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公开(公告)号:CN105252505A
公开(公告)日:2016-01-20
申请号:CN201510851125.X
申请日:2015-11-30
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 一种精密气浮位移平台,在基座上固定有相互平行的两根纵向导轨,两根横向导轨的两端通过纵向滑块滑动连接在纵向导轨上;矩形移动框架的两端各通过一横向滑块滑动连接在横向导轨上;一侧的两个纵向滑块的外侧通过封板相互连接,在封板的外侧装有摩擦轮横向驱动装置,通过横向推杆与该矩形移动框架对应的边连接;在该基座的上面装有摩擦轮纵向驱动装置,通过纵向推杆与一根横向导轨的外侧中部连接;在横向滑块的下面与基座之间设有卸载气浮装置。本发明的优点是:运动机构采用井字形高精度气浮导轨实现XY轴精密导向,在平台负载主体与大理石之间设置卸载气浮装置,减小导轨负载,增大平台的承载能力;同时加入摩擦轮驱动机构,提高驱动平稳性。
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公开(公告)号:CN105252505B
公开(公告)日:2017-04-26
申请号:CN201510851125.X
申请日:2015-11-30
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 一种精密气浮位移平台,在基座上固定有相互平行的两根纵向导轨,两根横向导轨的两端通过纵向滑块滑动连接在纵向导轨上;矩形移动框架的两端各通过一横向滑块滑动连接在横向导轨上;一侧的两个纵向滑块的外侧通过封板相互连接,在封板的外侧装有摩擦轮横向驱动装置,通过横向推杆与该矩形移动框架对应的边连接;在该基座的上面装有摩擦轮纵向驱动装置,通过纵向推杆与一根横向导轨的外侧中部连接;在横向滑块的下面与基座之间设有卸载气浮装置。本发明的优点是:运动机构采用井字形高精度气浮导轨实现XY轴精密导向,在平台负载主体与大理石之间设置卸载气浮装置,减小导轨负载,增大平台的承载能力;同时加入摩擦轮驱动机构,提高驱动平稳性。
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公开(公告)号:CN205438489U
公开(公告)日:2016-08-10
申请号:CN201520967923.4
申请日:2015-11-30
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 一种精密气浮位移平台,在基座上固定有相互平行的两根纵向导轨,两根横向导轨的两端通过纵向滑块滑动连接在纵向导轨上;矩形移动框架的两端各通过一横向滑块滑动连接在横向导轨上;一侧的两个纵向滑块的外侧通过封板相互连接,在封板的外侧装有摩擦轮横向驱动装置,通过横向推杆与该矩形移动框架对应的边连接;在该基座的上面装有摩擦轮纵向驱动装置,通过纵向推杆与一根横向导轨的外侧中部连接;在横向滑块的下面与基座之间设有卸载气浮装置。本平台的优点是:运动机构采用井字形高精度气浮导轨实现XY轴精密导向,在平台负载主体与大理石之间设置卸载气浮装置,减小导轨负载,增大平台的承载能力;同时加入摩擦轮驱动机构,提高驱动平稳性。
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