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公开(公告)号：CN101504374A
公开(公告)日：2009-08-12
申请号：CN200910056934.6
申请日：2009-03-06
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
IPC: G01N21/84
Abstract: 本发明为激光聚焦式测头应用于特殊结构测量中的标定和扫描方法。通过对具有多种材料表面的被测样品进行预先多次标定，在扫描过程中通过自动或手动设置FES信号线性拟合系数，对具有多种材料表面的被测样品进行焦平面位置修正。本发明在不改变原有测量系统硬件结构的基础上，克服激光聚焦方法在测量对象和分辨力上的缺陷，拓展了该方法的应用领域。
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公开(公告)号：CN118882484A
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202411197647.8
申请日：2024-08-29
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明提供一种三维微接触测量封装结构及包含其的三维测量装置，该封装结构包括探测模块、多个探测器和安装台，探测模块包括相对固定的测针和反射镜体，测针的下端用于与样品表面相接触并跟随样品的表面起伏移动，反射镜体设有若干反射面；探测器与反射镜体的反射面对应设置，探测器用于探测反射镜体的反射面的位移；探测模块、探测器固定在安装台上，安装台还用于与测量平台相固定。探测模块、探测器固定在安装台上，使探测模块、探测器形成一个整体的封装结构，使封装结构可作为一个整体安装在测量平台上，快速实现了探测模块、探测器与测量平台安装，使一种测量方案可以方便地适配多个测量平台，一个测量平台也可以适配多种测量方案。
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公开(公告)号：CN112782839A
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN202110201102.X
申请日：2021-02-23
Applicant: 上海市计量测试技术研究院 , 上海计测信息科技有限公司
Abstract: 本发明涉及的一种角度可调的高精度载物台装置，在本发明的一种角度可调的高精度载物台装置中，底座与载物台之间通过固定支承柱及两个活动支承柱三点支承，通过两个驱动机构分别驱动两个滑动杆使得滑动杆前端的斜坡面将两个顶珠顶起不同高度，从而使得载物台的位姿得以调节，由于滚珠及顶珠均与运动零件滚动摩擦，所以摩擦力小，不会发生窜动，使得载物台的位姿调整顺畅平稳。由此可见，本发明的一种角度可调的高精度载物台装置能够方便地调整载物台的位姿，结构简单，运动平稳顺畅。
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公开(公告)号：CN103075952B
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201210557870.X
申请日：2012-12-20
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明为一种用于微纳米尺度二维尺寸测量的微触觉测头，其特征在于：所述的微触觉测头由圆形基底、电容式传感器阵列、悬梁、测针、悬挂弹簧及限位结构组成；圆形基底用于固定传感器阵列及悬梁；电容式传感器阵列作为敏感单元，用以感知位移变化；悬梁用于连接测针及传感器阵列；测针直接与被测物接触，以探测并传递位移量；悬挂弹簧起悬挂、调平悬梁的作用，并可调节测量力；限位结构用来限制悬梁及测针运动的自由度，使其只能以悬梁顶端的小球球心为原点旋转，从而消除了测针和悬梁的整体偏移，保证了横向位移测量的精度。
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公开(公告)号：CN101813499A
公开(公告)日：2010-08-25
申请号：CN201010136209.2
申请日：2010-03-30
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明为一种三维微触觉传感器的校准方法与装置，其特征在于：在隔振腔中安装三维微触觉传感器固定装置、微位移输入装置、CCD摄像头和激光干涉仪；三维微触觉传感器通过不同的夹持机构安放在旋转平台上，微位移输入装置通过控制装置实现三维微触觉传感器的Z轴粗动定位和传感器与压电陶瓷的零接触，压电陶瓷通过控制系统输出振幅信号给三维微触觉传感器施加位移约束信号，再通过信号采集系统和上机软件，建立输入—输出关系图，通过激光干涉仪的校准系统对压电陶瓷的位移约束量进行跟踪测量，实现三维微触觉传感器性能参数的测试和校准。本发明解决了多种传感方式的三维微触觉传感器的线性、量程、精度等多个性能的校准工作。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101504273A
