公开(公告)号：CN101725662B

公开(公告)日：2012-02-29

申请号：CN200910273182.9

申请日：2009-12-10

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 李小平 ,  廖飞红 ,  陈学东 ,  李巍 ,  刘雷钧 ,  严天宏 ,  王新杰 ,  罗欣 ,  徐振高 ,  曾理湛

IPC: F16F15/023

Abstract: 本发明提供了一种用于真空环境的减振器，包括一腔体，腔体内设有由气缸和活塞构成的空气弹簧，气缸的侧臂连接高压气源，气缸底部与腔体底部之间、气缸内侧壁分别设有一气浮，腔体的两侧壁中间部分分别嵌入了一密封柔性连接件，其中一侧臂还设有用以连接抽气机的排气孔。本发明在具有优良减振性能的同时，消除了减振器对周围环境的气体排放，维持设备较低的重心提高设备的稳定性，可广泛应用在EUV光刻机、电子束光刻机等对真空要求严格的精密设备及测试平台。

公开(公告)号：CN102141733A

公开(公告)日：2011-08-03

申请号：CN201010102421.7

申请日：2010-01-28

Applicant: 上海微电子装备有限公司 ,  华中科技大学

Inventor： 廖飞红 ,  李小平 ,  李巍 ,  刘雷钧

IPC: G03F7/20 ,  F16F15/02

Abstract: 本发明提出一种减振装置，承载有一负载。减振装置包括基座、壳体、活塞、第一气室、活塞和摆机构。壳体用于支撑所述的负载；第一气室刚性连接在基座上，内部充满流体；活塞通过第一气室内的流体所支撑；摆机构安装在活塞和壳体之间，用于在水平方向对活塞和壳体产生低刚度连接。本发明中的减振装置采用双腔室空气弹簧用于隔离垂向的振动，在空气弹簧活塞与负载之间设置了细长的柔性摆杆，在负载与基座之间安装了直线电机用于振动的主动补偿。与原有技术相比，空气弹簧的容积更大，摆机构更长，从而减振装置刚度可降得更低，并且本发明的减振装置结构紧凑，设计简单。

公开(公告)号：CN101709763A

公开(公告)日：2010-05-19

申请号：CN200910273183.3

申请日：2009-12-10

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 陈学东 ,  李小平 ,  刘雷钧 ,  李巍 ,  廖飞红 ,  罗欣 ,  曾理湛 ,  徐振高

IPC: F16F15/03

Abstract: 本发明提供一种水平二自由度隔振机构，包括一连接板，连接板中心插有活塞杆，圆盘的沿周均匀安放有四个磁浮单元。利用磁铁(包括电磁铁和永磁体)的同极相斥产生的正刚度特性，以及磁铁异极相吸产生的负刚度特性，将磁浮单元设计为正负刚度并联的水平二自由度隔振系统。由于正负刚度并联使刚度相互抵消，因此，该水平二自由度隔振机构拥有接近零的固有刚度，从而实现超低频水平隔振。

公开(公告)号：CN101709763B

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN200910273183.3

申请日：2009-12-10

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 陈学东 ,  李小平 ,  刘雷钧 ,  李巍 ,  廖飞红 ,  罗欣 ,  曾理湛 ,  徐振高 ,  胡元太 ,  严天宏 ,  徐甲强

IPC: F16F15/03

Abstract: 本发明提供一种水平二自由度隔振机构，包括一连接板，连接板中心插有活塞杆，圆盘的沿周均匀安放有四个磁浮单元。利用磁铁(包括电磁铁和永磁体)的同极相斥产生的正刚度特性，以及磁铁异极相吸产生的负刚度特性，将磁浮单元设计为正负刚度并联的水平二自由度隔振系统。由于正负刚度并联使刚度相互抵消，因此，该水平二自由度隔振机构拥有接近零的固有刚度，从而实现超低频水平隔振。

公开(公告)号：CN102141733B

公开(公告)日：2012-11-14

申请号：CN201010102421.7

申请日：2010-01-28

Applicant: 上海微电子装备有限公司 ,  华中科技大学

Inventor： 廖飞红 ,  李小平 ,  李巍 ,  刘雷钧

IPC: G03F7/20 ,  F16F15/02

Abstract: 本发明提出一种减振装置，承载有一负载。减振装置包括基座、壳体、活塞、第一气室、活塞和摆机构。壳体用于支撑所述的负载；第一气室刚性连接在基座上，内部充满流体；活塞通过第一气室内的流体所支撑；摆机构安装在活塞和壳体之间，用于在水平方向对活塞和壳体产生低刚度连接。本发明中的减振装置采用双腔室空气弹簧用于隔离垂向的振动，在空气弹簧活塞与负载之间设置了细长的柔性摆杆，在负载与基座之间安装了直线电机用于振动的主动补偿。与原有技术相比，空气弹簧的容积更大，摆机构更长，从而减振装置刚度可降得更低，并且本发明的减振装置结构紧凑，设计简单。

公开(公告)号：CN101725662A

公开(公告)日：2010-06-09

申请号：CN200910273182.9

申请日：2009-12-10

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 李小平 ,  廖飞红 ,  陈学东 ,  李巍 ,  刘雷钧 ,  罗欣 ,  徐振高 ,  曾理湛

IPC: F16F15/023

Abstract: 本发明提供了一种用于真空环境的减振器，包括一腔体，腔体内设有由气缸和活塞构成的空气弹簧，气缸的侧臂连接高压气源，气缸底部与腔体底部之间、气缸内侧壁分别设有一气浮，腔体的两侧壁中间部分分别嵌入了一密封柔性连接件，其中一侧臂还设有用以连接抽气机的排气孔。本发明在具有优良减振性能的同时，消除了减振器对周围环境的气体排放，维持设备较低的重心提高设备的稳定性，可广泛应用在EUV光刻机、电子束光刻机等对真空要求严格的精密设备及测试平台。