公开(公告)号：CN102610479A

公开(公告)日：2012-07-25

申请号：CN201110463206.4

申请日：2011-12-05

Applicant: 卡尔蔡司NTS有限责任公司 ,  卡尔蔡司NTS有限公司

Inventor： D·普赖克萨斯 ,  A·H·海恩

IPC: H01J37/301

CPC classification number: H01J37/1474 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/188 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及粒子束装置，其包括粒子束发生器、用于将由粒子束发生器产生的粒子束聚焦在目标平面上的物镜。物镜确定光轴。粒子束装置还包括用于偏转目标平面上的粒子束的第一和第二偏转系统，第一和第二偏转系统连续依次沿光轴设置。在第一运行模式中，第一偏转系统产生第一偏转场，第二偏转系统产生第二偏转场，第一和第二偏转场彼此具有第一角取向并被彼此定向，使得它们在目标平面上共同产生粒子束在第一方向上的偏转。在第二运行模式中，第一偏转系统产生第三偏转场，第二偏转系统产生第四偏转场，第三和第四偏转场彼此具有第二角取向并被彼此定向，使得它们在目标平面上共同产生粒子束在第一方向上的偏转。第二角取向不同于第一角取向。

公开(公告)号：CN119301727A

公开(公告)日：2025-01-10

申请号：CN202380044337.X

申请日：2023-05-25

Applicant: 卡梅卡公司

Inventor： 帕斯卡·索尔泰

IPC: H01J37/301 ,  H01J37/32 ,  H01J37/18

Abstract: 本描述涉及一种电子束设备(100)，该电子束设备包括：‑具有纵向方向(Z)的处理室(130)；‑至少一个电子束源(110)，每个源都适于在基本横向于纵向方向的束平面(PF)中发射电子束，以便在处理室中诱导等离子体或蒸发点，以用于处理部件(106)的表面，所述至少一个电子束源在处理室的外部；‑泵送室(120)，其被连接至第一真空泵(126)、处理室和至少一个电子束源，该泵送室被定位在所述处理室与所述至少一个电子束源之间，并且适于执行所述处理室的差分真空泵送；‑至少一个第一孔口(122)，以用于使电子束在处理室与泵送室之间穿过；以及‑至少一个第二孔口(124)，以用于使电子束在泵送室与至少一个电子束源之间穿过。

公开(公告)号：CN112335011B

公开(公告)日：2024-07-02

申请号：CN201980041728.X

申请日：2019-07-19

Applicant: 工程吸气公司

Inventor： 马尔科·厄尔巴诺

IPC: H01J37/09 ,  H01J37/301

Abstract: 本发明涉及一种多级真空设备、优选地两级设备，其正常操作需要设定不同的压力，其中，压力变化可以由合适元件的形状记忆合金(SMA)线的运动来实现。本发明还公开了一种用于操作由SMA致动器控制的所述多级真空设备的方法。

公开(公告)号：CN112335011A

公开(公告)日：2021-02-05

申请号：CN201980041728.X

申请日：2019-07-19

Applicant: 工程吸气公司

Inventor： 马尔科·厄尔巴诺

IPC: H01J37/09 ,  H01J37/301

Abstract: 本发明涉及一种多级真空设备、优选地两级设备，其正常操作需要设定不同的压力，其中，压力变化可以由合适元件的形状记忆合金(SMA)线的运动来实现。本发明还公开了一种用于操作由SMA致动器控制的所述多级真空设备的方法。

公开(公告)号：CN102610479B

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201110463206.4

申请日：2011-12-05

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 ,  卡尔蔡司NTS有限公司

Inventor： D·普赖克萨斯 ,  A·H·海恩

IPC: H01J37/301

CPC classification number: H01J37/1474 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/188 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及粒子束装置，其包括粒子束发生器、用于将由粒子束发生器产生的粒子束聚焦在目标平面上的物镜。物镜确定光轴。粒子束装置还包括用于偏转目标平面上的粒子束的第一和第二偏转系统，第一和第二偏转系统连续依次沿光轴设置。在第一运行模式中，第一偏转系统产生第一偏转场，第二偏转系统产生第二偏转场，第一和第二偏转场彼此具有第一角取向并被彼此定向，使得它们在目标平面上共同产生粒子束在第一方向上的偏转。在第二运行模式中，第一偏转系统产生第三偏转场，第二偏转系统产生第四偏转场，第三和第四偏转场彼此具有第二角取向并被彼此定向，使得它们在目标平面上共同产生粒子束在第一方向上的偏转。第二角取向不同于第一角取向。

