激光器准直装置及准直方法

    公开(公告)号:CN108508617A

    公开(公告)日:2018-09-07

    申请号:CN201710105865.8

    申请日:2017-02-24

    Inventor: 郑翔 赵柏秦

    CPC classification number: G02B27/30

    Abstract: 一种针对半导体激光器阵列的准直装置包括:调节台和探测设备,通过调节台调节,包括XYZ三维位移调节和三维旋转台调节光纤柱透镜和激光光源相对位置,通过探测设备观察远场光斑确定柱透镜最佳准直位置,最后用紫外固化胶点胶,将光纤柱透镜固定在激光器模块上。还提供一种应用上述装置进行激光准直的方法。本发明的准直装置和方法使得准直方法的位移精度可达0.01mm,角度精度可达0.1°,且设备制作安装简便,操作简单。

    测量曲率与薄膜应力的装置与方法

    公开(公告)号:CN105509796B

    公开(公告)日:2018-01-19

    申请号:CN201510556319.7

    申请日:2015-09-02

    Abstract: 本发明关于一种测量曲率与薄膜应力的装置,包含两个并列设置的光源与侦测器。两个光源的两个光束为非平行并具有夹角,两个光束经准直投射至试片,两个光束在试片上的位置具有一定间距。侦测器接收反射自试片的两个光束,并借由两个光束在侦测器上的两个光斑的距离或两个光束其中之一的光斑尺寸变化计算试片的曲率。本发明使用双独立光源借由两个光束的两个光斑间距与光斑尺寸测量芯片翘曲,因此可有效增加测量范围,使测量范围更加宽广。由于使用双独立光源,因此不须移动芯片即可进行翘曲测量。

Patent Agency Ranking