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公开(公告)号：CN112764149A
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN202110021643.4
申请日：2021-01-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种深紫外平板偏振分光镜及其设计方法，该偏振分光镜由基板及基板两面的偏振膜和增透膜三部分构成，其中偏振膜的膜系结构包括膜层应力调节层和偏振分光膜层；初始结构为：Air/(aHbL)nM/Sub/HL/Air。本发明在非布儒斯特角度下实现深紫外波段高透过率和高消光比的同时，解决了氟化物多层薄膜张应力大导致的膜层龟裂难题，适用于ArF 0F级熔石英或紫外CaF2基板，可实现入射角为65±1°，波长为180nm‑220nm范围内的某一波长处p光透过率大于91％，消光比大于60:1，对于深紫外光学系统中的偏振控制以及系统轻量化设计有重要的意义。
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公开(公告)号：CN112697400A
公开(公告)日：2021-04-23
申请号：CN202011457387.5
申请日：2020-12-10
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种元件激光损伤阈值的测试方法，旨在提高元件的激光损伤测试效率；本发明以微透镜阵列取代传统透镜进行激光损伤测试，可运用于传统1‑on‑1激光损伤测试也可用于S‑on‑1激光损伤测试。本发明可大幅度缩短元件激光损伤测试时间，可快速获得元件的抗激光损伤阈值，本发明适用于激光元器件抗激光损伤性能测试。
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公开(公告)号：CN111575657A
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN202010327812.2
申请日：2020-04-23
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种基于离子束辅助纳米叠层解决电子束沉积薄膜龟裂的方法，首先通过计算获得纳米叠层周期数，利用离子束辅助沉积技术在基底表面沉积高、低折射率交替的纳米叠层，该离子束辅助纳米叠层薄膜呈现压应力，且其中每层膜的厚度仅为几个纳米；然后利用电子束沉积技术沉积功能膜层，以满足薄膜特定的功能要求。本发明能够解决电子束沉积薄膜在特定使用环境发生薄膜龟裂的问题，适用于任意折射率的光学玻璃基底，提升了应力调控的范围、膜系设计和制备的灵活度、镀膜设备的适用性，并降低了对薄膜激光损伤阈值的影响。
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公开(公告)号：CN111251217A
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN202010170308.6
申请日：2020-03-12
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: B25B11/00
Abstract: 一种大尺寸光学元件的镀膜夹具及装夹方法，所述的镀膜夹具包括框架结构和方形支撑结构，方形支撑结构四边各由支撑板、缓冲条、加强筋、定位块和螺栓组成，加强筋、缓冲条、支撑板和定位块设有多个螺栓通孔，框架结构内侧面具有多个螺栓通孔和多个凹槽，多个凹槽分别位于方形支撑结构其中一组对边的外侧，将螺栓旋入四边的加强筋、缓冲条、支撑板和框架结构的螺栓通孔，用于支撑待镀膜的大尺寸光学元件，将螺栓旋入定位块、缓冲条、支撑板和框架结构，对待镀膜的大尺寸光学元件夹持定位，形成一个整体，框架结构外框尺寸与镀膜夹具盘内框一致，正好放置于镀膜夹具盘中。本发明可以与机械手配合使用进行装夹，可以提升大尺寸光学元件的波面质量。
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公开(公告)号：CN108265269B
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201810140020.7
申请日：2018-02-11
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种提升多层激光薄膜元件环境稳定性的镀膜方法，该方法的实质是在电子束蒸镀技术的基础上结合离子束辅助沉积技术。根据所设计的膜系，利用电子束蒸镀技术沉积除最外层以外的多层膜，以获取高的抗激光损伤阈值；利用离子束辅助沉积技术沉积最外层，以获取致密的水汽阻隔层，阻止水分子迅速进出多层激光薄膜元件表面。本发明能在保持电子束蒸镀技术制备的多层激光薄膜元件较高的抗激光损伤阈值的同时，提升其环境稳定性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108342699A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201810140027.9
