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公开(公告)号：CN115497839A
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN202210628366.8
申请日：2022-06-06
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor： 池田梢
IPC: H01L21/56
Abstract: 本发明涉及抗蚀剂膜的形成方法及抗蚀剂膜，所述抗蚀剂膜通过上述抗蚀剂膜的形成方法形成。上述抗蚀剂膜的形成方法使用了在常温下高粘度且因加热而上述粘度降低的抗蚀剂，上述抗蚀剂膜的形成方法能够形成膜厚为300μm以上且面内膜厚变动在10％以内的抗蚀剂膜。上述抗蚀剂膜的形成方法包括：工序A，在基材上赋予23℃下的粘度为1000mPa·s～30000mPa·s的抗蚀剂，从而形成上述抗蚀剂膜；工序B，对配置在由限制上述抗蚀剂流出的限制部件包围的区域内的上述抗蚀剂膜进行热处理；及工序C，隔着片材对配置在通过设置将上述抗蚀剂膜调整为所期望厚度的调整部件而形成的区域内的、上述热处理后的上述抗蚀剂膜进行热压。
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公开(公告)号：CN111660468B
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202010141904.1
申请日：2020-03-04
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种在能够防止液体流动的凹阶梯部中具有凹状图案的模具的制作方法及图案片材的制造方法。具有凹状图案(205)的模具(200)的制作方法包括：原版准备工序，准备原版(10)，该原版(10)具有配置有突起状图案(14)的平台(11)；树脂板准备工序，准备具有凹阶梯部(23)的热塑性树脂板(20)，该凹阶梯部(23)具有等于或小于突起状图案(14)及平台(11)的总体积的容积；及树脂原版制作工序，其制作热塑性树脂原版(26)，并包括：定位工序，将原版(10)的突起状图案(14)和凹阶梯部(23)的中心位置进行定位；及凹状图案形成工序，将经过加热的原版(10)的突起状图案(14)及平台(11)按压于凹阶梯部(23)之后进行冷却，并分离原版(10)和热塑性树脂板(20)，由此将突起状图案(14)的倒置形状的凹状图案(25)形成于热塑性树脂板(20)。
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公开(公告)号：CN111660468A
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN202010141904.1
申请日：2020-03-04
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种在能够防止液体流动的凹阶梯部中具有凹状图案的模具的制作方法及图案片材的制造方法。具有凹状图案(205)的模具(200)的制作方法包括：原版准备工序，准备原版(10)，该原版(10)具有配置有突起状图案(14)的平台(11)；树脂板准备工序，准备具有凹阶梯部(23)的热塑性树脂板(20)，该凹阶梯部(23)具有等于或小于突起状图案(14)及平台(11)的总体积的容积；及树脂原版制作工序，其制作热塑性树脂原版(26)，并包括：定位工序，将原版(10)的突起状图案(14)和凹阶梯部(23)的中心位置进行定位；及凹状图案形成工序，将经过加热的原版(10)的突起状图案(14)及平台(11)按压于凹阶梯部(23)之后进行冷却，并分离原版(10)和热塑性树脂板(20)，由此将突起状图案(14)的倒置形状的凹状图案(25)形成于热塑性树脂板(20)。
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公开(公告)号：CN111035849B
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN201910965740.1
申请日：2019-10-12
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: A61M37/00
Abstract: 本发明提供一种能够在短时间内制造原版的、具有多个针状凸起的原版的制造方法及微针阵列的制造方法。具有针状凸起的原版的制造方法具有：准备工序，准备具备与针状凸起的外形相仿的至少1枚刀片的切削工具及基材；及切削工序，使切削工具以切削工具的工具轴线为中心进行自转，并且使切削工具以形成于基材的针状凸起的轴线为中心进行公转，并切削基材，形成与切削工具的形状相仿的形状的针状凸起。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115497838A
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN202210627987.4
申请日：2022-06-06
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor： 池田梢
IPC: H01L21/56
