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公开(公告)号：CN118299297A
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202410434611.0
申请日：2024-04-11
Applicant: 深圳中国计量科学研究院技术创新研究院
Abstract: 本发明公开了一种晶圆污染物标准片的制备装置及制备方法，涉及标准物质制备技术领域。该制备装置包括液滴沉积系统、液滴观测系统和晶圆位移控制系统；所述的液滴沉积系统包括液滴喷墨头、供液部、喷头控制器；所述的液滴观测系统包括显微镜、LED频闪灯、CCD相机、图像分析装置；所述的晶圆位移控制系统包括位移台、载物台和位移控制器。该制备装置通过液滴喷墨头发生一系列包含单个粒子的单分散液滴，并对其进行分离定位，从而有效避免同一位置沉积复数颗粒，进而有效避免颗粒团聚导致的粒径变化，确保晶圆表面附着颗粒粒径的一致性；通过控制沉积液滴的数量能精准地控制晶圆表面沉积的颗粒数量，还能有效控制颗粒在晶圆表面的沉积位置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118329557A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410434607.4
申请日：2024-04-11
Applicant: 深圳中国计量科学研究院技术创新研究院
Abstract: 本发明公开了一种精准控制的纳米颗粒分离沉积方法，涉及颗粒分离技术领域。分离沉积方法包括以下步骤：选取已知颗粒数量浓度的纳米颗粒溶液，对纳米颗粒溶液进行预沉积，生成单分散液滴；分析多个生成的单分散液滴体积，计算体积平均值#imgabs0#计算单分散液滴内包含纳米颗粒数量的期望值；稀释纳米颗粒溶液，调整颗粒浓度直至单分散液滴内包含颗粒数量的期望值#imgabs1#为0.9‑1；将上述调整好颗粒浓度的纳米颗粒溶液生成单分散液滴分别沉积在基底的不同位置；待基底上单分散液滴中溶剂完全蒸发后，实现纳米颗粒的分离沉积。该方法可以用于对纳米颗粒材料进行显微镜观察之前的样品处理，有效避免材料团聚，确保直接观察到材料本身形貌。
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公开(公告)号：CN114088188A
公开(公告)日：2022-02-25
申请号：CN202111401909.4
申请日：2021-11-19
Applicant: 中国计量科学研究院 , 深圳中国计量科学研究院技术创新研究院
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明公开了一种振动测量系统，包括：激光器、准直透镜、多象限光电探测器及信号调理电路。其中，激光器用于发射激光光束；准直透镜设置在激光器的输出光路上，用于将激光光束转换成准直光束；多象限光电探测器设置在激光器的输出光路上，且固定在被测物上，用于根据接收的准直光束产生各象限对应的光电流信号；信号调理电路与多象限光电探测器连接，用于根据各象限对应的光电流信号确定被测物的振动信号。本发明结合电测法和光测法的优势，采用多象限光电探测器探测各象限对应的光电流信号，利用信号调理电路对光电流信号进行处理，从而确定被测物的振动信号，测量准确度高、灵敏度高，频率响应范围大。
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公开(公告)号：CN118937357A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202411095282.8
申请日：2024-08-09
Applicant: 中国计量科学研究院 , 深圳中国计量科学研究院技术创新研究院
Abstract: 本发明公开一种光栅表面缺陷定性和定量检测装置及方法，涉及精密仪器检测领域。所述检测装置包括：激光器、传输分光组件、第一光接收器、第二光接收器和分析仪；所述第一光接收器和所述第二光接收器均与所述分析仪连接。本发明实施例利用对光栅反射的相互干涉的衍射光进行合束，得到干涉光，然后对干涉光进行分束，得到偏振方向相同且相位不同的分束光，通过对偏振方向相同且相位不同的分束光进行相位解算的方式实现光栅表面缺陷的定性和定量的检测，并且本发明实施例对干涉光进行测量，克服了由于光栅表面对环境光反射造成的图像检测精度低的缺陷，提高了检测精度。
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公开(公告)号：CN119419156A
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202411367913.7
申请日：2024-09-29
Applicant: 中国计量科学研究院 , 深圳中国计量科学研究院技术创新研究院
IPC: H01L21/68 , H01L21/683 , H01L21/66
Abstract: 本发明公开了一种晶圆无损姿态调节装置，涉及晶圆姿态调整技术领域，包括真空吸盘、限位上裙摆、限位下裙摆、二维移动平台和控制器，所述真空吸盘安装于所述限位上裙摆的上端，所述真空吸盘的上表面设有多个吸附孔，所述真空吸盘用于吸附晶圆，所述限位上裙摆设置于所述限位下裙摆的上方，所述限位上裙摆的下表面和所述限位上裙摆的上表面之间设有若干个调节伸缩杆，所述调节伸缩杆用于调节所述限位上裙摆的位置，所述限位下裙摆安装于所述二维移动平台上，所述二维移动平台能够带动所述限位下裙摆沿水平方向上移动，所述调节伸缩杆和所述二维移动平台均与所述控制器电连接。本发明能够实现机械调整晶圆位置，无需人工参与，晶体位置调整精确。
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公开(公告)号：CN114088188B
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN202111401909.4
申请日：2021-11-19
Applicant: 中国计量科学研究院 , 深圳中国计量科学研究院技术创新研究院
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明公开了一种振动测量系统，包括：激光器、准直透镜、多象限光电探测器及信号调理电路。其中，激光器用于发射激光光束；准直透镜设置在激光器的输出光路上，用于将激光光束转换成准直光束；多象限光电探测器设置在激光器的输出光路上，且固定在被测物上，用于根据接收的准直光束产生各象限对应的光电流信号；信号调理电路与多象限光电探测器连接，用于根据各象限对应的光电流信号确定被测物的振动信号。本发明结合电测法和光测法的优势，采用多象限光电探测器探测各象限对应的光电流信号，利用信号调理电路对光电流信号进行处理，从而确定被测物的振动信号，测量准确度高、灵敏度高，频率响应范围大。
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