-
公开(公告)号：CN104008943B
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201410066714.2
申请日：2014-02-26
Inventor： M.马佐斯
IPC: H01J37/21 , H01J37/147 , H01J37/28 , H01J37/10
CPC classification number: H01J37/07 , H01J3/026 , H01J37/04 , H01J37/06 , H01J37/10 , H01J37/1477 , H01J37/21 , H01J37/248 , H01J37/3056 , H01J37/3178 , H01J2237/0473 , H01J2237/04735 , H01J2237/04756 , H01J2237/1518 , H01J2237/1534 , H01J2237/28 , H01J2237/31749
Abstract: 本发明提供了一种带电粒子束系统，其中，聚焦离子束柱的中间段被偏置到高负电压，该电压允许该束在比该柱的那个区段内的最终束能量更高的电势下移动。在低kV电势下，减少了色差和库仑相互作用，这使斑点尺寸产生显著改进。
-
公开(公告)号：CN105321790B
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：CN201510245840.9
申请日：2015-05-14
Applicant: 斯伊恩股份有限公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/30
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/1477 , H01J37/30 , H01J37/3007 , H01J37/317 , H01J2237/15 , H01J2237/1534 , H01J2237/303 , H01J2237/31701
Abstract: 本发明提供一种能够广泛使用的离子注入装置。本发明的离子注入装置具备扫描单元(1000)，该扫描单元包括：扫描电极装置(400)，向沿着基准轨道(Z)射入的离子束B施加偏转电场，以向与基准轨道(Z)正交的横向扫描离子束(B)；及上游电极装置(300)，由设置于扫描电极装置(400)的上游的多个电极体构成。扫描电极装置(400)具备隔着基准轨道(Z)横向对置而设的一对扫描电极(410R，410L)及隔着基准轨道(Z)而在与横向正交的纵向对置而设的一对射束输送补正电极(450)。一对射束输送补正电极(450)分别在扫描电极装置(400)的入口(402)附近具有向基准轨道(Z)纵向延伸的射束输送补正入口电极体(454)。
-
公开(公告)号：CN104380427A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201380025282.4
申请日：2013-04-02
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: H01J37/22 , H01J37/10 , H01J37/147
CPC classification number: H01J37/153 , H01J37/05 , H01J37/28 , H01J2237/1534 , H01J37/22 , H01J37/10 , H01J37/147
Abstract: 一个实施例涉及一种用于高分辨率电子束成像的设备。所述设备包含经配置以限制入射电子束中的电子的能量扩散的能量过滤器。所述能量过滤器可使用消像散维恩(Wien)过滤器及过滤器孔口而形成。另一实施例涉及一种形成用于高分辨率电子束设备的入射电子束的方法。另一实施例涉及一种包含弯曲导电电极的消像散维恩过滤器。另一实施例涉及一种包含一对磁轭及多极偏转器的消像散维恩过滤器。本发明还揭示其它实施例、方面及特征。
-
公开(公告)号：CN101506839B
公开(公告)日：2012-10-31
申请号：CN200780030442.9
申请日：2007-07-25
Applicant: 于利奇研究中心有限公司
CPC classification number: H01J37/222 , G06K9/03 , H01J37/26 , H01J37/263 , H01J2237/1534 , H01J2237/223 , H01J2237/2617 , H01J2237/2823
Abstract: 本发明涉及一种用于测量二维图像相似性的方法，其中至少一个图像包含附加信号，其位置依赖性或者对称特征至少可以估计出来。本发明涉及所述图像被分割成相互等同的子图像，使得至少一个子图像在附加信号的梯度方向上的范围小于此子图像在与此垂直的方向上的范围。所述子图像被单独比较并且组合所有比较的结果以便形成相似性的测量结果。因而，这使所述方法对于附加信号的变化并不敏感。所述方法尤其适合于确定在电子显微镜图像中的散焦和散光。这取决于实验测量的图像与以散焦和散光的特定值产生的模拟图像的相似性比较。
-
公开(公告)号：CN102610479A
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201110463206.4
申请日：2011-12-05
Applicant: 卡尔蔡司NTS有限责任公司 , 卡尔蔡司NTS有限公司
IPC: H01J37/301
CPC classification number: H01J37/1474 , H01J37/28 , H01J2237/1534 , H01J2237/188 , H01J2237/31749
Abstract: 本发明涉及粒子束装置，其包括粒子束发生器、用于将由粒子束发生器产生的粒子束聚焦在目标平面上的物镜。物镜确定光轴。粒子束装置还包括用于偏转目标平面上的粒子束的第一和第二偏转系统，第一和第二偏转系统连续依次沿光轴设置。在第一运行模式中，第一偏转系统产生第一偏转场，第二偏转系统产生第二偏转场，第一和第二偏转场彼此具有第一角取向并被彼此定向，使得它们在目标平面上共同产生粒子束在第一方向上的偏转。在第二运行模式中，第一偏转系统产生第三偏转场，第二偏转系统产生第四偏转场，第三和第四偏转场彼此具有第二角取向并被彼此定向，使得它们在目标平面上共同产生粒子束在第一方向上的偏转。第二角取向不同于第一角取向。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1979751B