公开(公告)号：CN1205646C

公开(公告)日：2005-06-08

申请号：CN98809482.7

申请日：1998-09-24

Applicant: 焊接研究院

Inventor： 阿伦·桑德森

IPC: H01J37/063 ,  H01J37/065 ,  H01J37/075 ,  H01J37/301

CPC classification number: H01J37/075 ,  H01J37/063 ,  H01J37/065 ,  H01J37/301 ,  H01J2237/3104

Abstract: 一种带电粒子发射组件具有：一个发射件(5)用来发射一种极性的带电粒子；一个沿圆周环绕发射件的管状屏蔽电极(6)，并在使用时保持与带电粒子相同的极性；和一个基本上与屏蔽电极(6)同轴的加速电极(7)，并在使用时保持与屏蔽电极相反的极性。这样配置能使从发射件(5)发射的带电粒子在初时沿侧向向外扩散，然后被聚焦成能通过管状加速电极(7)的电子束。

公开(公告)号：CN1271460A

公开(公告)日：2000-10-25

申请号：CN98809482.7

申请日：1998-09-24

Applicant: 焊接研究院

Inventor： 阿伦·桑德森

IPC: H01J37/063 ,  H01J37/065 ,  H01J37/075 ,  H01J37/301

CPC classification number: H01J37/075 ,  H01J37/063 ,  H01J37/065 ,  H01J37/301 ,  H01J2237/3104

Abstract: 一种带电粒子发射组件具有:一个发射件(5)用来发射一种极性的带电粒子;一个沿圆周环绕发射件的管状屏蔽电极(6),并在使用时保持与带电粒子相同的极性;和一个基本上与屏蔽电极(6)同轴的加速电极(7),并在使用时保持与屏蔽电极相反的极性。这样配置能使从发射件(5)发射的带电粒子在初时沿侧向向外扩散,然后被聚焦成能通过管状加速电极(7)的电子束。

公开(公告)号：CN111512410B

公开(公告)日：2023-05-26

申请号：CN201880082468.6

申请日：2018-12-14

Applicant: 阿尔卡姆公司

Inventor： 约翰·巴克隆 ,  马蒂亚斯·法杰

IPC: H01J37/301 ,  B22F3/105 ,  B23K15/00 ,  B33Y10/00 ,  B33Y30/00 ,  B33Y50/02 ,  B29C64/153 ,  B29C64/393 ,  B29C64/268 ,  H01J37/304 ,  B23K15/06

Abstract: 一种电子束源，其包括阴极，阳极，用于将电子束偏转在目标表面上的装置以及至少一个真空泵，该电子束源还包括布置在阳极和用于偏转电子束的装置之间的收缩区域，其中，收缩区域中的孔相对于阴极与阳极中的孔对准，第一真空泵布置在收缩区域与阳极之间，第二真空泵布置在阳极上方，气体入口设置在收缩区域和用于偏转电子束的装置之间，其中电子束的第一交叉点布置在收缩区域处或紧邻收缩区域。

公开(公告)号：CN111512410A

公开(公告)日：2020-08-07

申请号：CN201880082468.6

申请日：2018-12-14

Applicant: 阿尔卡姆公司

Inventor： 约翰·巴克隆 ,  马蒂亚斯·法杰

IPC: H01J37/301 ,  B22F3/105 ,  B23K15/00 ,  B33Y10/00 ,  B33Y30/00 ,  B33Y50/02 ,  B29C64/153 ,  B29C64/393 ,  B29C64/268 ,  H01J37/304 ,  B23K15/06

Abstract: 一种电子束源，其包括阴极，阳极，用于将电子束偏转在目标表面上的装置以及至少一个真空泵，该电子束源还包括布置在阳极和用于偏转电子束的装置之间的收缩区域，其中，收缩区域中的孔相对于阴极与阳极中的孔对准，第一真空泵布置在收缩区域与阳极之间，第二真空泵布置在阳极上方，气体入口设置在收缩区域和用于偏转电子束的装置之间，其中电子束的第一交叉点布置在收缩区域处或紧邻收缩区域。

公开(公告)号：CN102103968B

公开(公告)日：2013-02-13

申请号：CN201110024487.3

申请日：2011-01-19

Applicant: 中国科学院近代物理研究所

Inventor： 蒙峻 ,  张军辉 ,  杨伟顺 ,  罗成 ,  万玉琴

IPC: H01J37/301

Abstract: 本发明公开一种设置于离子束流处理装置中束流的终端，能使束流处理装置的真空环境与大气环境相隔离，同时能使束流穿过的隔离窗。本发明的这种隔离窗是在粒子束的大气出口处用支承装置设置有真空隔离窗，其支承装置中固定设置有两个用高分子材料制成的薄膜，在两个薄膜间形成一个可抽真空的区域，在第一薄膜的内表面外和第二薄膜的外表面外还分别设置有用高分子材料制成的网状支承物，两个薄膜间的可抽真空区域与真空泵连接。