公开(公告)号：CN118225795B

公开(公告)日：2024-07-23

申请号：CN202410649644.7

申请日：2024-05-24

Applicant: 中国计量科学研究院

Inventor： 张树 ,  施玉书 ,  王康 ,  皮磊

IPC: G01N21/93 ,  G01B11/22

Abstract: 本发明公开一种用于探测亚表面深度的标定板及其制备方法，涉及光学标定领域，该标定板包括：楔形玻璃、样品颗粒和固定装置；其中，楔形玻璃包括相互平行的第一侧面和第二侧面，相互垂直的第一平面和第二平面，以及一个斜面；第一侧面和第二侧面分别与第一平面、第二平面和斜面连接；斜面分别与第一平面和第二平面连接；第二平面与固定装置固定连接；第一平面与水平面平行；样品颗粒均匀附着在斜面上；样品颗粒为微球颗粒。本发明能够提高对光学元件亚表面探测深度标定的可靠性。

公开(公告)号：CN118225795A

公开(公告)日：2024-06-21

申请号：CN202410649644.7

申请日：2024-05-24

Applicant: 中国计量科学研究院

Inventor： 张树 ,  施玉书 ,  王康 ,  皮磊

IPC: G01N21/93 ,  G01B11/22

Abstract: 本发明公开一种用于探测亚表面深度的标定板及其制备方法，涉及光学标定领域，该标定板包括：楔形玻璃、样品颗粒和固定装置；其中，楔形玻璃包括相互平行的第一侧面和第二侧面，相互垂直的第一平面和第二平面，以及一个斜面；第一侧面和第二侧面分别与第一平面、第二平面和斜面连接；斜面分别与第一平面和第二平面连接；第二平面与固定装置固定连接；第一平面与水平面平行；样品颗粒均匀附着在斜面上；样品颗粒为微球颗粒。本发明能够提高对光学元件亚表面探测深度标定的可靠性。