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公开(公告)号：CN113432961A
公开(公告)日：2021-09-24
申请号：CN202110647765.4
申请日：2021-06-10
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明涉及一种微纳涂层多功能力学试验机及其使用方法，其中微纳涂层多功能力学试验机包括工作台和工件固定装置，工作台上固设有支撑座和液体储存箱，支撑座上设有移动块和驱动移动块沿横向往复移动的横向驱动装置，工件固定装置上方设有摩擦组件以及给摩擦组件提供恒加载力的竖向驱动装置，竖向驱动装置与移动块相对固定设置。本发明通过加载力闭环控制，实现摩擦测试过程中的恒加载力加载实现了精确力度输出；通过摩擦组件与安装杆的插设连接，可以根据测试需求更换不同类型的摩擦组件，提高了试验机的通用性；通过加热装置对工件进行加热，满足了工件在不同温度下的摩擦测试要求；通过设置供液泵和液体储存箱，方便精确控制滴液速度。
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公开(公告)号：CN112880973A
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN202110041338.1
申请日：2021-01-13
Abstract: 本发明公开了一种提高光栅周期测量精度的装置和方法，所述装置包括：激光器、第一隔离器、第二隔离器、多个反射镜、转台和探测器，激光器用于发出预设波长的激光；第一隔离器上设置有第一通孔，激光穿射第一通孔，第一隔离器用于防止激光反射至激光器；第二隔离器上设置有第二通孔，激光经第一通孔后穿射第二通孔；多个反射镜用于反射改变激光的方向；转台上设置有光栅，激光经过反射镜反射至光栅，并经由光栅衍射后原路返回；探测器用于在第二通孔处对衍射后的光斑进行取样。根据本发明的提高光栅周期测量精度的装置，简单易实现，可以有效地降低测量不确定度，提高测量精度。
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公开(公告)号：CN111399206A
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN202010331853.9
申请日：2020-04-24
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开一种落射式紫外光学显微镜光源多维调节机构，主要包括用于转换光路的落射照明盒、支撑零部件用的笼杆、安装各种透镜的笼板、光圈可调的可变光阑以及安装并调节紫外光源用的光学调整架。通过调节安装透镜的笼板和安装紫外光源的光学调整架在笼杆上的位置，能够实现成像要求的紫外光源的消色差、扩束和准直，通过移动可变光阑上的拨杆，能够调节紫外光源入射到落射照明盒的光束范围，通过调节安装紫外光源的光学调整架上面的旋转调节螺钉，能够实现紫外光源在俯仰、偏摆方向的微调，紫外光学显微镜在三种紫外光源调节方式下，互相配合，共同作用，从而达到高分辨率成像的显微镜光源需求。
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公开(公告)号：CN105252505A
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201510851125.X
申请日：2015-11-30
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 一种精密气浮位移平台，在基座上固定有相互平行的两根纵向导轨，两根横向导轨的两端通过纵向滑块滑动连接在纵向导轨上；矩形移动框架的两端各通过一横向滑块滑动连接在横向导轨上；一侧的两个纵向滑块的外侧通过封板相互连接，在封板的外侧装有摩擦轮横向驱动装置，通过横向推杆与该矩形移动框架对应的边连接；在该基座的上面装有摩擦轮纵向驱动装置，通过纵向推杆与一根横向导轨的外侧中部连接；在横向滑块的下面与基座之间设有卸载气浮装置。本发明的优点是：运动机构采用井字形高精度气浮导轨实现XY轴精密导向，在平台负载主体与大理石之间设置卸载气浮装置，减小导轨负载，增大平台的承载能力；同时加入摩擦轮驱动机构，提高驱动平稳性。
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公开(公告)号：CN101839686B
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201010135331.8
申请日：2010-03-26
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明公开了一种单频激光干涉仪非线性误差修正方法、装置及应用其的干涉仪，本发明的方法是利用谐波分离修正法对所述干涉仪非线性误差进行修正，包括：步骤一，建立修正方程，以依据该修正方程，从干涉仪的两路干涉信号中获取干涉信号的相位角；步骤二，对干涉信号中的基波成分进行修正，获取初始相位角；步骤三，对所述干涉信号中的谐波成分进行修正，获取相位角的修正值；步骤四，依据所述初始相位角及所述相位角的修正值获取补偿修改后的精确相位角，并据此获取所述干涉仪测量镜位移以实现对干涉仪的非线性误差修正。本发明可消除干涉信号中引起非线性误差的各种谐波成分，使单频激光干涉仪的非线性误差修正达到最优化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102353816A
