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公开(公告)号：CN111399206A
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN202010331853.9
申请日：2020-04-24
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开一种落射式紫外光学显微镜光源多维调节机构，主要包括用于转换光路的落射照明盒、支撑零部件用的笼杆、安装各种透镜的笼板、光圈可调的可变光阑以及安装并调节紫外光源用的光学调整架。通过调节安装透镜的笼板和安装紫外光源的光学调整架在笼杆上的位置，能够实现成像要求的紫外光源的消色差、扩束和准直，通过移动可变光阑上的拨杆，能够调节紫外光源入射到落射照明盒的光束范围，通过调节安装紫外光源的光学调整架上面的旋转调节螺钉，能够实现紫外光源在俯仰、偏摆方向的微调，紫外光学显微镜在三种紫外光源调节方式下，互相配合，共同作用，从而达到高分辨率成像的显微镜光源需求。
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公开(公告)号：CN110208936B
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN201910468723.7
申请日：2019-05-31
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开一种用于共聚焦显微镜探测针孔的纳米级微位移调节装置，由设置在下基座上的驱动器支撑上基座并对其进行快速、大行程的一级调节，由安装在上基座上的三维精密微位移平台对针孔盘进行三维方向的精密二级调节，通过上述双级调节可有效消除传统手动调节方式所带来的不确定性和不稳定性，以及现有光路调整机构可调行程小和应用范围受限的缺陷，并且上述一级大行程快速调节部分和二级精密微调部分可单独使用，以应用于相应需求场合。本发明通过控制器控制其进行纳米微位移调节，可使装置在工作过程中运行稳定、重复性好，从而使调节精度得到保障，实用性强。
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公开(公告)号：CN113375573A
公开(公告)日：2021-09-10
申请号：CN202110795986.6
申请日：2021-07-14
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种椭偏测量初始入射角校准装置及方法，其中校准装置包括平移装置、第一俯仰调节装置、第二俯仰调节装置和中间调节装置。平移装置包括平移平台、CCD相机和远心镜头，远心镜头可拆卸式安装于CCD相机上，CCD相机在平移平台上平移；第一俯仰调节装置包括第一俯仰偏摆调节平台和安装于第一俯仰偏摆调节平台上的自准直仪；第二俯仰调节装置包括第二俯仰偏摆调节平台和安装于第二俯仰偏摆调节平台上的稳频激光器；中间调节装置包括位置调节平台和安装于位置调节平台上的五棱镜。相比于现有技术，本发明能够实现自准直仪光轴与CCD相机运动轴成90°，稳频激光器光轴与CCD相机运动轴成180°，从而完成椭偏测量初始90°入射角的校准。
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公开(公告)号：CN111739830A
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN202010719317.6
申请日：2020-07-23
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明公开了一种多维纳米位移装置，包括固定框架、移动框架、移动台、第一驱动装置和第二驱动装置，移动框架套在移动台外周并与移动台形成柔性连接，且移动框架内壁与移动台外壁之间有间隙，固定框架套在移动框架外周并与移动框架形成柔性连接，固定框架内壁与移动框架外壁之间有间隙，移动台中部用于放置待测样品，固定框架的一侧框上固定设有至少两个第一驱动装置，第一驱动装置驱动移动框架和移动台往复移动，移动框架的一侧框上固定设有至少一个第二驱动装置，第二驱动装置驱动移动台往复移动，第一驱动装置的驱动方向与第二驱动装置的驱动方向垂直，该多维纳米位移装置能够提高重载大行程的纳米位移精度，以及修正运动过程中的偏摆。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110208936A
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201910468723.7
申请日：2019-05-31
