公开(公告)号：CN1979751B

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN200610168858.4

申请日：2006-12-06

Applicant: FEI公司

Inventor： C·科克 ,  M·J·V·D·詹德 ,  B·里杰

IPC: H01J37/153 ,  H01J37/21 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/153 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/282

Abstract: 粒子-光学设备的透镜(如物镜)具有像差这一缺点。正如数十年来众所周知的，龙基图可用来确定粒子-光学透镜的这些像差。这样的方法依赖于比如在一个或一组龙基图中局部放大率的基础上像差函数的二阶导数的确定。取决于二阶导数，这些方法的数学只允许龙基图之间的(无穷)小的移位。然而，这意味着比如记录龙基图的相机的空间量化噪音导致较大的误差。这些冲突需求限制了精度并且因此限制了已知方法的有效性。本发明描述了一组算法，所述的算法产生改进的方法以此利用一组龙基图量化透镜像差系数。

公开(公告)号：CN1979751A

公开(公告)日：2007-06-13

申请号：CN200610168858.4

申请日：2006-12-06

Applicant: FEI公司

Inventor： C·科克 ,  M·J·V·D·詹德 ,  B·里杰

IPC: H01J37/153 ,  H01J37/21 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/153 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/282

Abstract: 粒子－光学设备的透镜(如物镜)具有像差这一缺点。正如数十年来众所周知的，龙基图可用来确定粒子－光学透镜的这些像差。这样的方法依赖于比如在一个或一组龙基图中局部放大率的基础上像差函数的二阶导数的确定。取决于二阶导数，这些方法的数学只允许龙基图之间的(无穷)小的移位。然而，这意味着比如记录龙基图的相机的空间量化噪音导致较大的误差。这些冲突需求限制了精度并且因此限制了已知方法的有效性。本发明描述了一组算法，所述的算法产生改进的方法以此利用一组龙基图量化透镜像差系数。