公开(公告)号：CN104008943B

公开(公告)日：2018-02-16

申请号：CN201410066714.2

申请日：2014-02-26

Applicant: FEI ,  公司

Inventor： M.马佐斯

IPC: H01J37/21 ,  H01J37/147 ,  H01J37/28 ,  H01J37/10

CPC classification number: H01J37/07 ,  H01J3/026 ,  H01J37/04 ,  H01J37/06 ,  H01J37/10 ,  H01J37/1477 ,  H01J37/21 ,  H01J37/248 ,  H01J37/3056 ,  H01J37/3178 ,  H01J2237/0473 ,  H01J2237/04735 ,  H01J2237/04756 ,  H01J2237/1518 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明提供了一种带电粒子束系统，其中，聚焦离子束柱的中间段被偏置到高负电压，该电压允许该束在比该柱的那个区段内的最终束能量更高的电势下移动。在低kV电势下，减少了色差和库仑相互作用，这使斑点尺寸产生显著改进。

公开(公告)号：CN107301942A

公开(公告)日：2017-10-27

申请号：CN201710560682.5

申请日：2017-07-11

Applicant: 四川恒创博联科技有限责任公司

Inventor： 冯再 ,  陈伟

IPC: H01J37/32 ,  H01J37/317 ,  B01D61/14

CPC classification number: H01J37/32431 ,  B01D61/145 ,  H01J37/3178 ,  H01J37/32798

Abstract: 本发明公开了一种等离子体改性超滤膜处理系统，其包括工作室，工作室上设置有放电室，放电室的一侧设置有总控箱；总控箱内设置有控制单元和等离子体电源模块，总控箱上设置有与控制单元相连接的控制面板；放电室内设置有正对并连接等离子体电源模块的电极，两个电极之间设置有第一进气管；工作室内设置有超滤膜装载部件，工作室的底部设置有抽气口，抽气口连接一真空机组，真空机组连接控制单元；超滤膜装载部件包括与控制单元相连接的步进装置，步进装置通过至少一根螺纹杆活动连接一用于存放超滤膜的基片台。本发明在超滤膜上形成的薄膜厚度均匀，等离子体电源模块输出稳定，能进行意外跳闸保护，有效提高本系统的安全性。

公开(公告)号：CN101964294B

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CN201010504226.7

申请日：2010-07-15

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： 沃尔夫拉姆·比勒 ,  霍尔格·多默 ,  马赛厄斯·兰 ,  乔尔格·斯托多尔卡 ,  彼得·罗迪杰 ,  埃默里赫·伯塔格诺里 ,  海因茨·万曾伯克

IPC: H01J37/28 ,  G01N23/225

CPC classification number: H01J37/30 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3178 ,  H01J2237/0044 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/3174

Abstract: 本发明提供一种粒子束显微系统及其操作方法。用于清洁自身的该粒子束显微系统1包括：辐射系统，以导引电磁辐射到需要清洁的表面；以及供给系统61，以供给前驱气体到粒子束系统1的真空室11的内部。在将被清洁的表面的附近，前驱气体被激活并转变为与存在于被辐照表面的污染物反应的反应气体，从而所述污染物随后可以被泵出。

公开(公告)号：CN104603599A

公开(公告)日：2015-05-06

申请号：CN201380046840.5

申请日：2013-08-09

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 近藤孝志 ,  神波诚治 ,  原铁三 ,  铃木胜之

IPC: G01N21/3581

CPC classification number: G01N21/59 ,  G01N21/01 ,  G01N21/03 ,  G01N21/3581 ,  G01N2021/0339 ,  G01N2201/02 ,  G01N2201/061 ,  G02B5/18 ,  G02B21/34 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3178 ,  Y10T29/49

Abstract: 提供机械强度高、使用时难以产生弯曲和损坏的空隙配置结构体。空隙配置结构体(1)是通过电磁波的照射来测定被测定物的特性时使用的空隙配置结构体，空隙配置板(2)具有第1主面(2a)和与第1主面(2a)对置的第2主面(2b)，将从第1主面(2a)朝向第2主面(2b)贯通的多个空隙部(2c)设置在空隙配置板(2)，按照在该空隙配置板(2)的第1主面(2a)以及第2主面(2b)中的至少一方的主面具有使至少1个空隙部(2c)露出的开口部或缺口部的方式层叠支承基材(3、4)。

公开(公告)号：CN104272425A

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：CN201380022774.8

申请日：2013-04-25

Applicant: 阿卡姆股份有限公司

Inventor： M·斯文松 ,  U·勒君布拉德

IPC: H01J37/077 ,  B29C67/00

CPC classification number: H01J29/52 ,  B29C64/153 ,  B33Y10/00 ,  B33Y30/00 ,  H01J37/077 ,  H01J37/305 ,  H01J37/3178 ,  H01J2237/043 ,  H01J2237/3128 ,  H01J2237/31732

Abstract: 本发明涉及一种等离子体电子源装置(150)。所述装置包含阴极放电室(100)，在阴极放电室(100)中产生等离子体；提供在所述阴极放电室中的出口孔(120)，通过提供在所述阴极放电室(100)与阳极(104)之间的加速场从出口孔(120)并从所述等离子体(107)中提取电子；至少一个等离子体约束设备(例如，电磁线圈103)；以及切换机构(190)，其用于在允许从所述等离子体中提取电子的第一值与阻止从所述等离子体中提取电子的第二值之间切换所述至少一个等离子体约束设备。也提供了关联方法，特别是使用所述装置(150)的方法，所述装置(150)用于通过连续熔合提供在工作台上的粉床的至少一个层的部分而形成三维物品。

