一种非接触式主动阻尼装置

    公开(公告)号:CN102230509B

    公开(公告)日:2013-01-23

    申请号:CN201110083202.3

    申请日:2011-04-02

    Abstract: 本发明公开了一种非接触式主动阻尼装置,包括阻尼器和驱动器两部分,阻尼器和驱动器电气连接,阻尼器包括固定不动的定子和与定子相分离的阻尼发生器,阻尼发生器相对于定子能够在一个方向上运动。阻尼装置由分离式动子和定子组成,通过主动控制方式调节驱动电路的驱动电流,从而实现阻尼力的主动控制。该阻尼装置能够实现对超精密减振器提供自适应变阻尼控制,有效地衰减减振台的高频振动。本发明可以为光刻机及其他的精密设备提供超静的环境。本发明提供的阻尼装置可用作小型超精密设备、精密仪器的基础支撑。将本发明提供的阻尼装置与空气弹簧、液压隔振器等被动阻尼装置串联使用,亦可对大型设备、大型仪器实现精密减振。

    一种非接触式主动阻尼装置

    公开(公告)号:CN102230509A

    公开(公告)日:2011-11-02

    申请号:CN201110083202.3

    申请日:2011-04-02

    Abstract: 本发明公开了一种非接触式主动阻尼装置,包括阻尼器和驱动器两部分,阻尼器和驱动器电气连接,阻尼器包括固定不动的定子和与定子相分离的阻尼发生器,阻尼发生器相对于定子能够在一个方向上运动。阻尼装置由分离式动子和定子组成,通过主动控制方式调节驱动电路的驱动电流,从而实现阻尼力的主动控制。该阻尼装置能够实现对超精密减振器提供自适应变阻尼控制,有效地衰减减振台的高频振动。本发明可以为光刻机及其他的精密设备提供超静的环境。本发明提供的阻尼装置可用作小型超精密设备、精密仪器的基础支撑。将本发明提供的阻尼装置与空气弹簧、液压隔振器等被动阻尼装置串联使用,亦可对大型设备、大型仪器实现精密减振。

    多盘组合式大力矩制动器

    公开(公告)号:CN101905843A

    公开(公告)日:2010-12-08

    申请号:CN201010227701.0

    申请日:2010-07-16

    Abstract: 本发明公开了多盘组合式大力矩制动器,主要包括多个并排设置的刹车盘,刹车盘的两侧设置有刹车片,刹车片由弹性压板支撑,弹性压板与楔形推力块面接触。多盘式组合结构减小了单个刹车盘的所受力矩,实现大制动力矩制动,同时多片结构增加了系统的平稳性和安全性,显著减小了机械结构的尺寸和总体重量。楔形推力块和弹性压板相互配合的小斜度楔形面,一方面实现自锁,另一方面实现推力的转向和放大,实现小油缸大推力的机械增力设计。在制动器工作期间弹性压板维持其弹性形变,保证了制动器在突然断电的情况下,弹性压板弯曲储存的弹性形变将维持制动器的机械制动力保持不变。在突然断电的情况下,第二蓄能器同时也投入运行,保证了制动器制动力的持续。实现断电自动保护即安全制动。

    多盘组合式大力矩制动器

    公开(公告)号:CN101905843B

    公开(公告)日:2011-11-30

    申请号:CN201010227701.0

    申请日:2010-07-16

    Abstract: 本发明公开了多盘组合式大力矩制动器,主要包括多个并排设置的刹车盘,刹车盘的两侧设置有刹车片,刹车片由弹性压板支撑,弹性压板与楔形推力块面接触。多盘式组合结构减小了单个刹车盘的所受力矩,实现大制动力矩制动,同时多片结构增加了系统的平稳性和安全性,显著减小了机械结构的尺寸和总体重量。楔形推力块和弹性压板相互配合的小斜度楔形面,一方面实现自锁,另一方面实现推力的转向和放大,实现小油缸大推力的机械增力设计。在制动器工作期间弹性压板维持其弹性形变,保证了制动器在突然断电的情况下,弹性压板弯曲储存的弹性形变将维持制动器的机械制动力保持不变。在突然断电的情况下,第二蓄能器同时也投入运行,保证了制动器制动力的持续。实现断电自动保护即安全制动。

    一种主动阻尼装置
    5.
    实用新型

    公开(公告)号:CN202326900U

    公开(公告)日:2012-07-11

    申请号:CN201120454636.5

    申请日:2011-11-16

    Abstract: 本实用新型公开了一种主动阻尼装置,包括阻尼器和驱动器两部分,阻尼器和驱动器电气连接,阻尼器包括固定不动的定子和与定子相分离的阻尼发生器,阻尼发生器相对于定子能够在一个方向上运动。阻尼装置由分离式动子和定子组成,通过主动控制方式调节驱动电路的驱动电流,从而实现阻尼力的主动控制。该阻尼装置能够实现对超精密减振器提供自适应变阻尼控制,有效地衰减减振台的高频振动。本实用新型可以为光刻机及其他的精密设备提供超静的环境。本实用新型提供的阻尼装置可用作小型超精密设备、精密仪器的基础支撑。将本实用新型提供的阻尼装置与空气弹簧、液压隔振器等被动阻尼装置串联使用,亦可对大型设备、大型仪器实现精密减振。

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