公开(公告)号：CN114765123A

公开(公告)日：2022-07-19

申请号：CN202210035350.6

申请日：2022-01-13

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 佐藤溪太 ,  柳泽启晴 ,  山田阳平 ,  中村祐一 ,  饭岛信行

IPC: H01L21/683

Abstract: 本发明涉及一种基板固定装置，包括：底板；静电吸附构件，其吸附并保持基板；以及第一粘合层，其将静电吸附构件粘着地结合至底板。在‑110℃至250℃的温度范围内，第一粘合层的储能模量为0.01Mpa以上且25MPa以下。

公开(公告)号：CN117525004A

公开(公告)日：2024-02-06

申请号：CN202310977797.X

申请日：2023-08-04

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 佐藤溪太 ,  高木骏

IPC: H01L23/34 ,  H01L21/48

Abstract: 本公开涉及温度调节构件和温度调节构件的制造方法。温度调节构件包括：基体；绝缘基板，其包括内置的发热元件和使发热元件的一部分露出的开口部；电线，其通过开口部连接至发热元件；以及粘合层，其将基体和绝缘基板结合。基体包括连接至开口部的通孔，电线穿过该通孔。粘合层具有位于基体和绝缘基板之间的第一部分，以及填充通孔的第二部分。

公开(公告)号：CN116469824A

公开(公告)日：2023-07-21

申请号：CN202310057169.X

申请日：2023-01-18

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 春原昌宏 ,  佐藤溪太

IPC: H01L21/683 ,  H01J37/20 ,  H01J37/32 ,  H01L21/67

Abstract: 本公开涉及一种基板固定装置，包括：底板，该底板具有在底板的厚度方向上穿透底板的第一通孔；陶瓷板，该陶瓷板粘合至底板，该陶瓷板具有埋入在陶瓷板中的电极和形成为与第一通孔连通的第二通孔，并且构造成通过当向电极施加电压时产生的静电力来吸附吸附目标对象；绝缘塞，该绝缘塞布置在第一通孔中的与第二通孔连接的连接部处；以及密封构件，该密封构件附接至绝缘塞并且构造成密封连接部的周边。

公开(公告)号：CN116110841A

公开(公告)日：2023-05-12

申请号：CN202211397163.9

申请日：2022-11-09

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 佐藤溪太 ,  山田阳平

IPC: H01L21/683

Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，包括：底板；陶瓷板，其固定到底板，并且包括埋入陶瓷板中的电极；以及树脂层，其使底板和陶瓷板结合，并且包括一种或多种粘合剂。在一种或多种粘合剂中的至少一种中，在‑150℃至250℃的温度范围内损耗角正切的极值对应的温度为‑70℃以下。