技术领域。本发明提供的高遮挡件抗腐蚀多元涂层的制备方法，包括以下步骤：以碳硅靶和碳硅钛靶为阴极，利用磁过滤沉积法、多弧沉积法和第一高功率脉冲磁控法在高遮挡件基体交替循环沉积TiSiN膜层和TiSiCN膜层，得到TiSiN/TiSiCN复合交替层；利用第二高功率脉冲磁控法在所述TiSiN/TiSiCN复合交替层表面沉积Al2O3膜层，得到高遮挡件抗腐蚀多元涂层。本发明利用磁过滤沉积、多弧沉积和高功率脉冲磁控三种方法配合使用，制备的高遮挡件抗腐蚀多元涂层抗冲蚀性能、抗盐雾、抗酸碱腐蚀等特性优异。
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公开(公告)号：CN110747437A
公开(公告)日：2020-02-04
申请号：CN201911239897.2
申请日：2019-12-06
Applicant: 北京师范大学 , 稳力(广东)科技有限公司
IPC: C23C14/32
Abstract: 本发明公开了一种磁过滤管道，涉及磁过滤技术领域，包括：第一矩形管和第二矩形管，所述第一矩形管一端与所述第二矩形管的一端固定连接，所述第一矩形管另一端为磁过滤管道入口，所述磁过滤管道入口用于与阴极靶材法兰相连接，所述第二矩形管另一端为磁过滤管道出口，所述磁过滤管道出口用于与真空室连接，所述第一矩形管和所述第二矩形管内壁均设置有凸起和凹槽，所述凸起内用于填充冷水。所以，本发明克服了现有技术磁过滤管道存在的尺寸小以及膜层沉积效率低的缺陷，本发明能够提高膜层沉积效率，并有利于降低生产成本。
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公开(公告)号：CN110144562A
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201910548727.6
申请日：2019-06-24
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明涉及一种超厚吸能涂层的制备方法，包括：S01:对基体进行气体离子源清洗；S02：基体进行高功率脉冲金属离子清洗；S03：通入乙炔和氮气沉积CrAlNC；S04：关闭乙炔阀门，高功率脉冲磁控沉积ZrN；S05：关闭氮气通入乙炔沉积CrAlC；S06：循环沉积膜层直至膜层厚度大于20微米。本发明实施例提供的方法，通过气体离子源、高功率脉冲磁控、多弧离子镀技术相结合的方式，沉积的超厚涂层其内应力低、韧性、抗冲击及吸能特性性好。因其方法简单、易操作，且成本低、效率高，非常适合批量生产。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111020479B
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN201911355671.9
申请日：2019-12-25
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明提供了一种高遮挡件抗腐蚀多元涂层及其制备方法以及制备方法所用的装置，属于薄膜沉积技术领域。本发明提供的高遮挡件抗腐蚀多元涂层的制备方法，包括以下步骤：以碳硅靶和碳硅钛靶为阴极，利用磁过滤沉积法、多弧沉积法和第一高功率脉冲磁控法在高遮挡件基体交替循环沉积TiSiN膜层和TiSiCN膜层，得到TiSiN/TiSiCN复合交替层；利用第二高功率脉冲磁控法在所述TiSiN/TiSiCN复合交替层表面沉积Al2O3膜层，得到高遮挡件抗腐蚀多元涂层。本发明利用磁过滤沉积、多弧沉积和高功率脉冲磁控三种方法配合使用，制备的高遮挡件抗腐蚀多元涂层抗冲蚀性能、抗盐雾、抗酸碱腐蚀等特性优异。
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公开(公告)号：CN110957287A
公开(公告)日：2020-04-03
申请号：CN201911301282.8
申请日：2019-12-17
Applicant: 北京师范大学
IPC: H01L23/367 , H01L23/373 , H01L21/48
Abstract: 本发明涉及一种大功率散热器及其制备方法，通过在所述铝基板上生长所述氧化层，在所述氧化层上生长所述致密层，在所述致密层上生长所述绝缘层。并且，所述氧化层中包括多个用于增大所述散热器的体电阻值的纳米颗粒。本发明提供的大功率散热器及其制备方法，具有器件散热性能好、制备步骤简单的特点。
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公开(公告)号：CN111663106A
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN202010644519.9
申请日：2020-07-07
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开一种制备高遮挡基体涂层的装置，涉及镀膜装置技术领域，主要结构包括真空室，所述真空室水平方向的中部后侧设置有第一法兰孔，待加工工件通过所述第一法兰孔进入所述真空室内；所述真空室还连通有气体离子源系统、沉积系统和分子泵；所述真空室上设置有进气口；通过气体离子源系统对待加工工件进行表面气体离子源清洗；然后通入氮气进行表面氮化，提高基体抗疲劳特性，再进行循环多层涂层的制备；工件在真空腔室内进行自转。该单元涂层内每层均为氮化物、氧化物纳米晶的混合体，能够释放沉积时产生的内应力，同时膜层内Al，Cr的氧化物具备较好的抗高温性能。
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公开(公告)号：CN110144562B
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201910548727.6
申请日：2019-06-24
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明涉及一种超厚吸能涂层的制备方法，包括：S01:对基体进行气体离子源清洗；S02：基体进行高功率脉冲金属离子清洗；S03：通入乙炔和氮气沉积CrAlNC；S04：关闭乙炔阀门，高功率脉冲磁控沉积ZrN；S05：关闭氮气通入乙炔沉积CrAlC；S06：循环沉积膜层直至膜层厚度大于20微米。本发明实施例提供的方法，通过气体离子源、高功率脉冲磁控、多弧离子镀技术相结合的方式，沉积的超厚涂层其内应力低、韧性、抗冲击及吸能特性性好。因其方法简单、易操作，且成本低、效率高，非常适合批量生产。
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公开(公告)号：CN211665167U
公开(公告)日：2020-10-13
申请号：CN201922166914.6
申请日：2019-12-06
Applicant: 北京师范大学 , 稳力(广东)科技有限公司
IPC: C23C14/32
Abstract: 本实用新型公开了一种磁过滤管道，涉及磁过滤技术领域，包括：第一矩形管和第二矩形管，所述第一矩形管一端与所述第二矩形管的一端固定连接，所述第一矩形管另一端为磁过滤管道入口，所述磁过滤管道入口用于与阴极靶材法兰相连接，所述第二矩形管另一端为磁过滤管道出口，所述磁过滤管道出口用于与真空室连接，所述第一矩形管和所述第二矩形管内壁均设置有凸起和凹槽，所述凸起内用于填充冷水。所以，本实用新型克服了现有技术磁过滤管道存在的尺寸小以及膜层沉积效率低的缺陷，本实用新型能够提高膜层沉积效率，并有利于降低生产成本。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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