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公开(公告)号：CN1322004A
公开(公告)日：2001-11-14
申请号：CN01116778.5
申请日：2001-04-30
Applicant: 北海道大学
CPC classification number: H01J37/252 , H01J2237/04735 , H01J2237/24557
Abstract: 半球形加速电极具有由内加速电极和外加速电极组成的双重结构。内加速电极具有内引入入口和内开孔,外加速电极具有外引入入口和外开孔。内引入入口的孔径角最好比外引入入口的孔径角大0.1～5°。内开孔的孔径角最好比外开孔的孔径角大0.1～5°。此外,散射电子检测器分别具有校正电极,并被布置在偏离电子的引入方向100～140°的方向上。
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公开(公告)号：CN103928281B
公开(公告)日：2017-08-25
申请号：CN201310685439.8
申请日：2013-12-16
Applicant: 宁波瑞曼特新材料有限公司
Inventor： 黄永章
IPC: H01J37/317 , H01J37/16 , H01J37/09
CPC classification number: H05H5/00 , H01J2237/038 , H01J2237/04735 , H01J2237/08 , H01J2237/31701 , H05H7/00
Abstract: 本发明涉及高压领域，其公开了一种高压加速器的高压舱结构,包括一个高电压舱，带电粒子发生器，加速管，束流输运线和目标靶;所述高电压舱的内部为空心腔体，所述带电粒子发生器设置在所述空心腔体内；所述高电压舱设置在高的电位以协助加速从带电粒子发生器出来的电子；高电压舱被包围在一个接地的外壳内；所述高电压舱的边缘的外部附近设置有绝缘导体。本发明的有益效果是：根据高电压舱结构与周围的接地外壳的空气间隔的不同来设置绝缘导体的位置，从而进一步提高高电压舱的最高承受电压。
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公开(公告)号：CN103201820B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201180016818.7
申请日：2011-03-16
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/317
CPC classification number: H01J37/04 , H01J37/3171 , H01J2237/022 , H01J2237/047 , H01J2237/04735 , H01J2237/04756
Abstract: 提供一种用于减小离子注入系统（100）中的颗粒污染的方法和系统，其中离子注入系统具有源（120）、质量分析器（136）、解析孔（138）、减速抑制板（146）以及终端站（106）。通过离子源形成离子束（114），而工件（110）在外部环境和用于离子注入的终端站之间转移。在转移工件的同时，调制施加到减速抑制板的减速抑制电压（148），使离子束扩张和收缩，其中解析孔的一个或更多表面及/或在解析孔下游的一个或更多部件受到离子束的冲击，其中减小由于之前沉积的物质残留在所述一个或更多表面上而造成的以后对工件的污染。通过移除之前沉积的物质或者将之前沉积的物质有力地附着到所述一个或更多表面，能够减轻污染。
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公开(公告)号：CN101490789A
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200780027484.7
申请日：2007-07-12
Applicant: 阿维扎技术有限公司
Inventor： 加里·普劳德富特 , 戈登·罗伯特·格林 , 罗伯特·肯尼思·特罗韦尔
CPC classification number: H01J27/18 , H01J27/024 , H01J37/04 , H01J37/08 , H01J2237/04735 , H01J2237/083
Abstract: 本发明涉及离子枪(10)，所述离子枪包括由RF源(12)驱动的等离子发生器(11)、具有输出端(14)的等离子或源腔(13)，穿过输出端(14)安装有加速器格栅(15)。加速器格栅(15)包括四个独立的格栅。最靠近输出端(14)的第一格栅(16)由DC电源(16a)保持正电压，第二格栅(17)由DC电源(17a)保持在强负电压。第三格栅(18)由DC电源(18a)保持在负电压，所述负电压远低于第二格栅(17)，并且第四格栅(19)接地。也描述了安装这些格栅的装置。
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公开(公告)号：CN1231098C
公开(公告)日：2005-12-07
申请号：CN03102504.8
申请日：2003-02-08
Applicant: 日新电机株式会社
Inventor： 山下贵敏
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J2237/04735
Abstract: 本发明提供了一种静电加速器及其离子注入设备。此静电加速器具有在作为一种带电粒子的离子的行进方向上布置的第一至第五电极。然后，该第二电极分成两个电极组元，该电极组元通过离子的路径彼此相对，且在其上施加不同的电势以偏转离子。此外，布置在该电极下游侧的多个电极沿被该电极偏转的且具有特定能量的离子的轨道布置。本发明的静电加速器与现有技术的静电加速器相比能抑制能量污染并缩短带电粒子的输运距离。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102709143B
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201210111707.0
申请日：2004-09-07
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司 , 应用材料以色列公司
IPC: H01J37/153 , H01J37/09 , H01J37/12 , H01J37/147 , H01J37/28 , H01J37/317 , B82Y10/00
CPC classification number: H01J37/04 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/09 , H01J37/10 , H01J37/14 , H01J37/153 , H01J37/28 , H01J37/3007 , H01J37/3177 , H01J2237/0435 , H01J2237/0453 , H01J2237/047 , H01J2237/04735 , H01J2237/04756 , H01J2237/06 , H01J2237/14 , H01J2237/2817 , H01J2237/31774
