基板固定装置
    13.
    发明公开
    基板固定装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN116469824A

    公开(公告)日:2023-07-21

    申请号:CN202310057169.X

    申请日:2023-01-18

    Abstract: 本公开涉及一种基板固定装置,包括:底板,该底板具有在底板的厚度方向上穿透底板的第一通孔;陶瓷板,该陶瓷板粘合至底板,该陶瓷板具有埋入在陶瓷板中的电极和形成为与第一通孔连通的第二通孔,并且构造成通过当向电极施加电压时产生的静电力来吸附吸附目标对象;绝缘塞,该绝缘塞布置在第一通孔中的与第二通孔连接的连接部处;以及密封构件,该密封构件附接至绝缘塞并且构造成密封连接部的周边。

    静电吸盘和基板固定装置
    14.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115547910A

    公开(公告)日:2022-12-30

    申请号:CN202210736062.3

    申请日:2022-06-27

    Abstract: 本发明提供一种静电吸盘和基板固定装置,静电吸盘包括陶瓷板、吸附电极、接地电极和布线。吸附电极内置在陶瓷板的一个表面附近。接地电极在陶瓷板的另一表面和吸附电极之间布置在陶瓷板中,并且可以连接到接地电位。布线与陶瓷板中的接地电极连接,并延伸到陶瓷板的一个表面。

    半导体晶片、半导体元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1311523C

    公开(公告)日:2007-04-18

    申请号:CN200410008003.6

    申请日:2004-03-05

    Abstract: 本发明可以在半导体晶片与支撑板贴合前后不对运送系统进行改变而将其加以利用,同时得到能放宽对半导体晶片的加工精度以及半导体晶片与支撑板的对位精度的要求,提高半导体元件的制造效率的半导体晶片。本发明的半导体晶片在边缘部形成了通过对背面削除来进行分离的台阶部4部,该台阶部4的深度大于通过对背面进行削除加工而形成的最终加工厚度,并且它的从平坦面1a向径向外侧方向延伸的尺寸比半导体晶片1和同该半导体晶片1有大致相同直径的支撑板的直径尺寸的加工公差的最大值减最小值之差与将半导体晶片1同支撑板贴合时产生的对位误差的最大值的总和值大。

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