电动机械滤波器
    14.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1977454A

    公开(公告)日:2007-06-06

    申请号:CN200580021242.8

    申请日:2005-06-02

    Abstract: 本发明涉及一种电动机械滤波器,其能够指定振动模式从而振动器可以只被该振动模式所激发,即能够抑制除指定振动模式以外的振动模式。滤波器包括向其中输入信号的第一元件、与第一元件分开指定距离而设置从而围绕第一元件并被从第一元件输入的信号所引起的静电力所激发的第二元件、与第二元件分开指定距离设置从而围绕第二元件来探测第二元件的振动的第三元件。形成该滤波器使得第二元件通过从第一元件和第二元件受到吸引力而被吸引,且其振动方向是指定的。

    电动机械滤波器
    18.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1977454B

    公开(公告)日:2011-10-12

    申请号:CN200580021242.8

    申请日:2005-06-02

    Abstract: 本发明涉及一种电动机械滤波器,其能够指定振动模式从而振动器可以只被该振动模式所激发,即能够抑制除指定振动模式以外的振动模式。滤波器包括向其中输入信号的第一元件、与第一元件分开指定距离而设置从而围绕第一元件并被从第一元件输入的信号所引起的静电力所激发的第二元件、与第二元件分开指定距离设置从而围绕第二元件来探测第二元件的振动的第三元件。形成该滤波器使得第二元件通过从第一元件和第二元件受到吸引力而被吸引,且其振动方向是指定的。

    半导体器件及其制造方法
    20.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101459157A

    公开(公告)日:2009-06-17

    申请号:CN200810185754.3

    申请日:2008-12-10

    Inventor: 郑恩洙

    Abstract: 本发明实施例涉及一种半导体器件及其制造方法。根据本发明实施例,半导体器件可以包括与半导体衬底相隔预定间隔的金属膜,在该金属膜中形成有多个刻蚀孔。可以提供底部金属图样和顶部金属图样,其中底部金属图样布置在半导体衬底和金属膜之间的间隔上和/或上方,而顶部金属图样形成在底部金属图样上和/或上方。可以在半导体衬底上和/或上方形成支柱,该支柱可以支撑底部金属图样的下部表面的一侧。可以在半导体衬底上和/或上方形成衬垫,并且可以在底部金属图样和衬垫之间插入与底部金属图样相对应的空气层。根据本发明实施例,可以提供热释电开关晶体管,该热释电开关晶体管使用了具有不同热膨胀系数的双金属。

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