-
公开(公告)号：CN110656311A
公开(公告)日：2020-01-07
申请号：CN201910892960.6
申请日：2019-09-20
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种自上而下制备纳米粒子的方法。该方法的步骤如下：首先在基片上自下而上依次涂布牺牲层、保护层和压印胶层，保护层为可选层；通过纳米压印的方法，将模板上的纳米图案复制至压印胶中，获得压印胶柱阵结构；再通过干法刻蚀的方法，向下刻蚀保护层及牺牲层，直至纳米柱周围暴露出基片，从而获得牺牲层纳米柱阵结构；然后通过真空蒸镀的方法在牺牲层纳米柱阵结构顶部沉积目标材料；最后利用溶剂将牺牲层溶解，即可获得游离的目标材料的纳米粒子。本发明利用自上而下的微加工手段，可实现对纳米粒子形状、尺寸、成分的精确调控。
-
公开(公告)号：CN109634055A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201910025630.7
申请日：2019-01-11
Applicant: 南京大学
CPC classification number: G03F7/0002 , C23C14/20 , C25D1/10
Abstract: 本发明属于微纳米加工，特别是纳米压印技术领域，提供一种低表面能镍纳米压印模板的制备方法。首先对纳米结构的硅模板进行防粘处理；然后滴加紫外光固化胶，填充硅模板孔隙形成平坦薄膜后盖上柔性材料，接着紫外曝光使其固化；脱模后在得到的紫外固化胶模板上利用物理气相沉积的方法沉积一层金属钛，作为电镀的种子层；之后放入电镀液中电镀得到镍镀层；脱模后得到表面附着了钛的镍模板；采用全氟烷基氯硅烷防粘处理之后得到一种新型低表面能的镍模板。本发明方法用金属钛取代传统的金属镍作为电镀的种子层，从而制备得到一种新型镍模板，其表面能更低，更容易脱模，而且硬度更高，机械性能更佳，纳米压印时不容易损坏，使用寿命更长。
-
公开(公告)号：CN110007556A
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201910259870.3
申请日：2019-04-02
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种电磁感应加热式纳米压印装置，包括压印腔、升降台、承压台和升降柱。其中，升降台位于压印腔的上方，在升降台上依次放置电磁感应线圈、衬底和铁磁性模板；承压台固定在升降柱上，并位于升降台的上方；升降台与升降柱连接，并能沿着升降柱上下移动；压印腔通过加压管与加压器连接。本发明的装置可以实现热纳米压印的快速升温和快速降温，极大的提高了纳米压印的效率。
-
公开(公告)号：CN109795975A
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201811631648.3
申请日：2018-12-28
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明属于微纳加工技术领域，具体涉及一种金属微/纳米线阵列及其制备方法。该金属微/纳米线阵列包括支撑层金属薄片和竖立在所述金属薄片上的金属微/纳米线。该金属微/纳米线阵列具有大的深宽比，且该金属微/纳米线的直径、高度和金属薄片的厚度可以精确控制；金属微/纳米线直接竖立在金属薄片上，相互之间无交叉和重叠，提高了比表面积和重复利用率；该金属微/纳米线阵列可以应用于制备大深宽比、柔性的纳米器件。该制备方法以具有较好刚性和刻蚀稳定性的材料为衬底，可以保证刻蚀过程中不易出现坍塌等问题，得到高深宽比的微/纳米线阵列；此外，本方法可以通过控制刻蚀时间，精确控制微/纳米线的高度。
-
-
-
Search Results
4
records
(took 0.016 seconds)