公开(公告)日：2009-08-12
申请号：CN200910056935.0
申请日：2009-03-06
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明为一种物体平面微、纳米尺寸的测量装置及其测量方法，其特征在于：包括纳米定位测量机、光学显微镜测头和数据处理器，纳米定位测量机箱体内设有三个微型平面镜干涉仪和两个角度传感器来实现计量性的定位和测量，纳米定位测量机箱体一侧垂直支撑其固定支架，固定支架的另一端安装光学显微镜测头，光学显微镜测头底下是被测物体和载物台；被测物体经光学显微镜测头成像后，图像数据传递到数据处理器，数据处理器将接收到的数据进行数值转换获取被测物体在光学显微镜测头视场内的灰度图，在灰度图中设定线宽方向，然后设定沿此方向的区域，计算所述区域内各像素点的灰度算术平均值，并将所述灰度算术平均值经数模转换后发送到纳米测量机。
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公开(公告)号：CN214335358U
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN202120396080.2
申请日：2021-02-23
Applicant: 上海市计量测试技术研究院 , 上海计测信息科技有限公司
Abstract: 本实用新型涉及的一种角度可调的高精度载物台装置，在本实用新型的一种角度可调的高精度载物台装置中，底座与载物台之间通过固定支承柱及两个活动支承柱三点支承，通过两个驱动机构分别驱动两个滑动杆使得滑动杆前端的斜坡面将两个顶珠顶起不同高度，从而使得载物台的位姿得以调节，由于滚珠及顶珠均与运动零件滚动摩擦，所以摩擦力小，不会发生窜动，使得载物台的位姿调整顺畅平稳。由此可见，本实用新型的一种角度可调的高精度载物台装置能够方便地调整载物台的位姿，结构简单，运动平稳顺畅。
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公开(公告)号：CN212379431U
公开(公告)日：2021-01-19
申请号：CN202020895038.0
申请日：2020-05-25
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本实用新型涉及一种基于原子力显微镜的测量装置，原子力显微镜扫描头固定设置，在测量过程中静止不动，原子力显微镜扫描头扫描测量被测物体表面的轮廓面参数并生成检测信号，原子力显微镜信号调理装置将检测信号调理之后传递给平台控制器，平台控制器根据检测信号控制定位平台相对原子力显微镜扫描头运动而使原子力显微镜扫描头沿着被测物体表面扫描检测，计算机对检测信号进行处理而得出被测物体表面轮廓的参数。由此可见，本实用新型的一种基于原子力显微镜的测量装置，能够方便地进行测量，测量过程中，原子力显微镜扫描头保持静止，避免了振动导致的测量误差，提高了测量准确性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN205748332U
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：CN201620552831.4
申请日：2016-06-08
Applicant: 上海市计量测试技术研究院 , 上海计测工程设备监理有限公司
IPC: G01B21/04
Abstract: 本实用新型为一种微纳米标准样板，其特征在于：所述的微纳米标准样板包括A区域、B区域和C区域三个工作区域；所述的A区域设有向上的箭头形状的循迹标识；所述的B区域设有不同计量尺寸的第一矩阵阵列光栅和第二矩阵阵列光栅；所述的C区域设有不同计量尺寸的第一横向刻度尺、第二横向刻度尺、第三横向刻度尺和第四横向刻度尺，所述的C区域还设有四个等腰直角三角形形状的循迹标识。
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公开(公告)号：CN202974172U
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201220709671.1
申请日：2012-12-20
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本实用新型为一种用于微纳米尺度二维尺寸测量的微触觉测头，其特征在于：所述的微触觉测头由圆形基底、电容式传感器阵列、悬梁、测针、悬挂弹簧及限位结构组成；圆形基底用于固定传感器阵列及悬梁；电容式传感器阵列作为敏感单元，用以感知位移变化；悬梁用于连接测针及传感器阵列；测针直接与被测物接触，以探测并传递位移量；悬挂弹簧起悬挂、调平悬梁的作用，并可调节测量力；限位结构用来限制悬梁及测针运动的自由度，使其只能以悬梁顶端的小球球心为原点旋转，从而消除了测针和悬梁的整体偏移，保证了横向位移测量的精度。
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