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公开(公告)号：CN106572624A
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201610979423.1
申请日：2016-11-04
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: H05K9/00
CPC classification number: H05K9/0081
Abstract: 一种基于纳米盘阵列结构的光学超材料吸收器，包括玻璃衬底，其特征是在玻璃衬底上依次沉积氮化钛薄膜、氧化铟锡薄膜和阵列的盘状氮化钛纳米盘，所述的氮化钛薄膜的厚度t3的取值范围不小于200nm，氧化铟锡薄膜的厚度t2的取值范围为45nm‑55nm，氮化钛nm盘的厚度t1的取值范围为40nm‑60nm，所述的氮化钛纳米盘的中心间距P的取值范围为450nm‑550nm，纳米盘的直径d的取值范围为240nm‑320nm。本发明超材料吸收器具有吸收效率高，结构简单等优点，在550nm到650nm的波段范围的平均吸收率大于95％。可以应用于生物传感器，探测器和光伏器件等。
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公开(公告)号：CN102191475B
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN201110094660.7
申请日：2011-04-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种用于计算机控制镀膜装置进行镀膜的提高薄膜光谱性能的膜厚监控方法，该方法包括该方法包括：(1)镀膜前向计算机输入镀膜参数：(2)通过计算机计算选择满足限制条件的监控波长λ和监控片数目，其中λMin＜λ＜λMax，得到一个与所镀膜系的镀膜监控表，包括所镀膜系按顺序的膜层、相应的监控波长和监控片序号；(3)镀膜等步骤。本发明能够自动选择监控波长和所需的最少监控片数目，采用比例式膜厚监控方法，减少了膜厚监控误差，提高了膜厚监控精度，可对规整膜系和非规整膜系进行监控。在膜厚监控系统控制精度不变的情况下，可有效地提高了薄膜的光谱性能。
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公开(公告)号：CN100451611C
公开(公告)日：2009-01-14
申请号：CN200510031026.3
申请日：2005-10-21
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种快速测量光谱的分光光度计，包括一光源，在该光源输出的主光路上，依次是分光光度系统，色轮，第三反射镜，凹面反射镜，衍射光栅和接收器，该接收器的输出端接一数据处理及控制器，其特征在于：所述的光源由一宽光谱卤钨灯、一氘灯和在光源输出光路的切换式第一半透半反镜构成，一狭缝位于所述的光源和第二半透半反镜之间，在所述的狭缝和第二半透半反镜之间还有一准直组合透镜；所述的凹面反射镜和所述的接收系统之间还有一会聚透镜；所述的接收器是一列阵CCD。本发明快速测量光谱的分光光度计的特点是能一次测量一个波长范围的光谱，可快速，精确的给出样品的光谱曲线，可以实现样品的实时测量。
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公开(公告)号：CN100410419C
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200510026448.1
申请日：2005-06-03
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种计算机控制镀膜装置，包括由光源发射系统、监控片、信号接收系统和锁相放大器四部分组成的光学膜厚监控系统，其特征在于还有带有控制程序的计算机、晶控仪、挡板开关控制电路；所述的控制程序部分包括参数设定模块和数据处理模块。本发明消除了由于人为因素导致的稳定性、重复性问题；采用光学监控和晶振监控结合的方法，既可以镀膜规整膜系，又可以镀制非规整膜系。
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公开(公告)号：CN100365467C
公开(公告)日：2008-01-30
申请号：CN200510024987.1
申请日：2005-04-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种实时监控镀膜过程中薄膜厚度的光学膜厚监控系统，特征在于其结构包括光源发射系统、监控片、信号接收系统和锁相放大器四部分：所述的光源发射系统由带光电池的光源和沿该光源发出的光束的前进方向依次设置的聚光镜、光阑、单排孔调制盘和准直镜组成，所述的信号接收系统由依次设置的折光元件、会聚镜、单色仪和光电倍增管组成一同光轴系统。本发明既适用于垂直透射式光学膜厚监控系统，又适于作反射式光学膜厚监控系统，安装变换方便而且监控的精度高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116855913B
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202210329698.6
