一种机器人化触控笔测试装置及方法

    公开(公告)号:CN109459627A

    公开(公告)日:2019-03-12

    申请号:CN201811084840.5

    申请日:2018-09-18

    Abstract: 本发明属于触控笔测试领域,并具体公开了一种机器人化触控笔测试装置及方法,包括工作台单元、设置在工作台单元上的操作臂及与操作臂相连的夹持测试单元,夹持测试单元包括压力测试机构及连接于压力测试机构的功能键按压机构,压力测试机构包括安装法兰、外套筒、内套筒、弹簧、压力传感器和三爪卡盘组件,外套筒套装在安装法兰和内套筒外部,弹簧和压力传感器设于外套筒内部,并位于安装法兰和内套筒之间,弹簧设于安装法兰底部,并与压力传感器的上端相连,压力传感器下端与内套筒相连,三爪卡盘组件安装在内套筒下端。所述方法采用上述装置进行触控笔的测试。本发明可实现触控笔的多姿态触控测试,具有自动化程度高、测试效率高等优点。

    一种主动隔振控制器及其设计方法

    公开(公告)号:CN108762331A

    公开(公告)日:2018-11-06

    申请号:CN201810552828.6

    申请日:2018-05-31

    Abstract: 本发明属于超精密主动隔振相关技术领域,其公开了主动隔振控制器及其设计方法,所述设计方法包括以下步骤:(1)基于地音传感器扩展后的等效模型对反馈控制器进行设计以确定反馈控制误差传感器带宽扩展频率点;(2)对前馈控制器进行设计,并依据噪声约束条件来确定前馈参考传感器带宽扩展频率点;所述噪声性能约束条件为:反馈策略中由噪声引起负载的rVPSD小于等于无反馈策略时负载的rVPSD的0.707倍;所述噪声约束条件为:前馈参考传感器噪声的噪声等价速度小于等于地基振动的rVPSD的0.707倍。本发明感器低频扩展与主动隔振控制器相统一,提高了稳定性,避免了由于传感器带宽扩展不足或者过度造成的控制性损失。

    一种主动式气浮支承装置

    公开(公告)号:CN103836070B

    公开(公告)日:2016-07-13

    申请号:CN201410100961.X

    申请日:2014-03-18

    Abstract: 本发明公开了一种主动式气浮支承装置,包括气浮支承本体、气膜主动调节单元、支承本体检测单元和驱动控制单元,其中支承本体检测装置测量气浮支承的状态,驱动控制系统根据检测信号生成控制信号,驱动控制气膜主动调节装置产生主动作用,动态调节气浮支承表面的气膜形态,由此动态调整气浮支承装置的气膜间隙压强分布,从而提高气浮支承的动刚度特性。通过本发明,能够显著提高气浮支承的动刚度特性,并达到稳定气浮支承的目的;此外,按照本发明的主动式气浮支承装置还具备结构紧凑、便于操控和高精度的特点,因而尤其适用于对支承动刚度要求高的超精密加工或高速主轴等场合。

    一种行星轮式越障机器人

    公开(公告)号:CN104890752A

    公开(公告)日:2015-09-09

    申请号:CN201510326330.4

    申请日:2015-06-15

    Abstract: 本发明提供了一种行星轮式越障机器人,包括车体及三个驱动组,车体包括前车体和后车体,前车体第一铰轴铰接在后车体上,每个驱动组均包括一支撑梁、一距离传感器、两个支撑架、两个动力驱动装置和两个行星轮组;每个支撑架上均安装所述距离传感器,所述距离传感器用于测量该距离传感器所在侧的行星轮组与前方障碍物的距离;所述的三个驱动组按从前至后的顺序依次设置,在前的驱动组的支撑梁、在中间的驱动组的支撑梁和在后的驱动组的支撑梁分别通过前铰轴、中铰轴和后铰轴铰接在车体上,所述前铰轴、中铰轴和后铰轴均竖直设置。本发明具有体积小,质量轻,负载能力强,越障能力强尤其是能翻越转弯台阶障碍的显著优点。

    一种光学元件支撑参数的蒙特卡洛分析方法及系统

    公开(公告)号:CN102902857A

    公开(公告)日:2013-01-30

    申请号:CN201210378060.8

    申请日:2012-10-08

    Abstract: 本发明公开了一种光学元件支撑参数的确定方法,该方法具体为:确定保证面形精度的最少支撑点数为最优支撑点数,并计算支撑点的理想支撑力;依据理想支撑力定义多个不同支撑力波动水平,计算不同支撑力水平下随机支撑力引起的镜片面形变化;统计并检验镜片面形畸变的随机分布规律,建立不同支撑力水平与光学元件成像质量的映射关系;根据质量控制标准,确定支撑力的波动范围。本发明基于蒙特卡洛方法,解析不均匀支撑力作用下镜片面形畸变的随机分布规律,分析不同随机支撑力水平对光学元件成像质量的影响,从而确定合理的支撑力波动范围,为光学元件支撑系统的设计和装调提供了有效的参考数据。

