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公开(公告)号：CN102141733B
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201010102421.7
申请日：2010-01-28
Applicant: 上海微电子装备有限公司 , 华中科技大学
Abstract: 本发明提出一种减振装置，承载有一负载。减振装置包括基座、壳体、活塞、第一气室、活塞和摆机构。壳体用于支撑所述的负载；第一气室刚性连接在基座上，内部充满流体；活塞通过第一气室内的流体所支撑；摆机构安装在活塞和壳体之间，用于在水平方向对活塞和壳体产生低刚度连接。本发明中的减振装置采用双腔室空气弹簧用于隔离垂向的振动，在空气弹簧活塞与负载之间设置了细长的柔性摆杆，在负载与基座之间安装了直线电机用于振动的主动补偿。与原有技术相比，空气弹簧的容积更大，摆机构更长，从而减振装置刚度可降得更低，并且本发明的减振装置结构紧凑，设计简单。
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公开(公告)号：CN102162500B
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201110058574.0
申请日：2011-03-11
Applicant: 华中科技大学 , 上海微电子装备有限公司
Abstract: 本发明提供了一种结构紧凑、集成度高的精密主动减振装置，它适用于需要进行微幅振动抑制的小质量精密加工（测量）设备。该装置主要包括既能感受振动又能对振动进行抑制的压电块结构、压电块提供垂向预压力的折叠弹簧以及提供垂向被动隔振的柔性铰链。其中，压电块可以采用垂直布置，也可以采用45度倾斜布置，采用倾斜布置的压电块结构可以同时测量和抑制水平向振动和垂向振动。另外，一种实现水平面隔振的减振装置可以提供360度水平面的振动隔离，其内部采用线切割加工出螺旋线形槽。水平面隔振减振装置与垂向精密主动减振装置结合使用，既可以主动抑制垂向振动，又可被动隔离水平振动。
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公开(公告)号：CN102189413A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110090892.5
申请日：2011-04-12
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种超精密工作台，它包括宏运动平台与微位移工作台，其中宏运动平台的导轨形式采用气浮导轨，微位移工作台与宏运动平台连接，并随宏运动平台一起沿X向、Y向移动。微位移工作台中包含压电智能结构，其中该压电智能结构既能感知外界对其施加的力、位移等信号，又能主动地对外界施加力、位移等。此外，压电智能结构不仅可以用于超精密工作台的微位移工作台中，而且也可以制成类似弹簧-阻尼系统的俘能机构，应用在超精密工作台中。本发明可以广泛应用于超精密机床、超精密测量、微电子制造等领域。
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公开(公告)号：CN102162500A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN201110058574.0
申请日：2011-03-11
Applicant: 华中科技大学 , 上海微电子装备有限公司
Abstract: 本发明提供了一种结构紧凑、集成度高的精密主动减振装置，它适用于需要进行微幅振动抑制的小质量精密加工（测量）设备。该装置主要包括既能感受振动又能对振动进行抑制的压电块结构、压电块提供垂向预压力的折叠弹簧以及提供垂向被动隔振的柔性铰链。其中，压电块可以采用垂直布置，也可以采用45度倾斜布置，采用倾斜布置的压电块结构可以同时测量和抑制水平向振动和垂向振动。另外，一种实现水平面隔振的减振装置可以提供360度水平面的振动隔离，其内部采用线切割加工出螺旋线形槽。水平面隔振减振装置与垂向精密主动减振装置结合使用，既可以主动抑制垂向振动，又可被动隔离水平振动。
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公开(公告)号：CN101725662A
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200910273182.9
申请日：2009-12-10
Applicant: 华中科技大学
IPC: F16F15/023
Abstract: 本发明提供了一种用于真空环境的减振器，包括一腔体，腔体内设有由气缸和活塞构成的空气弹簧，气缸的侧臂连接高压气源，气缸底部与腔体底部之间、气缸内侧壁分别设有一气浮，腔体的两侧壁中间部分分别嵌入了一密封柔性连接件，其中一侧臂还设有用以连接抽气机的排气孔。本发明在具有优良减振性能的同时，消除了减振器对周围环境的气体排放，维持设备较低的重心提高设备的稳定性，可广泛应用在EUV光刻机、电子束光刻机等对真空要求严格的精密设备及测试平台。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100424022C