Abstract: 本发明提供一种抗蚀剂膜的形成方法，其使用了在常温下具有高粘度且因加热而上述粘度降低的抗蚀剂，在所述抗蚀剂膜的形成方法中，能够形成气泡减少的抗蚀剂膜。所述抗蚀剂膜的形成方法包括：工序A，在基板上赋予23℃下的粘度为1000mPa·s～30000mPa·s的抗蚀剂，从而形成上述抗蚀剂膜；及工序B，对上述抗蚀剂膜进行热处理，上述工序B包括：工序B‑1，通过逐级地或连续地提高上述抗蚀剂膜的温度而降低上述抗蚀剂的粘度；及工序B‑2，在真空环境下加热粘度为5000mPa·s以下的上述抗蚀剂膜。
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公开(公告)号：CN107922183B
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN201680050229.3
申请日：2016-09-07
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种铸模的制作方法、图案片材的制造方法、电铸模具的制作方法及使用了电铸模具的铸模的制作方法。本发明的铸模的制作方法中，准备在台(10C)上的图案存在区域(10D)具有由多个突起部(12)形成的突起状图案(10A)的原版(10)及热塑性树脂片(20)，相对移动原版(10)和热塑性树脂片(20)来确定将原版(10)按压于热塑性树脂片(20)的位置，在使原版(10)的图案存在区域(10D)中除了突起部(12)以外的部分与热塑性树脂片(20)的表面(20B)分开的位置，将所加热的原版(10)的突起部(12)按压于热塑性树脂片(20)，在所按压的突起部(12)与热塑性树脂片(20)接触的状态下冷却原版(10)，并使原版(10)与热塑性树脂片(20)分离，从而在热塑性树脂片(20)形成凹状图案(20A)。
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公开(公告)号：CN114828936A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202080088175.6
申请日：2020-12-17
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: A61M37/00
Abstract: 本发明提供一种微针阵列的制造方法，所述方法能够高效且稳定地制造具备具有缩颈形状的针状凸起的微针阵列。微针阵列的制造方法包括：第1切削工序，通过用第1切削工具切削基材而形成针状凸起；第2切削工序，通过用与第1切削工具不同的第2切削工具切削针状凸起的一部分而在针状凸起中形成缩颈形状；模具形成工序，从通过第1切削工序及第2切削工序而制作的原版成型出具有作为原版的反转形状的针状孔的树脂模具；第1阵列制作工序，在树脂模具的针状孔中填充药剂液，接着进行干燥；第2阵列制作工序，在第1阵列制作工序之后，在针状孔中填充基材液，并进行干燥；及剥离工序，从树脂模具剥离用树脂模具制作的微针阵列。
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公开(公告)号：CN111035849A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201910965740.1
申请日：2019-10-12
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: A61M37/00
Abstract: 本发明提供一种能够在短时间内制造原版的、具有多个针状凸起的原版的制造方法及微针阵列的制造方法。具有针状凸起的原版的制造方法具有：准备工序，准备具备与针状凸起的外形相仿的至少1枚刀片的切削工具及基材；及切削工序，使切削工具以切削工具的工具轴线为中心进行自转，并且使切削工具以形成于基材的针状凸起的轴线为中心进行公转，并切削基材，形成与切削工具的形状相仿的形状的针状凸起。
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公开(公告)号：CN107922183A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201680050229.3
申请日：2016-09-07
Applicant: 富士胶片株式会社
CPC classification number: B29C33/3857 , A61M37/00 , A61M37/0015 , A61M2037/0046 , A61M2037/0053 , B29C33/40 , B29C33/42 , B29C41/20 , B29C41/38 , B29C41/42 , B29C43/52 , B29K2101/12 , B29L2007/00 , B29L2031/759 , B81C99/00 , C25D1/10
Abstract: 本发明提供一种铸模的制作方法、图案片材的制造方法、电铸模具的制作方法及使用了电铸模具的铸模的制作方法。本发明的铸模的制作方法中，准备在台(10C)上的图案存在区域(10D)具有由多个突起部(12)形成的突起状图案(10A)的原版(10)及热塑性树脂片(20)，相对移动原版(10)和热塑性树脂片(20)来确定将原版(10)按压于热塑性树脂片(20)的位置，在使原版(10)的图案存在区域(10D)中除了突起部(12)以外的部分与热塑性树脂片(20)的表面(20B)分开的位置，将所加热的原版(10)的突起部(12)按压于热塑性树脂片(20)，在所按压的突起部(12)与热塑性片(20)接触的状态下冷却原版(10)，并使原版(10)与热塑性树脂片(20)分离，从而在热塑性树脂片(20)形成凹状图案(20A)。
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