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公开(公告)号:CN101510492A
公开(公告)日:2009-08-19
申请号:CN200910006670.3
申请日:2009-02-13
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/26 , H01J37/153
CPC classification number: H01J37/153 , H01J37/263 , H01J2237/2614
Abstract: 本发明涉及具有像差校正器和相位板的透射电子显微镜(TEM)。本发明涉及一种具有用于改善图像质量的校正器(330)和用于改善对比度的相位板(340)的TEM。经改善的TEM包括被完全置于物镜与相位板之间的校正系统,并且使用校正器的透镜在相位板上形成衍射平面的放大图像。
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公开(公告)号:CN101685754A
公开(公告)日:2010-03-31
申请号:CN200910173281.X
申请日:2009-09-22
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/26 , H01J37/252 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/153 , H01J37/263 , H01J2237/1534 , H01J2237/2823
Abstract: 本发明涉及用于校正粒子光学装置中的畸变的方法。本发明涉及一种用于校正由TEM的投影系统(106)引起的畸变的方法。本领域技术人员知道,畸变可能限制TEM的分辨率,特别是当利用X射线断层摄影术对特征进行3D重建时。而且,当在TEM中利用应变分析时,畸变会限制应变的检测。为此,本发明公开了一种装配有多极(152)的检测器,该多极以抵消投影系统引起的畸变的方式使TEM的图像歪曲。该检测器还可以包括用于检测电子的CCD或者荧光屏(151)。
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公开(公告)号:CN102049231B
公开(公告)日:2015-11-25
申请号:CN201010521909.3
申请日:2010-10-26
IPC: B01J19/00
CPC classification number: B01J19/0093 , B01J2219/00783 , B01J2219/00824 , B01J2219/00831 , B01J2219/00833 , B01J2219/0086 , B01J2219/00905 , B01J2219/0097 , B01L3/502761 , B01L7/54 , B01L2200/0668 , B01L2300/0822 , B01L2400/0415 , B01L2400/0439 , B01L2400/0442 , B01L2400/0487 , G01N2021/058 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/2004 , Y10T436/143333
Abstract: 用于观测流体中的颗粒的微反应器,特别用于观测流体中的小颗粒、细胞、细菌、病毒或蛋白质分子。微反应器具有形成在两层(102、104)之间的第一通道(106)以容纳流体,第一通道包括入口(112)和出口(114),这两层隔开第一距离。同样的第二通道(108)邻近第一通道设置,第二通道具有入口(118)和出口(116)。第一通道和第二通道通过间隙连接,在间隙处至少一个层具有窗口(120),该窗口对于检查方法为可透过的,在窗口处这两层隔开非常小的距离例如1微米或更小。
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公开(公告)号:CN101510492B
公开(公告)日:2012-11-14
申请号:CN200910006670.3
申请日:2009-02-13
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/26 , H01J37/153
CPC classification number: H01J37/153 , H01J37/263 , H01J2237/2614
Abstract: 本发明涉及具有像差校正器和相位板的透射电子显微镜(TEM)。本发明涉及一种具有用于改善图像质量的校正器(330)和用于改善对比度的相位板(340)的TEM。经改善的TEM包括被完全置于物镜与相位板之间的校正系统,并且使用校正器的透镜在相位板上形成衍射平面的放大图像。
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公开(公告)号:CN102049231A
公开(公告)日:2011-05-11
申请号:CN201010521909.3
申请日:2010-10-26
IPC: B01J19/00
CPC classification number: B01J19/0093 , B01J2219/00783 , B01J2219/00824 , B01J2219/00831 , B01J2219/00833 , B01J2219/0086 , B01J2219/00905 , B01J2219/0097 , B01L3/502761 , B01L7/54 , B01L2200/0668 , B01L2300/0822 , B01L2400/0415 , B01L2400/0439 , B01L2400/0442 , B01L2400/0487 , G01N2021/058 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/2004 , Y10T436/143333
Abstract: 用于观测流体中的颗粒的微反应器,特别用于观测流体中的小颗粒、细胞、细菌、病毒或蛋白质分子。微反应器具有形成在两层(102、104)之间的第一通道(106)以容纳流体,第一通道包括入口(112)和出口(114),这两层隔开第一距离。同样的第二通道(108)邻近第一通道设置,第二通道具有入口(118)和出口(116)。第一通道和第二通道通过间隙连接,在间隙处至少一个层具有窗口(120),该窗口对于检查方法为可透过的,在窗口处这两层隔开非常小的距离例如1微米或更小。
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