申请日：2022-03-28
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明涉及光学薄膜领域，主要针对降低光学薄膜损伤阈值的节瘤缺陷，具体涉及一种基于去除节瘤缺陷表面球冠状凸起提高薄膜激光损伤阈值的方法。本发明提供的方法包括：使用粗糙度小于薄膜元件的光滑表面作为抛光面；利用润湿性良好的液体在抛光面和薄膜表面间形成液膜，液膜产生的毛细力作为作用在薄膜表面的正压力；膜面的节瘤凸起在抛光面和膜面的相对滑动过程中由摩擦力去除。本发明利用光滑表面和润湿性良好的液体去除薄膜表面的节瘤凸起，降低了节瘤缺陷引起的电场增强，在不影响薄膜光谱性能的前提下提升了薄膜元件的激光损伤阈值。与现有的提高光学薄膜激光损伤阈值的方法相比，本发明具有操作简单、成本低和适用范围广等特点。
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公开(公告)号：CN119717082A
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202311278389.1
申请日：2023-09-28
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B1/115
Abstract: 一种基于纳米叠层薄膜材料的减反射薄膜及其设计方法，所述方法包含以下步骤：获得材料A和材料B的折射率与膜层厚度及波长的函数；基于纳米叠层薄膜材料中两种材料子层间的界面层模型修正减反射薄膜各层折射率和厚度；采用修正后的折射率和厚度进行薄膜的结构设计，并开展薄膜制备和测试。本发明基于纳米叠层薄膜材料中两种材料子层间的渐变折射率界面层模型进行膜系设计，有效降低实验光谱与理论光谱之间的误差，提升减反射薄膜的光谱性能；该方法适用于其它光谱性能对材料折射率和厚度敏感的薄膜的设计。
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公开(公告)号：CN117604478A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202311500829.3
申请日：2023-11-13
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: C23C14/50 , C23C16/458
Abstract: 一种大口径光学薄膜元件镀膜夹具，包括夹具基板和多个支撑固定组件，所述的夹具基板中心设有内腔，用以放置大口径光学薄膜元件，该内腔侧壁四周设有多个螺纹孔和凹槽，所述的支撑固定组件包含支撑垫片、缓冲垫片、限位块、第一螺栓和第二螺栓。所述的缓冲垫片具有梯形光栅结构，并布满缓冲垫片与大口径光学薄膜元件接触的一侧，仅其光栅脊顶部区域与光学薄膜元件接触。本发明制镀膜夹具能减少光学薄膜元件与镀膜夹具的接触面积并提升各支撑位受力均衡性，进而提升大口径光学薄膜元件的波面质量。
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公开(公告)号：CN112968341B
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202110138461.5
申请日：2021-02-01
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: H01S3/00
Abstract: 一种用于宽带超短激光及其相关应用领域的能量衰减装置，该装置由半波片、单面镀膜的第一楔板偏振片、单面镀膜的第二楔板偏振片及吸收池组成，通过所述半波片对宽带超短激光的偏振方向进行调制，通过所述第一楔板偏振片对宽带超短激光S分量反射光进行检偏，通过旋转所述半波片的角度实现对宽带超短激光脉冲能量的连续衰减调整，并利用所述第二楔板偏振片实现所述第二楔板偏振片的反射光方向与所述第一楔板偏振片入射宽带超短激光平行。上述装置可以降低宽带超短激光传输过程中的能量损耗以及激光系统中光学元件发生损伤的几率，避免宽带超短激光传输过程中产生的色散效应及脉宽展宽，便于对后续光路的准直和调节。
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公开(公告)号：CN112764149A
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN202110021643.4
申请日：2021-01-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种深紫外平板偏振分光镜及其设计方法，该偏振分光镜由基板及基板两面的偏振膜和增透膜三部分构成，其中偏振膜的膜系结构包括膜层应力调节层和偏振分光膜层；初始结构为：Air/(aHbL)nM/Sub/HL/Air。本发明在非布儒斯特角度下实现深紫外波段高透过率和高消光比的同时，解决了氟化物多层薄膜张应力大导致的膜层龟裂难题，适用于ArF 0F级熔石英或紫外CaF2基板，可实现入射角为65±1°，波长为180nm‑220nm范围内的某一波长处p光透过率大于91％，消光比大于60:1，对于深紫外光学系统中的偏振控制以及系统轻量化设计有重要的意义。
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