公开(公告)号：CN101490792B

公开(公告)日：2012-02-01

申请号：CN200780027492.1

申请日：2007-07-06

Applicant: 阿维扎技术有限公司

Inventor： 加里·普劳德富特 ,  克里斯托弗·戴维·乔治 ,  保罗·埃杜拉多·利马 ,  戈登·罗伯特·格林 ,  罗伯特·肯尼思·特罗韦尔

IPC: H01J37/305 ,  H01J27/04 ,  H01J37/317 ,  H01J27/16 ,  C23C14/46 ,  H01J37/20 ,  H01J37/08

CPC classification number: C23C14/46 ,  H01J27/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3178 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/3146

Abstract: 本发明涉及一种宽离子束沉积设备(100)，该设备包括一离子源(101)，一目标物体(102)，一可倾斜的基底台子(103)和一辅助出口(104)。目标物体(102)是卡盘的形式，它携带了多个目标物体，离子源(101)被设置成产生基本长方形断面的离子束(105)。

公开(公告)号：CN101652498A

公开(公告)日：2010-02-17

申请号：CN200780052204.8

申请日：2007-04-24

Applicant: 佳能安内华股份有限公司

Inventor： 中河原均

IPC: C23C14/24 ,  H05H1/24 ,  H01J37/04

CPC classification number: H01J37/08 ,  C23C14/081 ,  C23C14/28 ,  H01J37/04 ,  H01J37/1472 ,  H01J37/3053 ,  H01J37/3178 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/083 ,  H01J2237/103 ,  H01J2237/152 ,  H01J2237/3132 ,  H01J2237/3146

Abstract: 通过使由会聚线圈从等离子枪提取的等离子束(25)通过下面的磁场，使得束的横断面扁平化：该磁场在与等离子束的行进方向正交的方向上延伸，并且通过由相互平行地成对相对配置的永磁体构成的磁体(27)形成。提供一种使用具有0.7≤Wi/Wt的等离子束的等离子设备，其中，相对于扁平化后的束28的宽度Wt，束强度的半值为Wi。包括至少一个在束的中心处的排斥磁场的强度更强的磁体。

公开(公告)号：CN104103480B

公开(公告)日：2017-03-01

申请号：CN201410132480.7

申请日：2014-04-03

Applicant: FEI ,  公司

Inventor： J.J.L.穆德斯 ,  R.T.J.P.格尔特斯 ,  P.H.F.特罗姆佩纳亚斯 ,  E.G.T.博世

IPC: H01J37/08

CPC classification number: C23C14/48 ,  G01N1/286 ,  G01N1/32 ,  H01J37/02 ,  H01J37/3053 ,  H01J37/3171 ,  H01J37/3178 ,  H01J2237/004 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/31732 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/31742 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及低能量离子铣削或沉积。样本必须在从晶片挖出所述样本之后被薄化，以形成具有例如20nm的厚度的薄片。这一般地通过在带电粒子设备中用离子进行溅射来完成。当将薄片铣削成这样的厚度时，问题是：薄片的一大部分由于离子的轰击而变成无定形的并且离子变得被注入样本中。本发明通过在GIS的毛细管（201）与样本（200）之间施加电压差并将离子或电子束206）引导到气体喷射（207）来提供所述问题的解决方案。束从而使被加速至样本的气体电离，其中（当在样本与GIS之间使用低电压时）发生低能量铣削，并且因此几乎没有样本厚度变成无定形的。

公开(公告)号：CN104766776B

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201410007910.2

申请日：2014-01-07

Applicant: 中国科学院物理研究所

Inventor： 李建奇 ,  田焕芳 ,  曹高龙 ,  马超 ,  杨槐馨

IPC: H01J37/06 ,  H01J37/065

CPC classification number: H01J37/06 ,  H01J37/073 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3178 ,  H01J2237/2802

Abstract: 本发明提供了一种多功能超快透射电子显微镜电子枪。该超快透射电子显微镜电子枪包括：激光源、电子枪本体和激光引入模块。电子枪本体包括：电子枪套筒，包括：第一段套筒和第二段套筒；以及自上而下依次设置的阴极、加速极和阳极，其中，阴极和加速极位于第一段套筒内，阳极位于第二段套筒内。激光引入模块，包括：引入模块套筒，密封连接于上述第一段套筒和第二段套筒之间，在该引入模块套筒的侧面开设激光入射窗；激光反射镜，位于引入模块套筒内，正对激光入射窗，且靠近引入模块套筒的中心轴线设置，其反射面与引入模块套筒中心轴线呈45°。本发明多功能超快透射电子显微镜电子枪所获得的光发射电子的相干性是目前性能最好的。

公开(公告)号：CN104956461A

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201480006842.6

申请日：2014-01-10

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 野间口恒典 ,  扬村寿英

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/22 ,  H01J37/24 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/28 ,  G01T1/20 ,  H01J37/10 ,  H01J37/147 ,  H01J37/22 ,  H01J37/24 ,  H01J37/244 ,  H01J37/30 ,  H01J37/3178

Abstract: 本发明的目的在于，在同时向样本照射多个带电粒子束的情况下，提取出因某特定的带电粒子束产生的信号，例如在FIB-SEM装置中分离因离子束照射而产生的二次电子信号和因电子束照射而产生的二次电子信号，涉及高速地调制带电粒子束的照射条件，检测与调制周期同步的信号。另外，涉及对来自发光特性不同的2种以上的荧光体的发光进行分光而检测各自的信号强度，根据设定只向样本照射第一带电粒子束时的第一信号强度和只向样本照射第二带电粒子束时的第二信号强度的比率的机构的比率来处理信号。根据本发明，在同时向样本照射多个带电粒子束的情况下，也能够只提取出因希望的带电粒子束产生的信号。例如在FIB-SEM装置中，能够在使用了二次电子的FIB加工中进行SEM观察。