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200610168858.4
申请日：2006-12-06
Applicant: FEI公司
Inventor： C·科克 , M·J·V·D·詹德 , B·里杰
IPC: H01J37/153 , H01J37/21 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/153 , H01J2237/1534 , H01J2237/2802 , H01J2237/282
Abstract: 粒子-光学设备的透镜(如物镜)具有像差这一缺点。正如数十年来众所周知的，龙基图可用来确定粒子-光学透镜的这些像差。这样的方法依赖于比如在一个或一组龙基图中局部放大率的基础上像差函数的二阶导数的确定。取决于二阶导数，这些方法的数学只允许龙基图之间的(无穷)小的移位。然而，这意味着比如记录龙基图的相机的空间量化噪音导致较大的误差。这些冲突需求限制了精度并且因此限制了已知方法的有效性。本发明描述了一组算法，所述的算法产生改进的方法以此利用一组龙基图量化透镜像差系数。
-
公开(公告)号：CN101685754A
公开(公告)日：2010-03-31
申请号：CN200910173281.X
申请日：2009-09-22
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/26 , H01J37/252 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/153 , H01J37/263 , H01J2237/1534 , H01J2237/2823
Abstract: 本发明涉及用于校正粒子光学装置中的畸变的方法。本发明涉及一种用于校正由TEM的投影系统(106)引起的畸变的方法。本领域技术人员知道，畸变可能限制TEM的分辨率，特别是当利用X射线断层摄影术对特征进行3D重建时。而且，当在TEM中利用应变分析时，畸变会限制应变的检测。为此，本发明公开了一种装配有多极(152)的检测器，该多极以抵消投影系统引起的畸变的方式使TEM的图像歪曲。该检测器还可以包括用于检测电子的CCD或者荧光屏(151)。
-
公开(公告)号：CN106548913A
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：CN201710049531.3
申请日：2013-04-02
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: H01J37/05 , H01J37/153 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/153 , H01J37/05 , H01J37/28 , H01J2237/1534
Abstract: 本发明涉及用于高分辨率电子束成像的设备及方法。一个实施例涉及一种用于高分辨率电子束成像的设备。所述设备包含经配置以限制入射电子束中的电子的能量扩散的能量过滤器。所述能量过滤器可使用消像散维恩(Wien)过滤器及过滤器孔口而形成。另一实施例涉及一种形成用于高分辨率电子束设备的入射电子束的方法。另一实施例涉及一种包含弯曲导电电极的消像散维恩过滤器。另一实施例涉及一种包含一对磁轭及多极偏转器的消像散维恩过滤器。本发明还揭示其它实施例、方面及特征。
-
公开(公告)号：CN102610479B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201110463206.4
申请日：2011-12-05
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 , 卡尔蔡司NTS有限公司
IPC: H01J37/301
CPC classification number: H01J37/1474 , H01J37/28 , H01J2237/1534 , H01J2237/188 , H01J2237/31749
Abstract: 本发明涉及粒子束装置，其包括粒子束发生器、用于将由粒子束发生器产生的粒子束聚焦在目标平面上的物镜。物镜确定光轴。粒子束装置还包括用于偏转目标平面上的粒子束的第一和第二偏转系统，第一和第二偏转系统连续依次沿光轴设置。在第一运行模式中，第一偏转系统产生第一偏转场，第二偏转系统产生第二偏转场，第一和第二偏转场彼此具有第一角取向并被彼此定向，使得它们在目标平面上共同产生粒子束在第一方向上的偏转。在第二运行模式中，第一偏转系统产生第三偏转场，第二偏转系统产生第四偏转场，第三和第四偏转场彼此具有第二角取向并被彼此定向，使得它们在目标平面上共同产生粒子束在第一方向上的偏转。第二角取向不同于第一角取向。
-
公开(公告)号：CN105321790A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510245840.9
申请日：2015-05-14
Applicant: 斯伊恩股份有限公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/30
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/1477 , H01J37/30 , H01J37/3007 , H01J37/317 , H01J2237/15 , H01J2237/1534 , H01J2237/303 , H01J2237/31701
Abstract: 本发明提供一种能够广泛使用的离子注入装置。本发明的离子注入装置具备扫描单元(1000)，该扫描单元包括：扫描电极装置(400)，向沿着基准轨道(Z)射入的离子束B施加偏转电场，以向与基准轨道(Z)正交的横向扫描离子束(B)；及上游电极装置(300)，由设置于扫描电极装置(400)的上游的多个电极体构成。扫描电极装置(400)具备隔着基准轨道(Z)横向对置而设的一对扫描电极(410R，410L)及隔着基准轨道(Z)而在与横向正交的纵向对置而设的一对射束输送补正电极(450)。一对射束输送补正电极(450)分别在扫描电极装置(400)的入口(402)附近具有向基准轨道(Z)纵向延伸的射束输送补正入口电极体(454)。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
43
records
(took 0.023 seconds)