公开(公告)日：2008-10-08
申请号：CN200610125375.6
申请日：2006-12-08
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种生物/酶促湿地污水处理方法及相应的酶促湿地，该处理方法集中了生物处理的高效性与生态处理的低能耗性优势，采用特别设计的酶促湿地，湿地的深度为800～1000mm，且采用三级递进布水，使得进水端负荷分配均匀，在湿地中填入酶促填料。本发明增大了床深提高了水力负荷，耐冲击负荷能力强；采用酶促填料提高了可生化性；采用递进布水方式进水减小了湿地首端负荷，延缓了前端堵塞；在生物反应器利用1/2能耗去除2/3的污染负荷，利用1/6能耗去除掉剩余1/3的污染负荷，污染物去除率高、能耗低；出水水质稳定，降低了污水处理的成本，实现了酶促湿地出水达标排放。
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公开(公告)号：CN103454774B
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201310421474.9
申请日：2013-09-16
Applicant: 华中科技大学
IPC: G02B27/10
Abstract: 本发明涉及光学技术领域，公开了一种光的滤波方法及光滤波器。其中，光的滤波方法包括：将光射入第一分谱装置；第一分谱装置的输出光射入第二分谱装置；其中，第一分谱装置的输出通道与第二分谱装置的输入通道不平行；第二分谱装置的输出光射入DLP芯片。本发明先通过第一分谱装置将入射光的光谱在一个方向上散开；第一分谱装置的输出光入射到第二分谱装置，使第二分谱装置的出射光的光谱在另一个方向上散开；再投射到DMD芯片上，由于光谱在两个不同方向上被散开，光谱分散度得到提高，此时，DMD芯片上的每个微镜所对应的光的波长都不相同，再利用DMD芯片进行光滤波，不仅实现了对更宽输入光谱的滤波，而且提高了光滤波的分辨率。
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公开(公告)号：CN102189413B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201110090892.5
申请日：2011-04-12
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种超精密工作台，它包括宏运动平台与微位移工作台，其中宏运动平台的导轨形式采用气浮导轨，微位移工作台与宏运动平台连接，并随宏运动平台一起沿X向、Y向移动。微位移工作台中包含压电智能结构，其中该压电智能结构既能感知外界对其施加的力、位移等信号，又能主动地对外界施加力、位移等。此外，压电智能结构不仅可以用于超精密工作台的微位移工作台中，而且也可以制成类似弹簧-阻尼系统的俘能机构，应用在超精密工作台中。本发明可以广泛应用于超精密机床、超精密测量、微电子制造等领域。
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公开(公告)号：CN101725662B
公开(公告)日：2012-02-29
申请号：CN200910273182.9
申请日：2009-12-10
Applicant: 华中科技大学
IPC: F16F15/023
Abstract: 本发明提供了一种用于真空环境的减振器，包括一腔体，腔体内设有由气缸和活塞构成的空气弹簧，气缸的侧臂连接高压气源，气缸底部与腔体底部之间、气缸内侧壁分别设有一气浮，腔体的两侧壁中间部分分别嵌入了一密封柔性连接件，其中一侧臂还设有用以连接抽气机的排气孔。本发明在具有优良减振性能的同时，消除了减振器对周围环境的气体排放，维持设备较低的重心提高设备的稳定性，可广泛应用在EUV光刻机、电子束光刻机等对真空要求严格的精密设备及测试平台。
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公开(公告)号：CN1970467A
公开(公告)日：2007-05-30
申请号：CN200610125375.6
申请日：2006-12-08
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种生物/酶促湿地污水处理方法，该处理方法集中了生物处理的高效性与生态处理的低能耗性优势，采用特别设计的酶促湿地，湿地的深度为800～1000mm，且采用三级递进布水，使得进水端负荷分配均匀，在湿地中填入酶促填料。本发明增大了床深提高了水力负荷，耐冲击负荷能力强；采用酶促填料提高了可生化性；采用递进布水方式进水减小了湿地首端负荷，延缓了前端堵塞；在生物反应器利用1/2能耗去除2/3的污染负荷，利用1/6能耗去除掉剩余1/3的污染负荷，污染物去除率高、能耗低；出水水质稳定，降低了污水处理的成本，实现了酶促湿地出水达标排放。
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