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开一种用于共聚焦显微镜探测针孔的纳米级微位移调节装置，由设置在下基座上的驱动器支撑上基座并对其进行快速、大行程的一级调节，由安装在上基座上的三维精密微位移平台对针孔盘进行三维方向的精密二级调节，通过上述双级调节可有效消除传统手动调节方式所带来的不确定性和不稳定性，以及现有光路调整机构可调行程小和应用范围受限的缺陷，并且上述一级大行程快速调节部分和二级精密微调部分可单独使用，以应用于相应需求场合。本发明通过控制器控制其进行纳米微位移调节，可使装置在工作过程中运行稳定、重复性好，从而使调节精度得到保障，实用性强。
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公开(公告)号：CN212209444U
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN202021474545.3
申请日：2020-07-23
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: H01L21/677
Abstract: 本实用新型公开了一种多维纳米位移装置，包括固定框架、移动框架、移动台、第一驱动装置和第二驱动装置，移动框架套在移动台外周并与移动台形成柔性连接，且移动框架内壁与移动台外壁之间有间隙，固定框架套在移动框架外周并与移动框架形成柔性连接，固定框架内壁与移动框架外壁之间有间隙，移动台中部用于放置待测样品，固定框架的一侧框上固定设有至少两个第一驱动装置，第一驱动装置驱动移动框架和移动台往复移动，移动框架的一侧框上固定设有至少一个第二驱动装置，第二驱动装置驱动移动台往复移动，第一驱动装置的驱动方向与第二驱动装置的驱动方向垂直，该多维纳米位移装置能够提高重载大行程的纳米位移精度，以及修正运动过程中的偏摆。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN209962001U
公开(公告)日：2020-01-17
申请号：CN201920818267.X
申请日：2019-05-31
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本实用新型公开一种用于共聚焦显微镜探测针孔的纳米级微位移调节装置，由设置在下基座上的驱动器支撑上基座并对其进行快速、大行程的一级调节，由安装在上基座上的三维精密微位移平台对针孔盘进行三维方向的精密二级调节，通过上述双级调节可有效消除传统手动调节方式所带来的不确定性和不稳定性，以及现有光路调整机构可调行程小和应用范围受限的缺陷，并且上述一级大行程快速调节部分和二级精密微调部分可单独使用，以应用于相应需求场合。本实用新型通过控制器控制其进行纳米微位移调节，可使装置在工作过程中运行稳定、重复性好，从而使调节精度得到保障，实用性强。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN215177566U
公开(公告)日：2021-12-14
申请号：CN202121597359.3
申请日：2021-07-14
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本实用新型公开了一种椭偏测量初始入射角校准装置，包括平移装置、第一俯仰调节装置、第二俯仰调节装置和中间调节装置。平移装置包括平移平台、CCD相机和远心镜头，远心镜头可拆卸式安装于CCD相机上，CCD相机在平移平台上平移；第一俯仰调节装置包括第一俯仰偏摆调节平台和安装于第一俯仰偏摆调节平台上的自准直仪；第二俯仰调节装置包括第二俯仰偏摆调节平台和安装于第二俯仰偏摆调节平台上的稳频激光器；中间调节装置包括位置调节平台和安装于位置调节平台上的五棱镜。相比于现有技术，本实用新型能够实现自准直仪光轴与CCD相机运动轴成90°，稳频激光器光轴与CCD相机运动轴成180°，从而完成椭偏测量初始90°入射角的校准。
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公开(公告)号：CN212207832U
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN202020635834.0
申请日：2020-04-24
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本实用新型公开一种落射式紫外光学显微镜光源多维调节机构，主要包括用于转换光路的落射照明盒、支撑零部件用的笼杆、安装各种透镜的笼板、光圈可调的可变光阑以及安装并调节紫外光源用的光学调整架。通过调节安装透镜的笼板和安装紫外光源的光学调整架在笼杆上的位置，能够实现成像要求的紫外光源的消色差、扩束和准直，通过移动可变光阑上的拨杆，能够调节紫外光源入射到落射照明盒的光束范围，通过调节安装紫外光源的光学调整架上面的旋转调节螺钉，能够实现紫外光源在俯仰、偏摆方向的微调，紫外光学显微镜在三种紫外光源调节方式下，互相配合，共同作用，从而达到高分辨率成像的显微镜光源需求。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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