    一种非接触式主动阻尼装置

    公开(公告)号:CN102230509B

    公开(公告)日:2013-01-23

    申请号:CN201110083202.3

    申请日:2011-04-02

    Abstract: 本发明公开了一种非接触式主动阻尼装置,包括阻尼器和驱动器两部分,阻尼器和驱动器电气连接,阻尼器包括固定不动的定子和与定子相分离的阻尼发生器,阻尼发生器相对于定子能够在一个方向上运动。阻尼装置由分离式动子和定子组成,通过主动控制方式调节驱动电路的驱动电流,从而实现阻尼力的主动控制。该阻尼装置能够实现对超精密减振器提供自适应变阻尼控制,有效地衰减减振台的高频振动。本发明可以为光刻机及其他的精密设备提供超静的环境。本发明提供的阻尼装置可用作小型超精密设备、精密仪器的基础支撑。将本发明提供的阻尼装置与空气弹簧、液压隔振器等被动阻尼装置串联使用,亦可对大型设备、大型仪器实现精密减振。

    一种超精密工作台
    117.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102189413B

    公开(公告)日:2013-01-02

    申请号:CN201110090892.5

    申请日:2011-04-12

    Abstract: 本发明公开了一种超精密工作台,它包括宏运动平台与微位移工作台,其中宏运动平台的导轨形式采用气浮导轨,微位移工作台与宏运动平台连接,并随宏运动平台一起沿X向、Y向移动。微位移工作台中包含压电智能结构,其中该压电智能结构既能感知外界对其施加的力、位移等信号,又能主动地对外界施加力、位移等。此外,压电智能结构不仅可以用于超精密工作台的微位移工作台中,而且也可以制成类似弹簧-阻尼系统的俘能机构,应用在超精密工作台中。本发明可以广泛应用于超精密机床、超精密测量、微电子制造等领域。

    一种具有环境适应性的足式机器人稳定性控制方法及系统

    公开(公告)号:CN102736628A

    公开(公告)日:2012-10-17

    申请号:CN201210192833.3

    申请日:2012-06-12

    Abstract: 一种具有环境适应性的足式机器人稳定性控制方法及系统,该控制方法通过利用上一触地过程相关参数信息与期望达到的控制目标进行比较,对飞行相水平运动速度和系统总能量实行反馈控制,预测控制触地角度并进行系统能量补偿控制,最终实现足式机器人SLIP等效模型在不同地面环境下的期望稳定周期运动。系统包括系统状态检测模块和稳定控制模块。本发明不需要建立具体的机器人动力学模型,不需要计算精确的不动点触地角度,通过反馈控制实现控制收敛,控制方法简单,计算迅速,很好的解决了现有方法控制实时性不足、适应性不够等问题。且具有较好的未知环境适应性,为足式机器人稳定性控制提供了一种较好的解决方案。

    一种用于真空环境的减振器

    公开(公告)号:CN101725662B

    公开(公告)日:2012-02-29

    申请号:CN200910273182.9

    申请日:2009-12-10

    Abstract: 本发明提供了一种用于真空环境的减振器,包括一腔体,腔体内设有由气缸和活塞构成的空气弹簧,气缸的侧臂连接高压气源,气缸底部与腔体底部之间、气缸内侧壁分别设有一气浮,腔体的两侧壁中间部分分别嵌入了一密封柔性连接件,其中一侧臂还设有用以连接抽气机的排气孔。本发明在具有优良减振性能的同时,消除了减振器对周围环境的气体排放,维持设备较低的重心提高设备的稳定性,可广泛应用在EUV光刻机、电子束光刻机等对真空要求严格的精密设备及测试平台。

    非正弦反电动势表面式交流永磁电机矢量控制方法

    公开(公告)号:CN101557193B

    公开(公告)日:2011-01-19

    申请号:CN200910061767.4

    申请日:2009-04-22

    Abstract: 一种非正弦反电动势表面式交流永磁电机矢量控制方法,属于交流永磁电机调速方法。该调速方法根据数值计算、实验或辨识得到的永磁磁链导数与电机动子电气角度的关系曲线,计算得出永磁磁链导数矢量幅值及相位与动子电气角度的关系曲线,以永磁磁链导数矢量方向为q′轴建立d′q′轴坐标系,控制d′轴电流为0,使电流矢量定向于永磁磁链导数矢量方向,结合数值计算、辨识或实验得到的齿槽力(或转矩)与电机动子电气角度的关系曲线,进行齿槽力(或转矩)补偿可以获得最大效率无纹波的推力(或转矩)控制。本发明解决了传统矢量控制方法由于永磁磁链谐波、齿槽效应等影响而存在的推力(或转矩)脉动现象,提供了一种非正弦波反电动势表面式交流永磁电机高性能调速方法,尤其适用于表面式交流永磁直线电机。

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