一种低表面能镍纳米压印模板的制备方法

    公开(公告)号:CN109634055A

    公开(公告)日:2019-04-16

    申请号:CN201910025630.7

    申请日:2019-01-11

    Applicant: 南京大学

    CPC classification number: G03F7/0002 C23C14/20 C25D1/10

    Abstract: 本发明属于微纳米加工,特别是纳米压印技术领域,提供一种低表面能镍纳米压印模板的制备方法。首先对纳米结构的硅模板进行防粘处理;然后滴加紫外光固化胶,填充硅模板孔隙形成平坦薄膜后盖上柔性材料,接着紫外曝光使其固化;脱模后在得到的紫外固化胶模板上利用物理气相沉积的方法沉积一层金属钛,作为电镀的种子层;之后放入电镀液中电镀得到镍镀层;脱模后得到表面附着了钛的镍模板;采用全氟烷基氯硅烷防粘处理之后得到一种新型低表面能的镍模板。本发明方法用金属钛取代传统的金属镍作为电镀的种子层,从而制备得到一种新型镍模板,其表面能更低,更容易脱模,而且硬度更高,机械性能更佳,纳米压印时不容易损坏,使用寿命更长。

    多段转印模具的制造方法、多段转印模具以及以该方法、模具而得的零件

    公开(公告)号:CN104024486A

    公开(公告)日:2014-09-03

    申请号:CN201180074857.2

    申请日:2011-11-15

    CPC classification number: C25D1/10 B29C33/424

    Abstract: 提供一种以电铸造而得的多段转印模具的制造方法、多段转印模具与以该方法、模具而得的零件。多段转印模具用以借由电铸造来形成多段零件,可使多段连接的连接步骤省力。本发明包括:于金属基板上形成零件形状的光致抗蚀剂图案,该零件形状的光致抗蚀剂图案具有所期望的纵横比、且侧壁具有所期望的角度α;于光致抗蚀剂图案上,形成用以获得连接柱的形状与厚度的连接柱形状的光致抗蚀剂图案,连接柱用以与上部层连接;借由电铸造,将形成有连接柱形状的光致抗蚀剂图案的光致抗蚀剂图案完全填埋、直至达到规定的厚度为止,以制造转印模具;使转印模具离开金属基板,以制造母料模具。

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