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    用于微光刻的照明系统
    2.
    发明授权
    用于微光刻的照明系统 有权

    公开(公告)号：CN102301281B

    公开(公告)日：2014-08-20

    申请号：CN201080005865.7

    申请日：2010-01-25

    Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

    Inventor： A.肖尔茨 ,  F.施莱森纳 ,  N.哈弗坎普 ,  V.戴维登科 ,  M.格哈德 ,  G-W.齐格勒 ,  M.克恩 ,  T.比肖夫 ,  T.斯塔姆勒 ,  S.凯尔纳 ,  M.莫尔 ,  D.沃尔多夫 ,  I.休雷维科 ,  M.德冈瑟

    IPC: G03F7/20

    CPC classification number: G03F7/70191 ,  G02B3/0043 ,  G03F7/70058 ,  G03F7/70075 ,  G03F7/70083

    Abstract: 一种用于微光刻的照明系统用于通过一次光源的照明光照明一照明场。第一光栅布置(12)具有布置在照明系统的第一平面或该第一平面附近的成束第一光栅元件(24)。第一光栅布置(12)用于产生二次光源的光栅布置。传输透镜用于将二次光源的照明光的传输叠加到照明场中。传输透镜具有第二光栅布置(15)，第二光栅布置(15)具有成束第二光栅元件(26)。第一光栅布置(12)的每个光栅元件(24)被与第二光栅布置(15)的光栅元件(26)之一相关，用于引导照明光的整个光束的部分光束(25)。例如，第一光栅布置(12)具有至少两个类型(I、II、III)的第一光栅元件(24)，它们具有不同的束影响效果。两个光栅布置(12、15)的光栅元件(24、26)相对于彼此布置，使得每个光栅元件类型(I至III)与至少一个单独自由距离(ΔI、ΔII、ΔIII)相关，所述单独自由距离(ΔI、ΔII、ΔIII)在此类型(I至III)的光栅元件(24)与第二光栅布置(15)的所相关的光栅元件(26)之间。结果是一种照明系统，利用该照明系统，可以影响特定的照明参数，从而最大可能地避免了对其它照明参数的不期望的影响。

    用于在微光刻中使用的分面反射镜
    3.
    发明公开
    用于在微光刻中使用的分面反射镜 有权

    公开(公告)号：CN102804072A

    公开(公告)日：2012-11-28

    申请号：CN201080062769.6

    申请日：2010-12-13

    Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

    Inventor： D.菲奥尔卡 ,  J.哈特杰斯

    IPC: G03F7/20

    CPC classification number: G03F7/702 ,  G02B7/1827 ,  G02B26/0833 ,  G03F7/70075 ,  G03F7/70083 ,  G03F7/70116

    Abstract: 本发明涉及用于在微光刻中使用的分面反射镜（6；10）。分面反射镜（6；10）具有预定用于引导EUV照明光（3）的部分光束的照明通道的多个分面（7；11）。借由包括致动器（31；35）且具有运动分量（32；dz'；dz″）的调节装置（30；34），分面（7；11）的至少一些是可垂直于分面反射平面（xy；x'y'；x″y″）移动的。这导致在分面反射镜中，与现有技术相比，可以较低的制造成本实现与目标照明规格相符的给定要求，当使用分面反射镜时，该给定要求必须被满足。

    用于光刻设备的照射器
    6.
    发明公开
    用于光刻设备的照射器 失效

    公开(公告)号：CN101273304A

    公开(公告)日：2008-09-24

    申请号：CN200680032521.9

    申请日：2006-09-05

    Applicant: 萨热姆防务安全公司 ,  上海微电子装备有限公司

    Inventor： 米格尔·伯特尼 ,  雷诺·梅西耶伊捷 ,  弗朗西斯·里盖

    IPC: G03F7/20

    CPC classification number: G03F7/7055 ,  G03F7/70066 ,  G03F7/70083

    Abstract: 本发明涉及用于光刻设备的照射器。本发明包括：光束(10)的光源(1’)，其用于照射掩模(8)并使晶片(W)的范围曝光；至少一个微透镜主阵列(4)；以及包括至少一个快门板(61)的快门(6)，该快门板(61)包括对于光束(10)不透明的至少一个部分(612)和对于光束透明的多个部分(610)，由此，所述板(61)可沿与该板基本平行的移动方向(X)相对于光束(10)移动，从而使不透明部分(612)可至少部分地阻挡光束或者使透明部分可至少部分地使光束(10)能够通过。本发明的特征在于，包括移动装置(9)，其可使快门(6)的移动与掩模(8)和晶片(W)的移动同步，所述快门(6)位于邻近光学系统的光瞳(40，410)的范围(11)内，该光学系统至少包括微透镜主阵列(4)。本发明还涉及包括一个这种照射器的光刻设备。

    用于微光刻的照明光学部件
    7.
    发明公开
    用于微光刻的照明光学部件 有权

    公开(公告)号：CN103713474A

    公开(公告)日：2014-04-09

    申请号：CN201410006090.5

    申请日：2008-11-20

    Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

    Inventor： 马丁.恩德雷斯 ,  拉尔夫.施图茨尔 ,  詹斯.奥斯曼

    IPC: G03F7/20

    CPC classification number: G03F7/702 ,  G03F7/70075 ,  G03F7/70083 ,  G03F7/70191

    Abstract: 一种用于微光刻的照明光学部件，该照明光学部件包括用于将照明光引导到物平面中要照明的物场的光学组件。根据本发明的第一方面，照明光学部件(26)将照明光辐射束(3)分成多个辐射子束(28至30)，该多个辐射子束被分配物场照明的不同照明角。照明光学部件(26)被配置以使辐射子束(28至30)中的至少一些在交叠平面中交叠，该交叠平面与物平面分开且不被成像到其中发生交叠的物平面。该交叠使得交叠辐射子束(28至30)的边缘(32)至少部分地重合。根据本发明的另一方面，场强度设定装置(24)包括多个相邻的单独的光阑(27)，当对那里曝光时，该多个相邻的单独的光阑至少减弱照明光(3)。这些单独的光阑(27)在平行于物移动方向(v)的方向上可插入到照明光辐射束(3)中。场强度设定装置(24)的所有单独的光阑(27)可从同一侧插入到照明光辐射束(3)中。

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