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：CN201110270933.9
申请日：2011-09-14
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种测头扫描式原子力显微镜，包括：位移台，在XYZ方向移动以进行扫描，固定设置有跟踪透镜以及微悬臂探针，该跟踪透镜用于对入射光进行汇聚，该微悬臂探针对该跟踪透镜的出射光进行反射，该微悬臂探针的顶端始终位于该跟踪透镜的焦点处，使得在该位移台移动时，该跟踪透镜的出射光始终汇聚在该微悬臂探针上的同一位置；测头基座，该测头基座上设置有汇聚透镜以及位置灵敏探测器，该汇聚透镜用于接收该微悬臂探针的反射光并进行汇聚，使得该汇聚透镜的出射光线形成的光斑的中心始终位于位置灵敏探测器上的同一位置。本发明的技术效果在于，实现扫描面为平面，在扫描过程中消除测头横向移动时对光斑位置产生的影响，减少测量误差。
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公开(公告)号：CN119714144B
公开(公告)日：2025-05-23
申请号：CN202510213079.4
申请日：2025-02-26
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B15/00
Abstract: 本申请公开了一种用于皮米级位移台的X射线干涉仪及位移测量方法，涉及干涉仪领域，该干涉仪中第一分光器设置在X射线源的出射光路上；第一反射器和第二分光器分别设置在第一分光器的透射光路上；分析器设置在第一反射器的反射光路和第二分光器的第一透射光路上；第三分光器设置在第二分光器的第二透射光路上；第二反射器设置在第三分光器的反射光路上；第三反射器设置在第三分光器的透射光路上；第三分光器设置在第二和第三反射器的反射光路上；探测模块设置在分析器和第三分光器的出射光路上，探测干涉条纹强度，处理器根据强度计算X、Y方向上的位移，本申请仅用一个光源即可实现同时对二维运动进行皮米级精度的测量，结构简单，辐射风险小。
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公开(公告)号：CN117629078B
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202311625089.6
申请日：2023-11-30
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开一种翼型光学结构的精密位移传感器，涉及精密位移测量领域，包括：第一折光装置和第二折光装置分别位于第一偏振分光镜的第一侧面、第二侧面、第三侧面和第四侧面；激光被第一偏振分光镜分为第一偏振光和第二偏振光；第一偏振光经过第一折光装置入射双凸透镜，经双凸透镜汇聚入射光栅，得到的+1级衍射光束经第一折光装置和第一偏振分光镜后得到第一反射光；第一反射光入射至探测器装置；第二偏振光经第二折光装置入射双凸透镜，经双凸透镜汇聚入射光栅，得到的‑1级衍射光束经第二折光装置和第一偏振分光镜后得到第二反射光；第二反射光入射至探测器装置；探测器装置实现位移测量。本发明提高了光路结构抗环境干扰的能力。
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公开(公告)号：CN118225795B
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202410649644.7
申请日：2024-05-24
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开一种用于探测亚表面深度的标定板及其制备方法，涉及光学标定领域，该标定板包括：楔形玻璃、样品颗粒和固定装置；其中，楔形玻璃包括相互平行的第一侧面和第二侧面，相互垂直的第一平面和第二平面，以及一个斜面；第一侧面和第二侧面分别与第一平面、第二平面和斜面连接；斜面分别与第一平面和第二平面连接；第二平面与固定装置固定连接；第一平面与水平面平行；样品颗粒均匀附着在斜面上；样品颗粒为微球颗粒。本发明能够提高对光学元件亚表面探测深度标定的可靠性。
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公开(公告)号：CN118329557A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410434607.4
申请日：2024-04-11
Applicant: 深圳中国计量科学研究院技术创新研究院
Abstract: 本发明公开了一种精准控制的纳米颗粒分离沉积方法，涉及颗粒分离技术领域。分离沉积方法包括以下步骤：选取已知颗粒数量浓度的纳米颗粒溶液，对纳米颗粒溶液进行预沉积，生成单分散液滴；分析多个生成的单分散液滴体积，计算体积平均值#imgabs0#计算单分散液滴内包含纳米颗粒数量的期望值；稀释纳米颗粒溶液，调整颗粒浓度直至单分散液滴内包含颗粒数量的期望值#imgabs1#为0.9‑1；将上述调整好颗粒浓度的纳米颗粒溶液生成单分散液滴分别沉积在基底的不同位置；待基底上单分散液滴中溶剂完全蒸发后，实现纳米颗粒的分离沉积。该方法可以用于对纳米颗粒材料进行显微镜观察之前的样品处理，有效避免材料团聚，确保直接观察到材料本身形貌。
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