公开(公告)号：CN101725662B

公开(公告)日：2012-02-29

申请号：CN200910273182.9

申请日：2009-12-10

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 李小平 ,  廖飞红 ,  陈学东 ,  李巍 ,  刘雷钧 ,  严天宏 ,  王新杰 ,  罗欣 ,  徐振高 ,  曾理湛

IPC: F16F15/023

Abstract: 本发明提供了一种用于真空环境的减振器，包括一腔体，腔体内设有由气缸和活塞构成的空气弹簧，气缸的侧臂连接高压气源，气缸底部与腔体底部之间、气缸内侧壁分别设有一气浮，腔体的两侧壁中间部分分别嵌入了一密封柔性连接件，其中一侧臂还设有用以连接抽气机的排气孔。本发明在具有优良减振性能的同时，消除了减振器对周围环境的气体排放，维持设备较低的重心提高设备的稳定性，可广泛应用在EUV光刻机、电子束光刻机等对真空要求严格的精密设备及测试平台。

公开(公告)号：CN100572810C

公开(公告)日：2009-12-23

申请号：CN200810047876.6

申请日：2008-05-30

Applicant: 华中科技大学 ,  郑州轻工业学院

Inventor： 陈学东 ,  曾理湛 ,  罗欣 ,  李小平 ,  王新杰 ,  伞晓刚 ,  农先鹏 ,  方昉

IPC: F04B49/00 ,  G05B19/04 ,  G05B13/02 ,  G05B23/02

Abstract: 本发明涉及一种有杆泵抽油机抽油控制方法及其系统。该方法通过采集抽油机悬点载荷和位移数据生成地面示功图，由波动方程计算得出地下泵功图；根据泵功图图形特征，应用模糊逻辑进行游动阀漏失等泵工况分析及控制：若有严重故障则停机待检，否则根据分析得出的泵充满程度调整运行参数，若符合“间抽”条件则计算或调整停抽时间进行“间抽”控制，否则根据泵充满程度计算新的冲次参数。采用该方法的ARM嵌入式抽油控制器，可将泵功图诊断和实时抽油控制结合起来，实现故障保护、停抽、“间抽”或冲次参数调整，可显著提高工作效率。

公开(公告)号：CN101285463A

公开(公告)日：2008-10-15

申请号：CN200810047876.6

申请日：2008-05-30

Applicant: 华中科技大学 ,  郑州轻工业学院

Inventor： 陈学东 ,  曾理湛 ,  罗欣 ,  李小平 ,  王新杰 ,  伞晓刚 ,  农先鹏 ,  方昉

IPC: F04B49/00 ,  G05B19/04 ,  G05B13/02 ,  G05B23/02

Abstract: 本发明涉及一种有杆泵抽油机抽油控制方法及其系统。该方法通过采集抽油机悬点载荷和位移数据生成地面示功图，由波动方程计算得出地下泵功图；根据泵功图图形特征，应用模糊逻辑进行游动阀漏失等泵工况分析及控制：若有严重故障则停机待检，否则根据分析得出的泵充满程度调整运行参数，若符合“间抽”条件则计算或调整停抽时间进行“间抽”控制，否则根据泵充满程度计算新的冲次参数。采用该方法的ARM嵌入式抽油控制器，可将泵功图诊断和实时抽油控制结合起来，实现故障保护、停抽、“间抽”或冲次参数调整，可显著提高工作效率。