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公开(公告)号：CN118299297A
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202410434611.0
申请日：2024-04-11
Applicant: 深圳中国计量科学研究院技术创新研究院
Abstract: 本发明公开了一种晶圆污染物标准片的制备装置及制备方法，涉及标准物质制备技术领域。该制备装置包括液滴沉积系统、液滴观测系统和晶圆位移控制系统；所述的液滴沉积系统包括液滴喷墨头、供液部、喷头控制器；所述的液滴观测系统包括显微镜、LED频闪灯、CCD相机、图像分析装置；所述的晶圆位移控制系统包括位移台、载物台和位移控制器。该制备装置通过液滴喷墨头发生一系列包含单个粒子的单分散液滴，并对其进行分离定位，从而有效避免同一位置沉积复数颗粒，进而有效避免颗粒团聚导致的粒径变化，确保晶圆表面附着颗粒粒径的一致性；通过控制沉积液滴的数量能精准地控制晶圆表面沉积的颗粒数量，还能有效控制颗粒在晶圆表面的沉积位置。
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公开(公告)号：CN118329557A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410434607.4
申请日：2024-04-11
Applicant: 深圳中国计量科学研究院技术创新研究院
Abstract: 本发明公开了一种精准控制的纳米颗粒分离沉积方法，涉及颗粒分离技术领域。分离沉积方法包括以下步骤：选取已知颗粒数量浓度的纳米颗粒溶液，对纳米颗粒溶液进行预沉积，生成单分散液滴；分析多个生成的单分散液滴体积，计算体积平均值#imgabs0#计算单分散液滴内包含纳米颗粒数量的期望值；稀释纳米颗粒溶液，调整颗粒浓度直至单分散液滴内包含颗粒数量的期望值#imgabs1#为0.9‑1；将上述调整好颗粒浓度的纳米颗粒溶液生成单分散液滴分别沉积在基底的不同位置；待基底上单分散液滴中溶剂完全蒸发后，实现纳米颗粒的分离沉积。该方法可以用于对纳米颗粒材料进行显微镜观察之前的样品处理，有效避免材料团聚，确保直接观察到材料本身形貌。
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