公开(公告)号：CN119717082A

公开(公告)日：2025-03-28

申请号：CN202311278389.1

申请日：2023-09-28

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 朱美萍 ,  曾婷婷 ,  李静平 ,  张雪晨 ,  宋晨 ,  邵建达

IPC: G02B1/115

Abstract: 一种基于纳米叠层薄膜材料的减反射薄膜及其设计方法，所述方法包含以下步骤：获得材料A和材料B的折射率与膜层厚度及波长的函数；基于纳米叠层薄膜材料中两种材料子层间的界面层模型修正减反射薄膜各层折射率和厚度；采用修正后的折射率和厚度进行薄膜的结构设计，并开展薄膜制备和测试。本发明基于纳米叠层薄膜材料中两种材料子层间的渐变折射率界面层模型进行膜系设计，有效降低实验光谱与理论光谱之间的误差，提升减反射薄膜的光谱性能；该方法适用于其它光谱性能对材料折射率和厚度敏感的薄膜的设计。

公开(公告)号：CN115683561A

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202211162719.6

申请日：2022-09-23

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 朱美萍 ,  张雪晨 ,  李静平 ,  邵建达

IPC: G01M11/02 ,  G01N21/41 ,  G01N21/59

Abstract: 一种采用分光光度计对超薄光学薄膜光学常数进行表征的方法，所述方法包含以下几个步骤：计算光学透明的玻璃基板的折射率；沉积参考薄膜并计算参考薄膜的折射率；沉积待测超薄薄膜并用参考薄膜的折射率对待测超薄薄膜的折射率进行修正；计算待测超薄薄膜的消光系数。本发明能够利用分光光度计测试的透射光谱对超薄光学薄膜的折射率和消光系数进行表征，该方法对光学透明和弱吸收薄膜均适用。