公开(公告)号：CN102610479B

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201110463206.4

申请日：2011-12-05

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 ,  卡尔蔡司NTS有限公司

Inventor： D·普赖克萨斯 ,  A·H·海恩

IPC: H01J37/301

CPC classification number: H01J37/1474 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/188 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及粒子束装置，其包括粒子束发生器、用于将由粒子束发生器产生的粒子束聚焦在目标平面上的物镜。物镜确定光轴。粒子束装置还包括用于偏转目标平面上的粒子束的第一和第二偏转系统，第一和第二偏转系统连续依次沿光轴设置。在第一运行模式中，第一偏转系统产生第一偏转场，第二偏转系统产生第二偏转场，第一和第二偏转场彼此具有第一角取向并被彼此定向，使得它们在目标平面上共同产生粒子束在第一方向上的偏转。在第二运行模式中，第一偏转系统产生第三偏转场，第二偏转系统产生第四偏转场，第三和第四偏转场彼此具有第二角取向并被彼此定向，使得它们在目标平面上共同产生粒子束在第一方向上的偏转。第二角取向不同于第一角取向。

公开(公告)号：CN102610479A

公开(公告)日：2012-07-25

申请号：CN201110463206.4

申请日：2011-12-05

Applicant: 卡尔蔡司NTS有限责任公司 ,  卡尔蔡司NTS有限公司

Inventor： D·普赖克萨斯 ,  A·H·海恩

IPC: H01J37/301

CPC classification number: H01J37/1474 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/188 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及粒子束装置，其包括粒子束发生器、用于将由粒子束发生器产生的粒子束聚焦在目标平面上的物镜。物镜确定光轴。粒子束装置还包括用于偏转目标平面上的粒子束的第一和第二偏转系统，第一和第二偏转系统连续依次沿光轴设置。在第一运行模式中，第一偏转系统产生第一偏转场，第二偏转系统产生第二偏转场，第一和第二偏转场彼此具有第一角取向并被彼此定向，使得它们在目标平面上共同产生粒子束在第一方向上的偏转。在第二运行模式中，第一偏转系统产生第三偏转场，第二偏转系统产生第四偏转场，第三和第四偏转场彼此具有第二角取向并被彼此定向，使得它们在目标平面上共同产生粒子束在第一方向上的偏转。第二角取向不同于第一角取向。