申请日：2018-02-11
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种电子束蒸发、离子束辅助与离子束溅射综合沉积镀膜设备及综合镀膜方法，设备包括由左电子枪坩埚、右电子枪坩埚、离子源辅源、离子源主源、溅射靶材和夹具盘组成的综合沉积系统。本发明结合了电子束蒸发沉积技术、离子束辅助沉积技术及离子束溅射沉积技术的优点，不但能够提高膜层质量，而且能够提高镀膜效率、降低镀膜成本。
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公开(公告)号：CN108265269A
公开(公告)日：2018-07-10
申请号：CN201810140020.7
申请日：2018-02-11
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种提升多层激光薄膜元件环境稳定性的镀膜方法，该方法的实质是在电子束蒸镀技术的基础上结合离子束辅助沉积技术。根据所设计的膜系，利用电子束蒸镀技术沉积除最外层以外的多层膜，以获取高的抗激光损伤阈值；利用离子束辅助沉积技术沉积最外层，以获取致密的水汽阻隔层，阻止水分子迅速进出多层激光薄膜元件表面。本发明能在保持电子束蒸镀技术制备的多层激光薄膜元件较高的抗激光损伤阈值的同时，提升其环境稳定性。
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公开(公告)号：CN114163145B
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202111283496.4
申请日：2021-11-01
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明公开了一种带金属电极的石英基底的封接方法，利用蒸镀法将玻璃焊料均匀镀在带金属电极的石英基底的电极层，并形成玻璃焊料层；将待封接的两块石英基底的玻璃焊料层接触，施加压力，使所述的玻璃焊料层紧密接触；保持压力，并置于高温焊接炉中进行高温焊接，直至焊接完成。以及实施该方法的专用夹具。本发明封接温度低，不仅避免了高温对金属电极的影响，而且玻璃焊料还对金属电极具有保护效果，同时保证了金属电极之间的相互绝缘。
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公开(公告)号：CN116990890A
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN202310829091.9
申请日：2023-07-07
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B3/00 , B29D11/00 , G02B3/10 , G02B5/18 , G02B5/30 , G02B27/00 , G02B27/42 , G02B6/42 , G02F1/1333 , G02F1/29 , G02F1/1335 , G02F1/13363
Abstract: 本发明公开了一种实现焦点强度可调和消色差功能的级联液晶几何相位透镜及其制备方法。衍射平面透镜相较于传统折射式光学透镜更能为轻量化、小型化光学系统带来便利。但是其固有特性导致其色差现象较为严重。对于双层级联液晶几何相位透镜结构实现三波长的消色差聚焦，在这一结构中，两层液晶透镜的几何相位分布可分别对两种波长进行聚焦，同时，它们的几何相位的耦合也可对另一特定波长进行聚焦。基于该原理，在三层级联液晶几何相位透镜中，由于层与层之间依据排列组合进行耦合，可对7种不同波长实现消色差。此外，由于振幅系数与液晶的相位延迟量有关，因此可以利用电压调节焦点强度。该方法为多功能多场景的平面透镜应用提供一种解决方案。
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公开(公告)号：CN115841834A
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202211598282.0
申请日：2022-12-12
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G11C13/04
Abstract: 一种基于像素取向的多层液晶光存储堆叠结构、及其信息写入与读取方法，可根据读取光、信息图案设计并制备像素化的液晶取向区域，并根据逆向设计的原理，将多层取向层堆叠形成透明的液晶光存储器，通过偏振片和显微镜配合读取信息图案。本发明利用光的偏振信息进行信息存储，对可见光、红外等波段的读取光在传输阶段光能损失小；堆叠层数远大于传统的光存储技术，在空间利用率上有数量级的提升；且便于封装，材料的耐高温、耐酸碱等性能高于普通光存储使用的光盘，利于长久使用。
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