Abstract: 本发明涉及电子光学排布结构、多电子分束检验系统和方法。该电子光学排布结构提供一次和二次电子束路径，一次束路径用于从一次电子源指向可定位在该排布结构的物面中的物体的一次电子束，二次束路径用于源自物体的二次电子，该结构包括磁体排布结构，其具有：第一磁场区，由一次和二次电子束路径穿过，用于将一次和二次电子束路径相互分开；第二磁场区，布置在第一磁场区的上游的一次电子束路径中，二次电子束路径不穿过第二磁场区，第一和第二磁场区沿基本上相反的方向使一次电子束路径偏转；第三磁场区，布置在第一磁场区的下游的二次电子束路径中，一次电子束路径不穿过第三磁场区，第一和第三磁场区沿基本上相同的方向使二次电子束路径偏转。
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公开(公告)号：CN104008943A
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201410066714.2
申请日：2014-02-26
Applicant: FEI公司
Inventor： M.马佐斯
IPC: H01J37/21 , H01J37/147 , H01J37/28 , H01J37/10
CPC classification number: H01J37/07 , H01J3/026 , H01J37/04 , H01J37/06 , H01J37/10 , H01J37/1477 , H01J37/21 , H01J37/248 , H01J37/3056 , H01J37/3178 , H01J2237/0473 , H01J2237/04735 , H01J2237/04756 , H01J2237/1518 , H01J2237/1534 , H01J2237/28 , H01J2237/31749
Abstract: 本发明提供了一种带电粒子束系统，其中，聚焦离子束柱的中间段被偏置到高负电压，该电压允许该束在比该柱的那个区段内的最终束能量更高的电势下移动。在低kV电势下，减少了色差和库仑相互作用，这使斑点尺寸产生显著改进。
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公开(公告)号：CN103928281A
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201310685439.8
申请日：2013-12-16
Applicant: 宁波瑞曼特新材料有限公司
Inventor： 黄永章
IPC: H01J37/317 , H01J37/16 , H01J37/09
CPC classification number: H05H5/00 , H01J2237/038 , H01J2237/04735 , H01J2237/08 , H01J2237/31701 , H05H7/00
Abstract: 本发明涉及高压领域，其公开了一种高压加速器的高压舱结构，包括一个高电压舱，带电粒子发生器，加速管，束流输运线和目标靶；所述高电压舱的内部为空心腔体，所述带电粒子发生器设置在所述空心腔体内；所述高电压舱设置在高的电位以协助加速从带电粒子发生器出来的电子；高电压舱被包围在一个接地的外壳内；所述高电压舱的边缘的外部附近设置有绝缘导体。本发明的有益效果是：根据高电压舱结构与周围的接地外壳的空气间隔的不同来设置绝缘导体的位置，从而进一步提高高电压舱的最高承受电压。
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公开(公告)号：CN101103417A
公开(公告)日：2008-01-09
申请号：CN200480025528.9
申请日：2004-09-07
Applicant: 卡尔蔡司SMT股份有限公司 , 以色列实用材料有限公司
CPC classification number: H01J37/04 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/09 , H01J37/10 , H01J37/14 , H01J37/153 , H01J37/28 , H01J37/3007 , H01J37/3177 , H01J2237/0435 , H01J2237/0453 , H01J2237/047 , H01J2237/04735 , H01J2237/04756 , H01J2237/06 , H01J2237/14 , H01J2237/2817 , H01J2237/31774
Abstract: 一种粒子光学排布结构，其包括：用于生成带电粒子束的带电粒子源；布置在带电粒子束的束路径中的多孔板，其中，该多孔板具有按预定的第一阵列图案形成在其中的多个孔，其中，在多孔板的下游从带电粒子束形成了多个带电粒子分束，并且其中，所述多个分束在该装置的像面中形成了多个束斑，所述多个束斑按第二阵列图案排列；以及用于操纵带电粒子束和/或多个分束的粒子光学元件；其中，第一阵列图案在第一方向上具有第一图案规则度，而第二阵列图案在与第一方向电子光学地对应的第二方向上具有第二图案规则度，并且其中，第二规则度比第一规则度要大。
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公开(公告)号：CN105161393B
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201510512550.6
申请日：2004-09-07
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 , 应用材料以色列公司
CPC classification number: H01J37/04 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/09 , H01J37/10 , H01J37/14 , H01J37/153 , H01J37/28 , H01J37/3007 , H01J37/3177 , H01J2237/0435 , H01J2237/0453 , H01J2237/047 , H01J2237/04735 , H01J2237/04756 , H01J2237/06 , H01J2237/14 , H01J2237/2817 , H01J2237/31774
Abstract: 本发明涉及电子光学排布结构、多电子分束检验系统和方法。该电子光学排布结构提供一次和二次电子束路径，一次束路径用于从一次电子源指向可定位在该排布结构的物面中的物体的一次电子束，二次束路径用于源自物体的二次电子，该结构包括磁体排布结构，其具有：第一磁场区，由一次和二次电子束路径穿过，用于将一次和二次电子束路径相互分开；第二磁场区，布置在第一磁场区的上游的一次电子束路径中，二次电子束路径不穿过第二磁场区，第一和第二磁场区沿基本上相反的方向使一次电子束路径偏转；第三磁场区，布置在第一磁场区的下游的二次电子束路径中，一次电子束路径不穿过第三磁场区，第一和第三磁场区沿基本上相同的方向使二次电子束路径偏转。
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