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公开(公告)号：CN103047356A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210575220.8
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16F15/03 , F16C32/06
Abstract: 柔性膜角度解耦的电磁阻尼零刚度隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板之间通过气浮面进行润滑与支撑，通过电磁阻尼器衰减振动能量、提高定位稳定性，上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过柔性膜进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度与角度解耦特性，可获得极低的固有频率和突出的超低频隔振性能，从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103047348A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210574732.2
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16C32/04 , F16C32/06
Abstract: 共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的磁浮隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板之间通过磁浮推力轴承进行承载，活塞筒与套筒之间通过气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的水平直线运动自由度通过共面正交气浮导轨进行解耦，二者之间的角运动自由度通过滑动关节轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维近似零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103047347A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210574720.X
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16F15/03
Abstract: 双层气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的磁浮隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与气浮板之间通过磁浮推力轴承进行承载，气浮板与下安装板、活塞筒与套筒之间通过气浮面进行润滑与支撑，上、下安装板之间的水平直线运动自由度通过双层正交气浮导轨进行解耦，二者之间的角运动自由度通过滑动关节轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN102878938A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201210385258.9
申请日：2012-09-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于衍射光栅的光学读数头属于微纳米测量技术，包括激光器、隔离器、偏振分光棱镜、反射镜、1/4波片、衍射光栅、光阑、四象限光电二极管传感器，其激光器发出线偏振激光光束经隔离器由偏振分光棱镜分为P偏振光和S偏振光，由反射镜分别将两路光反射到光栅表面进行两次衍射后，按原路返回至分光棱镜出射，经1/4波片被四象限光电二极管传感器接收，经放大转化电路处理后得到四路相差90°的正弦信号用于后续处理，得到被测物的位移信息；本读数头结构简单，调整方便，光路系统易于复现，利于系统的集成化和小型化，提高了系统的分辨力和稳定性。
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公开(公告)号：CN102508414A
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：CN201110377700.9
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20 , H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 一种基于转台齿轮同步调向的双工件台回转交换方法与装置属于半导体制造装备；该装置包含一个由旋转电机定子、旋转电机动子、嵌入基台内的旋转平台以及回转换台齿轮构成的回转换台装置，在旋转平台上设置有可升降的第一轴接装置和第二轴接装置，第一工件台底部设置第一工件台旋转轴，侧面设置第一工件台转接装置，腰部设置第一工件台齿轮，第二工件台底部设置第二工件台旋转轴，侧面设置第二工件台转接装置，腰部设置第二工件台齿轮；本发明在双台切换过程中，工件台朝向始终不变，解决了现有回转换台方案的线缆不便安装和干涉仪丢失目标的问题，同时本发明具体实施过程中具有转动惯量小，相同换台时间下所需转矩小等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100494874C
公开(公告)日：2009-06-03
申请号：CN200610056957.3
申请日：2006-03-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明属于精密仪器测量技术领域。特别是一种具有自身参照和自校准特征的圆柱度测量仪组合式基准间误差分离方法。本发明的方法采用单传感器测量，通过对被测工件进行正向放置与倒向放置两个测回，经过简单的数据处理，便可分离出被测工件自身的形状误差与导轨相对主轴回转轴线的倾斜量，可完全去除倾斜量对圆柱形状超精密测量的影响，使圆柱形状测量用空间运动基准精度水平较一般精密空间运动基准提高一个数量级以上。
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公开(公告)号：CN118625223A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202410671690.7
申请日：2024-05-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01R33/00 , G01R33/032 , G05D23/20
Abstract: 本发明公开了一种基于光纤传感的原子磁力仪零磁温度补偿装置，利用光纤温度传感器作为温度探头，主机接收光纤调制解调仪发回的干涉光谱信息，并分析得到原子磁力仪工作环境的实时温度。基于主机分析得到的实时温度，温控电路系统控制恒温水循环机内电机工作，带动恒温水流入无磁控温壁实现零磁温控，本发明所公开的方法可以实现原子磁力仪工作环境的实时温控，并在不引入额外磁信号的情况下，实现原子磁力仪工作时温度环境的实时控制。
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公开(公告)号：CN118462720A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410688008.5
申请日：2024-05-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种适用于弱磁环境的新型多自由度气浮精密运动平台，由2个气浮直线导轨和3个气浮轴系结构组成，可实现5个自由度运动。本发明可提供单轴或多轴的角度和直线位置基准，通常与磁场发生装置联合工作，用于磁测量设备、磁导航设备及其他姿态测量产品的标定及测试。此外，为减小使用过程中的磁性干扰，本发明选择气动喷嘴驱动平台进行各自由度运动。为了减小新型多自由度气浮精密运动平台对磁场发生装置内部磁场均匀性的影响，本发明将偏航Rz轴与俯仰Rx轴、翻滚Ry轴、内框架三者共同组成的U‑O‑O型回转结构分离、并内嵌于底部水平直线运动平台。这样的设计使得新型多自由度气浮精密运动平台重心更低稳、进而产生更大范围的可控均匀磁场。
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公开(公告)号：CN114660511B
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202111445230.5
申请日：2021-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种磁传感器阵列的标定方法，属于磁目标定位技术领域。磁传感器阵列的标定方法包括以下步骤：S100、同轴上的线圈同向通电使均匀场‑梯度场复合式线圈处于均匀场模式，利用线圈磁场的均匀性标定磁传感器阵列的自身误差参数和输出不对准误差参数；S200、同轴上的线圈反向通电使均匀场‑梯度场复合式线圈处于梯度场模式，利用两种模式间的坐标同位性以及梯度磁场的空间分辨率标定磁传感器阵列的测试点位置偏差。本发明消除了背景磁干扰，进一步提升了标定精度并大幅度提高了标定效率。同时，解决了测试点位置偏差和输出不对准两类误差参数无法标定的问题，进一步完善了磁传感器阵列标定体系。
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公开(公告)号：CN115533952B
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN202211314222.1
申请日：2022-10-25
Applicant: 哈尔滨工业大学(威海)
Abstract: 一种SMA驱动的静电吸附式软体抓手及带有抓手的夹持装置，属于软体抓手技术领域，本发明为解决现有柔性机器人存在无法调整指距而对抓取物体的形状及尺寸大小适应性较差，与物体之间的夹持摩擦力较小以及工作灵活度较低的问题。本申请所述软体抓手包括横向丝杠固定架、连接块、横向丝杠组件、纵向丝杠组件、两个纵向丝杠固定块和四个SMA软体夹爪，所述SMA软体夹爪包括导向块、连接硅胶片、过渡硅胶片、工作硅胶片、SMA弹簧和静电电极片，本申请是主要用于对物体进行夹持运输的夹取部件。
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